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公开(公告)号：CN104570594B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201410551185.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法，所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理，所述设备包括：加热单元，其构造成加热基板上的待压印的区域，从而使得所述区域变形；和处理单元，其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域，其中，在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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公开(公告)号：CN104216219B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201410227985.1
申请日：2014-05-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和制造产品的方法。本发明提供了一种用于在基片上的多个曝光区域中形成图案的压印设备，所述压印设备包括：加热单元，所述加热单元构造成通过加热基片而使得每一个曝光区域变形；和控制单元，所述控制单元构造成控制加热单元，其中，当根据用于通过加热单元加热在目标曝光区域之前已经经受压印处理的曝光区域的加热控制信息针对作为待经受压印处理的曝光区域的目标曝光区域实施压印处理时，控制单元对加热单元加热基片实施控制，使得因根据控制信息加热基片而已经变形的目标曝光区域的形状接近目标形状。
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公开(公告)号：CN106502048B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201610807111.2
申请日：2016-09-07
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 中川一树
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印装置以及物品制造方法。所述压印装置包括：供给设备，其被构造为将压印材料供给到基板上的压印区域；驱动设备，其被构造为进行用于使模具与供给到所述压印区域的压印材料接触的驱动；以及密封设备，其被构造为通过形成气体的流动来密封所述压印区域，其中，所述供给设备包括具有面对所述基板的面的构件，在所述面中形成有气体流入所述构件的流入口和气体流出所述构件的流出口，并且在所述构件中形成有用于将所述流入口与所述流出口连接的流动路径。
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公开(公告)号：CN108701585A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012426.0
申请日：2017-02-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/72 , B29C59/02 , H01L21/304
CPC classification number: G03F7/70925 , G03F7/0002
Abstract: 提供通过在基板上的压印材料与模具接触的状态下固化压印材料来在基板(101)上形成图案的压印装置，其中，所述压印装置具有：基板卡盘(102)，其具有用于保持基板的基板保持区域；周边部件(113)，其被布置为围绕由基板卡盘保持的基板的侧面；以及控制单元，其用于控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件(170)来清洁周边部件的区域的至少一部分的清洁过程。所述清洁过程包括用于在带电单元面向周边部件的区域的所述至少一部分的状态下使清洁部件相对于周边部件移动使得所述区域中的微粒被带电单元吸引的操作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106502048A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610807111.2
申请日：2016-09-07
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 中川一树
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印装置以及物品制造方法。所述压印装置包括：供给设备，其被构造为将压印材料供给到基板上的压印区域；驱动设备，其被构造为进行用于使模具与供给到所述压印区域的压印材料接触的驱动；以及密封设备，其被构造为通过形成气体的流动来密封所述压印区域，其中，所述供给设备包括具有面对所述基板的面的构件，在所述面中形成有气体流入所述构件的流入口和气体流出所述构件的流出口，并且在所述构件中形成有用于将所述流入口与所述流出口连接的流动路径。
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公开(公告)号：CN105842983A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610073671.X
申请日：2016-02-02
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 中川一树
Abstract: 本发明提供一种压印方法、压印装置以及物品的制造方法。所述压印方法通过使用具有图案区域的模具，在基板上形成的投射区域上形成图案，所述压印方法包括：根据变形量，进行用于所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制；获得在所述变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于所述偏移量，选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，以满足预设条件；以及在进行变形的控制步骤中的变形之后，基于对选择的标记的位置的检测结果，进行所述交叠的反馈控制。
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公开(公告)号：CN103048878B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201210385057.9
申请日：2012-10-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/682 , B29C35/0805 , B29C59/026 , B29C59/16 , B29C2035/0822 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B29L2031/34 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6838 , H01L22/20 , H01L23/544
Abstract: 本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤。其中在变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。
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公开(公告)号：CN104570594A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410551185.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29K2101/00 , B29L2031/001
Abstract: 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法，所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理，所述设备包括：加热单元，其构造成加热基板上的待压印的区域，从而使得所述区域变形；和处理单元，其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域，其中，在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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公开(公告)号：CN108701585B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201780012426.0
申请日：2017-02-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/72 , B29C59/02 , H01L21/304
Abstract: 提供通过在基板上的压印材料与模具接触的状态下固化压印材料来在基板(101)上形成图案的压印装置，其中，所述压印装置具有：基板卡盘(102)，其具有用于保持基板的基板保持区域；周边部件(113)，其被布置为围绕由基板卡盘保持的基板的侧面；以及控制单元，其用于控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件(170)来清洁周边部件的区域的至少一部分的清洁过程。所述清洁过程包括用于在带电单元面向周边部件的区域的所述至少一部分的状态下使清洁部件相对于周边部件移动使得所述区域中的微粒被带电单元吸引的操作。
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