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公开(公告)号：CN104640884B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201380048923.8
申请日：2013-09-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/004 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , B29L2011/00 , B29L2031/3425 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F2/48 , C08F22/105 , C08F222/1006 , C09D4/00 , C09D7/47 , G03F7/0002 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/20 , G03F7/38 , G03F7/40 , H05K3/06
Abstract: 要用于制造具有高生产性的膜的本发明的光固化性组合物是一种光固化性组合物，其要用于在所述光固化性组合物与在其表面上具有凹凸图案的模具接触的状态下，通过将所述光固化性组合物使用光来固化而制造具有预定图案形状的膜，所述光固化性组合物包括：聚合性化合物；光聚合引发剂；用于通过光刺激来产生气体的感光性气体产生剂；和用于增加在所述模具和所述光固化性组合物之间的界面处的产生自所述感光性气体产生剂的所述气体的聚集速率的气体产生促进剂，其中所述气体产生促进剂包括没有聚合性取代基的含氟原子的表面活性剂。
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公开(公告)号：CN104487229A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380038725.3
申请日：2013-07-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C59/026 , B29K2105/0002 , G03F7/0002 , G03F7/027
Abstract: 提供一种树脂生产方法，其中使用纳米压印法在树脂生产方法中降低模具和固化性树脂之间的脱模力。该树脂生产方法包括在基板(2)上配置固化性组合物(1)的配置步骤；使模具(3)与固化性组合物(1)彼此接触的接触步骤；在将固化性组合物(1)与模具(3)保持接触的同时、通过用放射线照射固化性组合物(1)或加热固化性组合物(1)而将固化性组合物(1)固化的固化性组合物固化步骤；当将固化性组合物(1)固化时、沿基板(2)和模具(3)彼此分离的方向产生拉伸应力至模具(3)和固化性组合物(1)不彼此分离的程度的拉伸应力产生步骤；和将固化性组合物(1)和模具(3)彼此脱离的脱模步骤。
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公开(公告)号：CN104640884A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380048923.8
申请日：2013-09-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/004 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , B29L2011/00 , B29L2031/3425 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F2/48 , C08F22/105 , C08F222/1006 , C09D4/00 , C09D7/47 , G03F7/0002 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/20 , G03F7/38 , G03F7/40 , H05K3/06
Abstract: 要用于制造具有高生产性的膜的本发明的光固化性组合物是一种光固化性组合物，其要用于在所述光固化性组合物与在其表面上具有凹凸图案的模具接触的状态下，通过将所述光固化性组合物使用光来固化而制造具有预定图案形状的膜，所述光固化性组合物包括：聚合性化合物；光聚合引发剂；用于通过光刺激来产生气体的感光性气体产生剂；和用于增加在所述模具和所述光固化性组合物之间的界面处的产生自所述感光性气体产生剂的所述气体的聚集速率的气体产生促进剂，其中所述气体产生促进剂包括没有聚合性取代基的含氟原子的表面活性剂。
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公开(公告)号：CN104039836A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280062769.5
申请日：2012-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/50 , H01L21/027 , C07C271/12 , C07C271/24
CPC classification number: B29C59/026 , B29L2031/3425 , C08F2/50 , H01L21/266 , H01L21/3081 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。X1和X2选自由氢原子、烷基、苯基、萘基、和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。X1和X2可相同或不同。R1-R10独立地选自由氢原子、卤素原子、烷基、烃氧基、苯基、萘基和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。R1-R10可相同或不同。
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公开(公告)号：CN104039836B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201280062769.5
申请日：2012-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/50 , H01L21/027 , C07C271/12 , C07C271/24
CPC classification number: B29C59/026 , B29L2031/3425 , C08F2/50 , H01L21/266 , H01L21/3081 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。X1和X2选自由氢原子、烷基、苯基、萘基、和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。X1和X2可相同或不同。R1‑R10独立地选自由氢原子、卤素原子、烷基、烃氧基、苯基、萘基和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。R1‑R10可相同或不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103907174A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051649.5
申请日：2012-10-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B05D3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/022 , G03F7/027 , G03F7/038
Abstract: 本发明提供膜的制造方法，包括：在基材上涂布光固化性组合物以形成涂布膜，该光固化性组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂和通过光刺激而产生气体的感光性气体产生剂；使模具与该涂布膜接触；通过该模具用光照射该涂布膜以使该涂布膜固化并且在该涂布膜中产生气体；和用光照射该涂布膜后使该模具从该涂布膜脱离以在该基材上形成具有预定的图案形状的膜(固化膜)，其中用光对该涂布膜的照射中，该涂布膜中的聚合性单体的聚合反应的反应速率高于该涂布膜中的感光性气体产生剂的气体产生反应的反应速率。
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公开(公告)号：CN104737271B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201380052636.4
申请日：2013-09-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08K5/435 , C08L33/00
CPC classification number: C08F222/10 , B29C59/16 , B29D11/00788 , B29L2011/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08K5/235 , C08K5/435 , C08L33/06 , C23C14/48 , G02B1/04 , G03F7/0002 , G03F7/022 , G03F7/027 , H01L21/0271 , H01L21/311 , H05K3/0091 , H05K3/06 , Y10T428/24802
Abstract: 提供了一种降低了脱模力的光固化性组合物。所述光固化性组合物是以下光固化性组合物，其在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜，并且包括聚合性化合物、光聚合引发剂和具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂。所述感光性气体产生剂具有含有至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体。
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公开(公告)号：CN104487229B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380038725.3
申请日：2013-07-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C59/026 , B29K2105/0002 , G03F7/0002 , G03F7/027
Abstract: 提供一种树脂生产方法，其中使用纳米压印法在树脂生产方法中降低模具和固化性树脂之间的脱模力。该树脂生产方法包括在基板(2)上配置固化性组合物(1)的配置步骤；使模具(3)与固化性组合物(1)彼此接触的接触步骤；在将固化性组合物(1)与模具(3)保持接触的同时、通过用放射线照射固化性组合物(1)或加热固化性组合物(1)而将固化性组合物(1)固化的固化性组合物固化步骤；当将固化性组合物(1)固化时、沿基板(2)和模具(3)彼此分离的方向产生拉伸应力至模具(3)和固化性组合物(1)不彼此分离的程度的拉伸应力产生步骤；和将固化性组合物(1)和模具(3)彼此脱离的脱模步骤。
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公开(公告)号：CN103907174B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280051649.5
申请日：2012-10-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B05D3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/022 , G03F7/027 , G03F7/038
Abstract: 本发明提供膜的制造方法，包括：在基材上涂布光固化性组合物以形成涂布膜，该光固化性组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂和通过光刺激而产生气体的感光性气体产生剂；使模具与该涂布膜接触；通过该模具用光照射该涂布膜以使该涂布膜固化并且在该涂布膜中产生气体；和用光照射该涂布膜后使该模具从该涂布膜脱离以在该基材上形成具有预定的图案形状的膜(固化膜)，其中用光对该涂布膜的照射中，该涂布膜中的聚合性单体的聚合反应的反应速率高于该涂布膜中的感光性气体产生剂的气体产生反应的反应速率。
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公开(公告)号：CN104737271A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380052636.4
申请日：2013-09-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08K5/435 , C08L33/00
CPC classification number: C08F222/10 , B29C59/16 , B29D11/00788 , B29L2011/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08K5/235 , C08K5/435 , C08L33/06 , C23C14/48 , G02B1/04 , G03F7/0002 , G03F7/022 , G03F7/027 , H01L21/0271 , H01L21/311 , H05K3/0091 , H05K3/06 , Y10T428/24802
Abstract: 提供了一种降低了脱模力的光固化性组合物。所述光固化性组合物是以下光固化性组合物，其在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜，并且包括聚合性化合物、光聚合引发剂和具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂。所述感光性气体产生剂具有含有至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体。
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