公开(公告)号：CN109100920B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201810642012.2

申请日：2018-06-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川崇志 ,  佐藤隆纪

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及曝光装置及物品的制造方法。提供曝光装置，具有：载置台，保持基板使该基板移动；控制部，控制载置台；第1测量部，在被载置台保持的基板的拍摄区域到达对拍摄区域曝光的曝光区域之前测量拍摄区域的高度方向的位置；第2测量部，先于第1测量部而测量拍摄区域的高度方向的位置，控制部通过用于根据由第2测量部测量拍摄区域的高度方向的位置而得的第1测量值来使基板在高度方向上移动的第1驱动、用于根据接着第1驱动而由第1测量部测量拍摄区域的高度方向的位置而得的第2测量值和第1测量值来使基板在高度方向上移动的第2驱动控制载置台，以使在拍摄区域到达曝光区域之前使被载置台保持的基板的高度方向的位置成为最终目标位置。

公开(公告)号：CN109100920A

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201810642012.2

申请日：2018-06-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川崇志 ,  佐藤隆纪

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70775

Abstract: 本发明涉及曝光装置及物品的制造方法。提供曝光装置，具有：载置台，保持基板使该基板移动；控制部，控制载置台；第1测量部，在被载置台保持的基板的拍摄区域到达对拍摄区域曝光的曝光区域之前测量拍摄区域的高度方向的位置；第2测量部，先于第1测量部而测量拍摄区域的高度方向的位置，控制部通过用于根据由第2测量部测量拍摄区域的高度方向的位置而得的第1测量值来使基板在高度方向上移动的第1驱动、用于根据接着第1驱动而由第1测量部测量拍摄区域的高度方向的位置而得的第2测量值和第1测量值来使基板在高度方向上移动的第2驱动控制载置台，以使在拍摄区域到达曝光区域之前使被载置台保持的基板的高度方向的位置成为最终目标位置。

公开(公告)号：CN119126509A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202410725355.0

申请日：2024-06-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川崇志 ,  今井政树 ,  宫春隆文

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20 ,  H05K3/06

Abstract: 本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品制造方法。提供一种有利于聚焦控制的高精度化的技术。对基板进行扫描曝光的曝光装置具有：载置台，保持并移动所述基板；至少1个致动器，用于调整所述载置台的高度和倾斜度中的至少一者；测量部，测量所述基板的面位置；以及控制部，基于从所述测量部得到的测量值来控制所述致动器。所述控制部基于从所述测量部得到的测量值的时间序列数据，决定所述致动器对所述载置台的驱动量的限制值。

公开(公告)号：CN117130231A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310574711.9

申请日：2023-05-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川崇志

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法。提供有利于防止在基板的拍摄区域的扫描曝光中狭缝光照射到该拍摄区域外侧的技术。一边相对于狭缝光扫描基板一边进行所述基板的拍摄区域的扫描曝光的曝光装置具备：载置台，保持并移动所述基板；遮光构件，被插拔于所述狭缝光的光路；控制部，按照驱动曲线控制所述载置台的驱动，并且控制所述遮光构件向所述狭缝光的光路的插拔，所述驱动曲线被构成为在所述扫描曝光的初期使所述载置台加速，所述控制部在所述扫描曝光的初期从所述狭缝光的光路拔出所述遮光构件时，追随所述驱动曲线中的所述载置台的加速地对所述遮光构件进行加速驱动，以防止所述狭缝光向所述拍摄区域的外侧的照射。

公开(公告)号：CN114002917A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202110841387.3

申请日：2021-07-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川崇志 ,  江本圭司

IPC: G03F7/20

Abstract: 本申请涉及曝光设备和用于制造制品的方法。根据本发明的曝光设备，用于通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在原版上的图案转印到基板，曝光设备包括：基板台，基板安装在基板台上；驱动单元，配置成驱动基板台，驱动单元包括多个致动器，每个致动器配置成向基板台施加在彼此不同的各个取向上的推力；以及控制器，配置成控制驱动单元，以便当对基板上的多个投射区域中的每一个曝光时使基板台在扫描方向上移动，并且在沿扫描方向每次移动的至少一部分时间期间内使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。