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公开(公告)号：CN101924050A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010183265.1
申请日：2010-05-26
申请人： 先进自动器材有限公司
IPC分类号： H01L21/603
CPC分类号： H01L24/83 , H01L24/75 , H01L2224/83 , H01L2224/838 , H01L2924/01033
摘要： 本发明公开了一种晶粒键合机，其包含有：键合头，其包含有夹体，以用于拾取晶粒和在键合位置处键合晶粒；第一马达，其通过转轴和夹体相连，以在朝向和背离键合位置的驱动方向上驱动夹体；第二马达，其和键合头相连，以在平行于第一马达的驱动方向的方向上驱动键合头；旋转马达，其有效地和夹体相连，以围绕平行于第一马达的驱动方向的旋转轴线转动夹体；其中，该转轴可滑动地连接到旋转马达上，以便于当转轴被第一马达驱动而移动时，该转轴可相对于旋转马达滑动。
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公开(公告)号：CN102005399B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010254087.7
申请日：2010-08-16
申请人： 先进自动器材有限公司
IPC分类号： H01L21/603 , H01L21/68
CPC分类号： H01L24/75 , H01L21/6838 , H01L2924/01033 , Y10T29/53178 , Y10T156/17 , Y10T464/30
摘要： 本发明公开了一种提供大键合力的晶粒键合机，其包含有：键合头，其包含有负荷轴和夹体，该负荷轴穿过键合头，该夹体设置在该负荷轴的一端以用于固定待键合的晶粒；键合力马达，其用于沿着移动轴线在朝向和背离晶粒键合位置的方向上驱动负荷轴；旋转马达，其用于围绕平行于移动轴线的旋转轴线旋转负荷轴；耦合器，其用于将负荷轴耦接到键合力马达；其中，该耦合器还包含有轴承，该轴承被配置来使得负荷轴实现围绕旋转轴线相对于该键合力马达旋转。
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公开(公告)号：CN102005399A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010254087.7
申请日：2010-08-16
申请人： 先进自动器材有限公司
IPC分类号： H01L21/603 , H01L21/68
CPC分类号： H01L24/75 , H01L21/6838 , H01L2924/01033 , Y10T29/53178 , Y10T156/17 , Y10T464/30
摘要： 本发明公开了一种晶粒键合机，其包含有：键合头，其包含有负荷轴和夹体，该负荷轴穿过键合头，该夹体设置在该负荷轴的一端以用于固定待键合的晶粒；键合力马达，其用于沿着移动轴线在朝向和背离晶粒键合位置的方向上驱动负荷轴；旋转马达，其用于围绕平行于移动轴线的旋转轴线旋转负荷轴；耦合器，其用于将负荷轴耦接到键合力马达；其中，该耦合器还包含有轴承，该轴承被配置来使得负荷轴实现围绕旋转轴线相对于该键合力马达旋转。
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公开(公告)号：CN100421818C
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200510090226.6
申请日：2003-05-09
申请人： 先进自动器材有限公司
CPC分类号： H01L21/67253 , B05C11/1005 , H01L21/6715 , H01L24/83 , H01L2224/83 , H01L2924/12042 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种用于在基片上投放材料的装置和方法。该装置包括一具有投放器的投放系统，以及控制系统，该控制系统适于调节投放在基片上的材料数量。装置还包括一图像俘获系统，其适于获取该投放在基片上材料的图像，一用于分析该图像并测量该投放材料数量的测量系统，以及一校正系统，其适于将校正信号提供给该控制系统以改变投放材料的数量。
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公开(公告)号：CN101924050B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201010183265.1
申请日：2010-05-26
申请人： 先进自动器材有限公司
IPC分类号： H01L21/603
CPC分类号： H01L24/83 , H01L24/75 , H01L2224/83 , H01L2224/838 , H01L2924/01033
摘要： 本发明公开了一种晶粒键合机，其包含有：键合头，其包含有夹体，以用于拾取晶粒和在键合位置处键合晶粒；第一马达，其通过转轴和夹体相连，以在朝向和背离键合位置的驱动方向上驱动夹体；第二马达，其和键合头相连，以在平行于第一马达的驱动方向的方向上驱动键合头；旋转马达，其有效地和夹体相连，以围绕平行于第一马达的驱动方向的旋转轴线转动夹体；其中，该转轴可滑动地连接到旋转马达上，以便于当转轴被第一马达驱动而移动时，该转轴可相对于旋转马达滑动。
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公开(公告)号：CN1733367A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200510090226.6
申请日：2003-05-09
申请人： 先进自动器材有限公司
CPC分类号： H01L21/67253 , B05C11/1005 , H01L21/6715 , H01L24/83 , H01L2224/83 , H01L2924/12042 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种用于在基片上投放材料的装置和方法。该装置包括一具有投放器的投放系统，以及控制系统，该控制系统适于调节投放在基片上的材料数量。装置还包括一图像俘获系统，其适于获取该投放在基片上材料的图像，一用于分析该图像并测量该投放材料数量的测量系统，以及一校正系统，其适于将校正信号提供给该控制系统以改变投放材料的数量。
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公开(公告)号：CN1221323C
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN03122376.1
申请日：2003-05-09
申请人： 先进自动器材有限公司
CPC分类号： H01L21/67253 , B05C11/1005 , H01L21/6715 , H01L24/83 , H01L2224/83 , H01L2924/12042 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种用于在基片上投放材料的装置和方法。该装置包括一具有投放器的投放系统，以及控制系统，该控制系统适于调节投放在基片上的材料数量。装置还包括一图像俘获系统，其适于获取该投放在基片上材料的图像，一用于分析该图像并测量该投放材料数量的测量系统，以及一校正系统，其适于将校正信号提供给该控制系统以改变投放材料的数量。
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公开(公告)号：CN1460559A
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN03122376.1
申请日：2003-05-09
申请人： 先进自动器材有限公司
CPC分类号： H01L21/67253 , B05C11/1005 , H01L21/6715 , H01L24/83 , H01L2224/83 , H01L2924/12042 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种用于在基片上投放材料的装置和方法。该装置包括一具有投放器的投放系统，以及控制系统，该控制系统适于调节投放在基片上的材料数量。装置还包括一图像俘获系统，其适于获取该投放在基片上材料的图像，一用于分析该图像并测量该投放材料数量的测量系统，以及一校正系统，其适于将校正信号提供给该控制系统以改变投放材料的数量。
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