一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103643225A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310617879.X

    申请日:2013-11-27

    IPC分类号: C23C18/16

    摘要: 本发明涉及一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法,包括:将至少一块衬底以将其中不需镀膜的一面封闭的方式固定于反应容器中;向所述反应容器内注入含有镉盐、硫源、氨水、和去离子水的反应溶液后将所述反应容器密封,其中所述反应溶液的体积小于所述反应容器的容积;将密封好的反应容器水平浸入到恒温水浴振荡器中,加热水浴并使所述反应容器以水平方向上回旋往复或者以中轴为轴心上下摆动的运动方式不停地将反应溶液混合均匀,从而在所述至少一块衬底的未封闭的一面上沉积均匀的硫化镉薄膜;以及硫化镉薄膜沉积至所需厚度后取出并清洗、干燥即制得大尺寸硫化镉薄膜。

    一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103643225B

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201310617879.X

    申请日:2013-11-27

    IPC分类号: C23C18/16

    摘要: 本发明涉及一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法,包括:将至少一块衬底以将其中不需镀膜的一面封闭的方式固定于反应容器中;向所述反应容器内注入含有镉盐、硫源、氨水、和去离子水的反应溶液后将所述反应容器密封,其中所述反应溶液的体积小于所述反应容器的容积;将密封好的反应容器水平浸入到恒温水浴振荡器中,加热水浴并使所述反应容器以水平方向上回旋往复或者以中轴为轴心上下摆动的运动方式不停地将反应溶液混合均匀,从而在所述至少一块衬底的未封闭的一面上沉积均匀的硫化镉薄膜;以及硫化镉薄膜沉积至所需厚度后取出并清洗、干燥即制得大尺寸硫化镉薄膜。