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公开(公告)号：CN111223942B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201911212069.X
申请日：2019-12-02
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/108
Abstract: 本发明公开一种锯齿状电极及提高纳米紫外探测器性能的方法，涉及半导体技术领域。该锯齿状电极的形状由两个对称设置的图形组成；图形由长方形和多个等腰梯形组成，等腰梯形的下底边与长方形的同一条长边相接，两个图形相对的一边为多个等腰梯形所在的一边；等腰梯形的等腰边和上底边用于生长纳米线；两个图形相对的一边对称的两个等腰梯形上底边生长的纳米线形成桥接。本发明锯齿状电极形状的两个图形相对的一边由多个重复的等腰梯形构成，锯齿状电极种子层生长的纳米线只在等腰梯形的上底边形成有效桥接，在生长纳米线后不需要去除多余的纳米线，减少了纳米线桥接的数量和工艺步骤，提高了纳米紫外探测器的响应速度和光增益。
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公开(公告)号：CN107634075B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201710746185.4
申请日：2017-08-26
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L27/146 , H01L31/0236 , H01L31/0296 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y15/00
Abstract: 柔性背照全透式纳米紫外焦平面探测器芯片，涉及紫外焦平面探测器技术领域。在具有周期性纹理的聚酰亚胺柔性衬底上制备紫外探测器阵列，每个探测器作为感光像元。每个像元器件包括两个独立平行对称的ZnO薄膜，其上为金属电极薄膜。所述ZnO薄膜为ZnO纳米线生长的种子层。作为感光部分的纳米材料ZnO纳米线阵列在ZnO薄膜的侧壁自组织生长，桥接于两电极之间。紫外光由衬底背面入射。本发明以柔性材料为衬底，具有良好的柔韧性。同时，器件层结构简单，采用ZnO纳米材料，设计灵活，可实现高度的均匀性及探测效率。
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公开(公告)号：CN106129210A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610460910.7
申请日：2016-06-22
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种电极下方有源区绝缘化的高光提取效率发光二极管，属于半导体光电子技术领域。该发光二极管包括P电极、电流扩展层、绝缘区、窗口层、上限制层、有源区、下限制层、缓冲层、N电极。通过离子注入的方法，注入深度达到有源区，能够使P电极下方的有源区绝缘，阻止了P电极正下方的电流输运，P电极流入的电流会横向扩展流入到周围的有源区，解决了P电极下方有源区发出的光被P电极阻挡和吸收的问题，改善了电流的扩展，提高了器件的光提取效率和发光强度。同时，采用本发明中有源区绝缘化的方法不会在器件表面产生台阶，不会影响器件的表面平整，提高了器件的可靠性。工艺简单、成本较低，适合批量生产。
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公开(公告)号：CN104697882A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410521143.7
申请日：2014-09-30
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 一种基于ZnO纳米线阵列的环境空气PM2.5颗粒物的质量传感器件及其制备方法，它涉及纳米技术与环境监测领域。本发明中，当环境气体流过ZnO纳米线阵列时，PM2.5颗粒附着在纳米线上，通过检测ZnO纳米线振动频率的改变，由ZnO纳米线振动频率和PM2.5颗粒质量之间的定量关系，从而检测PM2.5颗粒的质量。本发明简单有效，适用于日常生活中各种环境空气中PM2.5颗粒质量的检测。
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公开(公告)号：CN102707568A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210188616.7
申请日：2012-06-08
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 多台阶器件结构底层表面的光刻方法，属于光刻技术领域。本发明采用SEM观察涂覆光刻胶样品的剖面，测量台阶底部的光刻胶厚度。使用光度分光计及数据拟合方法做出台阶底部光刻胶在不同曝光时间下的透过率曲线，找出光刻胶完全曝光所需时间，最终完成对工艺条件的优化。本发明克服了台阶底部堆积光刻胶的情况，通过简单的材料表征及分光计实验即可获得准确的完全曝光时间，简单有效，适用于工业化生产中各种多台阶器件结构的光刻工艺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108400180B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810073488.9
申请日：2018-01-25
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L31/0236 , H01L31/101
Abstract: 纹理衬底增强柔性器件在机械应力下的电学稳定性，涉及半导体技术领域。本发明以柔性ZnO纳米线阵列紫外探测器为示范性验证，研究衬底形貌对柔性电子器件机械应力作用下电学稳定性的影响。相对于平滑的有机薄膜，存在纹理结构的有机薄膜衬底具有与ZnO间更好的膜基结合强度，改善了柔性器件膜基结构容易出现的屈曲、开裂等问题，提高了器件在机械应力作用下的电学稳定性。
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公开(公告)号：CN108400180A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810073488.9
申请日：2018-01-25
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L31/0236 , H01L31/101
Abstract: 纹理衬底增强柔性器件在机械应力下的电学稳定性，涉及半导体技术领域。本发明以柔性ZnO纳米线阵列紫外探测器为示范性验证，研究衬底形貌对柔性电子器件机械应力作用下电学稳定性的影响。相对于平滑的有机薄膜，存在纹理结构的有机薄膜衬底具有与ZnO间更好的膜基结合强度，改善了柔性器件膜基结构容易出现的屈曲、开裂等问题，提高了器件在机械应力作用下的电学稳定性。
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公开(公告)号：CN108231955A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810013522.3
申请日：2018-01-07
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0203 , H01L31/09
Abstract: 一种ZnO纳米线紫外探测器在N2氛围下的封装方法，涉及紫外探测技术领域与封装领域。具体地说是利用集成电路一级封装中的金属封装，针对ZnO纳米线紫外探测器在N2氛围下的封装，采用固定的带窗口的金属管底座和管帽，同时利用储能焊工艺及修饰液，保证ZnO纳米线紫外探测器的高增益特性和封装后器件整体的稳定性。
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公开(公告)号：CN106409975B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201611012268.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/09 , H01L31/0296 , H01L31/0352
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种可定制的高增益ZnO纳米线阵列紫外探测器及其制备方法，涉及微电子工艺技术、纳米技术与紫外探测领域。本发明中，基于协同学理论，在涨落不稳定时，纳米线之间会彼此争夺反应溶质，在这种竞争机制下，种子层越薄，所需的溶质资源越少，生长时间由生长速率决定。基于此生长原理，本发明中，通过调整种子层厚度和溶液浓度、生长时间得到质量较高的纳米线，从而得到不同增益的紫外探测器件。本发明简单有效，定制不同增益的器件可适用于多种环境下的紫外光检测。
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公开(公告)号：CN107634075A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710746185.4
申请日：2017-08-26
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L27/146 , H01L31/0236 , H01L31/0296 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y15/00
Abstract: 柔性背照全透式纳米紫外焦平面探测器芯片，涉及紫外焦平面探测器技术领域。在具有周期性纹理的聚酰亚胺柔性衬底上制备紫外探测器阵列，每个探测器作为感光像元。每个像元器件包括两个独立平行对称的ZnO薄膜，其上为金属电极薄膜。所述ZnO薄膜为ZnO纳米线生长的种子层。作为感光部分的纳米材料ZnO纳米线阵列在ZnO薄膜的侧壁自组织生长，桥接于两电极之间。紫外光由衬底背面入射。本发明以柔性材料为衬底，具有良好的柔韧性。同时，器件层结构简单，采用ZnO纳米材料，设计灵活，可实现高度的均匀性及探测效率。
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