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公开(公告)号：CN118540958A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410368360.0
申请日：2024-03-28
申请人： 北京微电子技术研究所 , 北京时代民芯科技有限公司 , 清华大学
IPC分类号： H10B80/00 , H01L23/12 , H01L23/488 , H01L23/498 , H01L23/52 , G01D21/02 , G01D11/00 , G01D11/30
摘要： 一种多通道传感通用微系统，由多种传感器、FPGA电路裸芯片、FPGA配置存储器裸芯片、AD转换电路裸芯片、基板、引出端组成，FPGA电路裸芯片、FPGA配置存储器裸芯片、AD转换电路裸芯片都组装在基板上，并根据功能设计在基板上进行互联，基板上另外设计引出端，用以同印制电路板实现物理连接，基板上同时提供若干焊盘，将FPGA部分IO、FPGA给出的时钟、AD的模拟输入端、电源和地连接到焊盘上，使得多种传感器可以直接安装到基板上，与前述部分共同组成多通道传感微系统。本发明所述的多通道传感通用微系统可用于工业控制、航空航天、医疗等多个领域的感知与处理系统中，其余部分制造完成后，仅通过更换所需的传感器，即可形成不同的多通道传感微系统。
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公开(公告)号：CN113532409B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202110678238.X
申请日：2021-06-18
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： G01C19/5776 , B81B7/02
摘要： 一种高精度数字MEMS陀螺控制系统，包括驱动模态闭环控制环路，检测模态闭环控制环路、调制解调信号相位闭环控制环路，使系统可始终跟随陀螺谐振频率变化，通过温补后的驱动模态解调信号相位调整值φ1、驱动模态调制信号相位调整值φ2、检测模态解调信号相位调整值φ3、检测模态调制信号调整值φ4对两模态调制解调信号的相位分别进行调整，通过此系统，解决了当前陀螺控制系统中调制解调信号相位误差对陀螺仪检测精度的影响，大大提高MEMS陀螺仪性能指标。
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公开(公告)号：CN106712721B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201611213380.2
申请日：2016-12-23
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： H03D3/18
摘要： 本发明公开了一种用于旋变‑数字转换的参考同步电路，包括控制传输电路、多路选择器以及比较器，控制传输电路接收旋变产生的正弦信号和余弦信号以及旋变数字角度信号的高三位，向多路选择器输出A，B两路信号；多路选择器通过同步功能使能端接收外部输入的同步功能使能信号，并在同步功能使能信号无效时向比较器输出旋变励磁参考信号REF_H和REF_L，在同步功能使能信号有效时向比较器输出A，B两路信号；比较器比较两路输入信号的大小，输出同步参考信号REF，用于为相敏解调模块提供参考时钟，以提高旋变‑数字转换电路测角精度。
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公开(公告)号：CN106629576A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611244538.2
申请日：2016-12-29
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
摘要： 本发明公开了一种硅基MEMS碟形陀螺，包括：敏感结构、盖帽层、衬底层、金属层和绝缘层；其中，所述绝缘层与所述衬底层的上表面相连接；所述金属层与所述绝缘层相连接；所述金属层刻蚀有第一金属触点和第二金属触点；所述敏感结构与第一金属触点、第二金属触点相连接；所述盖帽层罩于所述敏感结构并与所述金属层相连接。本发明使得检测精度高和温度效应低。
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公开(公告)号：CN109470228B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201811279399.6
申请日：2018-10-30
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
摘要： 本发明公开了一种基于内嵌式差分电极的MEMS碟形陀螺及其制备方法。该结构由单晶硅材料加工形成，包括：陀螺敏感结构以及嵌入在敏感结构平面内部的电极；所述的陀螺敏感结构包括：中心锚点、以锚点中心为圆心的N个同心圆环，其中，中心锚点用于固定陀螺敏感结构，同心圆环与锚点、圆环与圆环之间通过辐条连接，辐条和多个同心圆环共同构成陀螺的可动弹性结构。本发明在环形敏感结构内部嵌入大量的电极，大大增加了电容面积，提高检测精度。同时，嵌入式电极均成对出现，可实现差分检测、差分驱动，提高陀螺的线性度与抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN117785783A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311597700.9
申请日：2023-11-27
申请人： 北京微电子技术研究所 , 北京时代民芯科技有限公司
IPC分类号： G06F15/16 , G06F15/163
摘要： 宇航高可靠高速互联芯粒，包括：功能芯粒互联接口、外部互联接口(MAC、SRIO、PCIe、CXL、SpaceWire)、协议转换电路、数据交换模块、时钟管理模块、存储接口、调试IO接口、主控制器模块等。所述功能芯粒互联接口兼容缓存一致性总线(CXL、PCIe等)，包括D2D接口控制器和D2D接口PHY。D2D接口控制器引入了RS‑SPC级联编码的方式，充分利用信道软信息，先通过电平阈值锁定突发错误区域，再通过SPC码校验及电平比较来确定随机错误并生成多个测试向量，以纠正单粒子翻转效应引起的随机错误和突发错误，保证芯粒间高速数据传输的可靠性。D2D接口PHY采用单端并行传输技术。所述互联芯粒可用于芯粒互联、数据交换，支持快速组建集成芯片产品，实现异质异构芯粒集成。
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公开(公告)号：CN110672081A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910816504.3
申请日：2019-08-30
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： G01C19/5621
摘要： 一种大电容环形谐振式微机械陀螺，包括支撑锚点、弹性支撑梁、谐振环、树枝式梳齿结构以及设置在结构内部或者外部的电极；支撑锚点位于结构的中心，用于固定整个陀螺结构；弹性支撑梁的两端分别与谐振环、支撑锚点连接，谐振环与弹性支撑梁构成环形谐振子结构；电极与树枝式梳齿结构沿周向分布在整圈，电极与树枝式梳齿结构形成大电容量的平行板电容器。本发明采用的环形谐振结构结合树枝式梳齿结构，既保持了环形谐振结构的优势，又通过树枝式梳齿结构增加了电容量，使得陀螺的驱动、检测、静电调整能力得到提升，同时树枝式梳齿结构还可以增加结构的有效质量，上述优点可提高陀螺的信噪比和灵敏度，有利于陀螺精度的提升。
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公开(公告)号：CN109470228A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811279399.6
申请日：2018-10-30
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
摘要： 本发明公开了一种基于内嵌式差分电极的MEMS碟形陀螺及其制备方法。该结构由单晶硅材料加工形成，包括：陀螺敏感结构以及嵌入在敏感结构平面内部的电极；所述的陀螺敏感结构包括：中心锚点、以锚点中心为圆心的N个同心圆环，其中，中心锚点用于固定陀螺敏感结构，同心圆环与锚点、圆环与圆环之间通过辐条连接，辐条和多个同心圆环共同构成陀螺的可动弹性结构。本发明在环形敏感结构内部嵌入大量的电极，大大增加了电容面积，提高检测精度。同时，嵌入式电极均成对出现，可实现差分检测、差分驱动，提高陀螺的线性度与抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN106712721A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611213380.2
申请日：2016-12-23
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： H03D3/18
摘要： 本发明公开了一种用于旋变‑数字转换的参考同步电路，包括控制传输电路、多路选择器以及比较器，控制传输电路接收旋变产生的正弦信号和余弦信号以及旋变数字角度信号的高三位，向多路选择器输出A，B两路信号；多路选择器通过同步功能使能端接收外部输入的同步功能使能信号，并在同步功能使能信号无效时向比较器输出旋变励磁参考信号REF_H和REF_L，在同步功能使能信号有效时向比较器输出A，B两路信号；比较器比较两路输入信号的大小，输出同步参考信号REF，用于为相敏解调模块提供参考时钟，以提高旋变‑数字转换电路测角精度。
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公开(公告)号：CN113532409A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110678238.X
申请日：2021-06-18
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： G01C19/5776 , B81B7/02
摘要： 一种高精度数字MEMS陀螺控制系统，包括驱动模态闭环控制环路，检测模态闭环控制环路、调制解调信号相位闭环控制环路，使系统可始终跟随陀螺谐振频率变化，通过温补后的驱动模态解调信号相位调整值φ1、驱动模态调制信号相位调整值φ2、检测模态解调信号相位调整值φ3、检测模态调制信号调整值φ4对两模态调制解调信号的相位分别进行调整，通过此系统，解决了当前陀螺控制系统中调制解调信号相位误差对陀螺仪检测精度的影响，大大提高MEMS陀螺仪性能指标。
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