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公开(公告)号：CN103575230B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201210281504.6
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
摘要： 本申请涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼‑特纳结构。本申请提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。
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公开(公告)号：CN102879337A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210375771.X
申请日：2012-09-29
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 本发明公开了一种对椭偏测量系统中椭圆偏振仪的偏振角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据傅里叶系数，参考样品光学常数，椭圆偏振仪的工作参数的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。
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公开(公告)号：CN103575213B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201210281702.2
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开光学测量装置，其包括测量仪本体、光源、具有至少5端口的W形光纤及光谱仪；本发明操作简单，提供的光学测量装置包含垂直入射和斜入射的两个测量装置，可用来测量单层或多层薄膜形成的三维结构的膜厚、临界尺度（Critical Dimension）、空间形貌和材料特性，提高了样品测量的精度。另外，垂直入射部分还可以倾斜至54.7度，用来测量单晶硅太阳能样品。斜入射部分也可实现多角度的切换，摩擦片可以使整个切换工程更加平稳。
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公开(公告)号：CN102879337B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210375771.X
申请日：2012-09-29
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 本发明公开了一种对椭偏测量系统中椭圆偏振仪的偏振角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据傅里叶系数，参考样品光学常数，椭圆偏振仪的工作参数的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。
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公开(公告)号：CN102878940A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210374589.2
申请日：2012-09-29
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种对椭偏测量系统中包含相位补偿器的椭圆偏振仪的偏振角度、相位补偿器的相位延迟角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据实验傅里叶系数，光学常数，以及，推导得到的理论傅里叶系数与椭圆偏振仪的工作参数之间的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到包含相位补偿器的椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对包含相位补偿器的椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向、相位补偿器的延迟角度，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。
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公开(公告)号：CN103575230A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281504.6
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼-特纳结构。本发明提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。
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公开(公告)号：CN103575213A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281702.2
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开光学测量装置，其包括测量仪本体、光源、具有至少5端口的W形光纤及光谱仪；本发明操作简单，提供的光学测量装置包含垂直入射和斜入射的两个测量装置，可用来测量单层或多层薄膜形成的三维结构的膜厚、临界尺度（Critical Dimension）、空间形貌和材料特性，提高了样品测量的精度。另外，垂直入射部分还可以倾斜至54.7度，用来测量单晶硅太阳能样品。斜入射部分也可实现多角度的切换，摩擦片可以使整个切换工程更加平稳。
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公开(公告)号：CN102878940B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210374589.2
申请日：2012-09-29
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种对椭偏测量系统中包含相位补偿器的椭圆偏振仪的偏振角度、相位补偿器的相位延迟角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据实验傅里叶系数，光学常数，以及，推导得到的理论傅里叶系数与椭圆偏振仪的工作参数之间的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到包含相位补偿器的椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对包含相位补偿器的椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向、相位补偿器的延迟角度，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。
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公开(公告)号：CN104697638B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201310655576.7
申请日：2013-12-06
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种MOCVD设备实时测温系统自校准方法，半导体制造技术领域。该方法包括根据实际热辐射比值，在理论热辐射比值‑温度曲线上描出与实际热辐射比值对应的点，将点对应的温度T的值代入计算公式，分别得到校准系数m1和m2。该方法能够得到双波长测温结构中第一种波长λ1和第二种波长λ2分别对应的校准系数m1和m2，从而实现了MOCVD设备实时测温系统自校准，能够保证外延片生长温度测量一致而又精确。
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