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公开(公告)号：CN103575230B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201210281504.6
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
摘要： 本申请涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼‑特纳结构。本申请提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。
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公开(公告)号：CN103576697B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210269617.4
申请日：2012-07-31
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器，属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。
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公开(公告)号：CN102902034B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201210414997.6
申请日：2012-10-25
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种在光学仪器装校过程中对光学元件进行位置调整的光学元件调节机构，属于光学元件技术领域。该二维调节机构包括光学元件座，光学元件座内具有容置空间，该容置空间底部设有光学元件接触面，该接触面呈球形，当光学元件在光学元件座内任意旋转时，光学元件的底面圆周始终与接触面相切。该二维调节机构体积较小，能够在较小的空间完成二维微调节，并且能够广泛应用于与电机相连的光学元件调节，结构简单、操作方便。
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公开(公告)号：CN103048047B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201110306405.4
申请日：2011-10-11
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元。本发明还公开一种光学测量系统，包括所述的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向，实现探测光束垂直入射并会聚于样品表面，易于调节聚焦、可实现无色差、可保持偏振特性、且结构简单。而且，根据本发明提供的垂直入射光谱仪及光学测量系统，增加了相位补偿元件，通过椭圆偏振测量法可以准确测量出样品琼斯矩阵中rxx、ryy的相位差Δ，即Δ的正弦和余弦函数，增加了偏振光谱仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN103576697A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210269617.4
申请日：2012-07-31
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器，属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。
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公开(公告)号：CN103162832A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110427910.4
申请日：2011-12-19
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01J3/447 , G01B11/02 , G01B2210/56 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/42 , G01N21/21 , G01N2021/213 , G02B27/14 , G02B27/40
摘要： 本发明提供的一种包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一曲面反射镜、第一平面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明还提供一种光学测量系统。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪实现了分光后的光束的完整结合，在提高光通效率的同时，还能保持光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。
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公开(公告)号：CN103185638B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110444985.3
申请日：2011-12-27
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。
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公开(公告)号：CN103162832B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110427910.4
申请日：2011-12-19
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01J3/447 , G01B11/02 , G01B2210/56 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/42 , G01N21/21 , G01N2021/213 , G02B27/14 , G02B27/40
摘要： 本发明提供的一种包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一曲面反射镜、第一平面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明还提供一种光学测量系统。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪实现了分光后的光束的完整结合，在提高光通效率的同时，还能保持光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。
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公开(公告)号：CN103162831B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110427603.6
申请日：2011-12-19
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明提供的一种宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪，提高了探测光束的光通效率，并且在探测器前端实现了分光后的作为参考光束的非探测光束和所述探测光束的完整结合。此外，还能使探测光束无色差地聚焦在样品表面，并可同时保持探测光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。本发明还提供一种包含上述光谱仪的光学测量系统。
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公开(公告)号：CN103048047A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201110306405.4
申请日：2011-10-11
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元。本发明还公开一种光学测量系统，包括所述的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向，实现探测光束垂直入射并会聚于样品表面，易于调节聚焦、可实现无色差、可保持偏振特性、且结构简单。而且，根据本发明提供的垂直入射光谱仪及光学测量系统，增加了相位补偿元件，通过椭圆偏振测量法可以准确测量出样品琼斯矩阵中rxx、ryy的相位差Δ，即Δ的正弦和余弦函数，增加了偏振光谱仪的测量精度。
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