一种TMR和ASIC全集成电流传感器芯片

    公开(公告)号:CN108226824A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810015110.3

    申请日:2018-01-08

    IPC分类号: G01R33/09 G01R19/00

    摘要: 本发明提出了一种TMR和ASIC全集成电流传感器芯片,包括TMR磁电阻桥,聚磁层、ASIC芯片、引线框架、键合引线及封装体;TMR磁电阻桥由至少一个磁电阻桥臂构成,每个磁电阻桥臂由一个磁电阻结构成或者由多个磁电阻结串联构成;磁电阻结包括底部电极层、种子层、钉扎层、被钉扎层、隔离层、自由层、偏置层、保护层及顶部电极层;聚磁层,用于使TMR磁电阻的灵敏方向垂直于TMR和ASIC全集成电流传感器芯片的表面;所述ASIC芯片与所述TMR磁电阻桥位于所述封装体内部。将TMR传感器和ASIC封装在了一个独立的封装体内,最大限度地减少了电流传感器芯片的外围器件,能减小系统的设计难度,提高装配效率。