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公开(公告)号：CN112002698B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202010733058.2
申请日：2020-07-27
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： H01L27/12 , H01L21/77 , H01L21/288 , G02F1/1368
摘要： 本发明涉及一种数据线的制备方法、阵列基板的制备方法和显示机构。该数据线的制备方法包括如下步骤：在衬底上设置导电层；在导电层远离衬底的一侧形成光刻胶层；对光刻胶层进行曝光处理，再经显影而在光刻胶层上形成贯通光刻胶层的凹槽，形成具有图案的光刻胶层；及在具有图案的光刻胶层上电化学沉积功能材料，然后去除光刻胶层，得到形成有图案层的导电层，得到数据线。采用上述制备方法得到的数据线的电导率较高。
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公开(公告)号：CN112114460B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202011009171.2
申请日：2020-09-23
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： G02F1/1368 , G02F1/1362 , G02F1/136
摘要： 本发明涉及一种基于阵列基板的绝缘单元及其制备方法、阵列基板及其制备方法、显示机构。该基于阵列基板的绝缘单元的制备方法包括如下步骤：在衬底上设置铝层；及对铝层进行阳极氧化，以使铝层氧化形成绝缘单元。上述基于阵列基板的绝缘单元的制备方法能够制备抗蚀性较好的绝缘单元。
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公开(公告)号：CN112242298B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202010960576.8
申请日：2020-09-14
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： H01L21/02 , H01L29/786 , G02F1/1368
摘要： 本申请公开了一种氮化硅薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板，包括通入硅烷前驱体的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的硅烷前驱体，完成通入后停留预设时间；第一次通入惰性气体的步骤：通入惰性气体，持续吹扫预设时间；通入供氮前驱体的步骤：持续通入预设时间的供氮前驱体，完成通入后停留预设的时间；第二次通入惰性气体的步骤：通入惰性气体，持续吹扫预设时间；以及重复预设次数的通入硅烷前驱体的步骤、第一次通入惰性气体的步骤、通入供氮前驱体的步骤和第二次通入惰性气体的步骤，以形成氮化硅薄膜。解决液晶面板显示出现暗点现象。
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公开(公告)号：CN112635574A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011639252.0
申请日：2020-12-31
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： H01L29/786 , H01L21/336 , G02F1/1368 , G02F1/1362 , G03F1/80
摘要： 本申请适用于显示技术领域，提供了一种液晶显示面板、薄膜晶体管及其制备方法，通过在第一道光罩制程中，制备包括第一氮化物导电层、金属层和第二氮化物导电层的源漏极层及光刻胶层；和/或，在第二道光罩制程中，将第二次湿刻的持续时间缩短为85S～95S；和/或，在第二道光罩制程中，将第二次干刻的持续时间延长为40S～50S，可以有效减小接触层的拖尾大小、增大栅极层和漏源极层之间的通道长度和沟道区域的长度，使薄膜晶体管的关态电流正常，提高基于该薄膜晶体管实现的液晶显示面板的可靠性降低，降低产生画面异常的概率。
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公开(公告)号：CN112114460A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202011009171.2
申请日：2020-09-23
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： G02F1/1368 , G02F1/1362 , G02F1/136
摘要： 本发明涉及一种基于阵列基板的绝缘单元及其制备方法、阵列基板及其制备方法、显示机构。该基于阵列基板的绝缘单元的制备方法包括如下步骤：在衬底上设置铝层；及对铝层进行阳极氧化，以使铝层氧化形成绝缘单元。上述基于阵列基板的绝缘单元的制备方法能够制备抗蚀性较好的绝缘单元。
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公开(公告)号：CN111926307A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010745877.9
申请日：2020-07-29
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/02 , C23C16/455 , G02F1/1343
摘要： 本申请公开了一种石墨烯薄膜、多孔二氧化硅粉末和透明导电层的制作方法，所述石墨烯薄膜的制作方法，包括以下步骤：提供一多孔材料粉末；在原子层沉积装置中放入多孔材料粉末；在原子层沉积装置中沉积金属催化层；使金属催化层沉积在所述多孔材料粉末的孔内，形成孔内有金属催化层的多孔材料粉末；使用孔内有金属催化层的多孔材料粉末，形成孔内有金属催化层的多孔材料模板；在多孔材料模板上制备石墨烯薄膜，这种制作方法产出的石墨烯薄膜孔隙率高，比表面积大，易于控制且致密度高，适合工业化使用。
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公开(公告)号：CN111883582B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202010752766.0
申请日：2020-07-30
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： H01L29/423 , H01L29/49 , H01L21/336 , H01L29/786 , H10K59/12 , G02F1/1343
摘要： 本申请公开了一种栅极、薄膜晶体管的制作方法和显示面板，包括步骤：在衬底上利用物理气相沉积铝金属膜；在铝金属膜上方利用原子层沉积钼金属膜；蚀刻铝金属膜和钼金属膜以形成预设图案的栅极；通过两种不同的方法分别制成两层不同的铝金属膜和钼金属膜作为栅极，所述铝采用物理气相沉积，成膜均匀致密，提高电子的迁移率，增强导电率，所述钼采用原子层沉积技术制成，钼金属膜阶梯覆盖率，沉积的密度均匀，使得导电性较强，同时钼金属膜表面平坦，致密度和平整度较强，对后续制程不会造成残留，提高钼金属膜的界面特性，同时，若用原子层沉积技术制作铝金属膜，所需的时间较长，分开不同的技术方法制程，避免影响产能。
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公开(公告)号：CN112885895B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202110100183.4
申请日：2021-01-25
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： H01L29/41 , H01L29/786 , G02F1/1368
摘要： 本发明公开一种石墨烯导电薄膜的制备方法、以及薄膜晶体管和显示装置，其中，石墨烯导电薄膜的制备方法包括以下步骤：采用原子层沉积技术在介孔二氧化硅的孔道的内壁面上沉积金属催化层；将沉积金属催化层后的介孔二氧化硅分散在第一有机溶剂中，得到分散液，将分散液制成薄膜；以薄膜为模板，采用化学气相沉积工艺制备石墨烯纳米线，并去除薄膜，得到石墨烯纳米线；将石墨烯纳米线分散至第二有机溶剂中，得到成膜液，将成膜液涂设于基板的表面，得到石墨烯导电薄膜。本发明提供的制备方法，通过原料的选择和步骤的设计，并充分结合不同工艺的优势，使制得的石墨烯导电薄膜的导电性、透明度和物理性能优良，且适合大规模生产。
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公开(公告)号：CN112904625A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110100138.9
申请日：2021-01-25
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： G02F1/1339
摘要： 本发明提供了一种导电边框胶的制备方法、导电边框胶及显示面板，该导电边框胶制备方法制得的导电边框胶包括主体胶以及分散在主体胶中的多个金属纳米线基导电体和多个弹性树脂体；其中，各金属纳米线基导电体包括金属纳米线以及包覆在金属纳米线表面的抗氧化层。本发明的导电边框胶制备方法，采用金属纳米线取代导电金球，能获得相同的导电率，但成本明显降低，使得产品更具竞争力；采用抗氧化树脂对金属纳米线进行包覆处理，阻止金属纳米线被氧化，提高其长期使用稳定性。
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公开(公告)号：CN112707385A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202110057027.4
申请日：2021-01-15
申请人： 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
IPC分类号： C01B32/16
摘要： 本申请涉及纳米材料制备技术领域，尤其涉及一种碳纳米管的制备方法，包括如下步骤：提供介孔二氧化硅分子模板；采用原子层沉积法将碳源沉积在所述介孔二氧化硅分子模板上，然后去除所述介孔二氧化硅分子模板，得到碳纳米管。该过程不需要催化剂的参与，得到的高密度和高纯度的碳纳米管在柔性显示器中具有很好的应用前景。
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