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公开(公告)号:CN103633212A
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN201310524210.6
申请日:2013-10-30
Applicant: 南京大学
CPC classification number: H01L33/105 , H01L33/0058 , H01L33/60 , H01L2933/0058
Abstract: 一种硅基金属微腔电致发光器件,自上至下为半透明金属反射镜,有源层,ITO电极,2-8个周期底部DBR、每周期厚度为共振光波长的二分之一,金属薄膜,石英基底;以SiC材料作为有源层,厚度为共振波长的1/2,半透明金属反射镜作为微腔的一面反射镜和出光面。制备方法的步骤:利用等离子体增强化学气相沉积技术,在用硅烷和甲烷作为反应起源,在石英衬底上交替生长具有两种不同组分的SiC薄膜,构成全SiC材料的DBR结构;这两种组分的SiC薄膜淀积时的流量比R=CH4/SiH4分别是1和10;在DBR结构上制备有源层,仍采用流量比R=10的SiC薄膜。本发明采用较少周期的DBR达到同样反射效果,增强方法的可操作性,重复性。
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公开(公告)号:CN103000742A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210514093.0
申请日:2012-12-04
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/075 , H01L31/0352 , H01L31/20
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 带隙渐变硅量子点多层膜的太阳电池,包括p型硅衬底,p型硅衬底上设有渐变厚度的多层非晶硅/碳化硅膜结构,渐变厚度的非晶硅/碳化硅指硅量子点/碳化硅多层膜结构,由p型硅衬底、碳化硅本征层即i层和最外层的n型纳米晶硅膜构成的p-i-n电池结构;并在表面引出电极构成电池。p型硅衬底上往表面生长的每个氢化非晶硅/碳化硅的周期中非晶硅子层厚度是逐渐减薄的;p型硅衬底上或近p型硅衬底生长的非晶硅子层最厚,往表面生长的非晶硅子层最薄。
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公开(公告)号:CN103000742B
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201210514093.0
申请日:2012-12-04
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/075 , H01L31/0352 , H01L31/20
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 带隙渐变硅量子点多层膜的太阳电池,包括p型硅衬底,p型硅衬底上设有渐变厚度的多层非晶硅/碳化硅膜结构,渐变厚度的非晶硅/碳化硅指硅量子点/碳化硅多层膜结构,由p型硅衬底、碳化硅本征层即i层和最外层的n型纳米晶硅膜构成的p-i-n电池结构;并在表面引出电极构成电池。p型硅衬底上往表面生长的每个氢化非晶硅/碳化硅的周期中非晶硅子层厚度是逐渐减薄的;p型硅衬底上或近p型硅衬底生长的非晶硅子层最厚,往表面生长的非晶硅子层最薄。
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