一种硅基金属微腔电致发光器件及制备方法

    公开(公告)号:CN103633212A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310524210.6

    申请日:2013-10-30

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: H01L33/105 H01L33/0058 H01L33/60 H01L2933/0058

    Abstract: 一种硅基金属微腔电致发光器件,自上至下为半透明金属反射镜,有源层,ITO电极,2-8个周期底部DBR、每周期厚度为共振光波长的二分之一,金属薄膜,石英基底;以SiC材料作为有源层,厚度为共振波长的1/2,半透明金属反射镜作为微腔的一面反射镜和出光面。制备方法的步骤:利用等离子体增强化学气相沉积技术,在用硅烷和甲烷作为反应起源,在石英衬底上交替生长具有两种不同组分的SiC薄膜,构成全SiC材料的DBR结构;这两种组分的SiC薄膜淀积时的流量比R=CH4/SiH4分别是1和10;在DBR结构上制备有源层,仍采用流量比R=10的SiC薄膜。本发明采用较少周期的DBR达到同样反射效果,增强方法的可操作性,重复性。

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