公开(公告)号：CN117419665A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202311399496.X

申请日：2023-10-26

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 郝飞 ,  孙佳浩 ,  付洋 ,  顾志鹏

IPC: G01B11/28 ,  G06T7/73 ,  G06T7/60

Abstract: 本发明公开一种基于正交分光远心视觉的平面尺寸测量方法，本方法采用的技术方案是，在两相机共同观测区域放置一个人工靶标，建立两者之间的几何关系，主要由两台工业相机、两个远心镜头、靶标、半透半反镜以及工作台组成，靶标或者待测零部件光线经过半透半反镜分束，分成两个相互正交的光束，在两束光的传播方向上的合适位置安装相机，根据靶标、零部件在相机坐标系中角点的图像坐标，解算出其在以靶标平面为世界坐标系中的坐标，结合CMOS相机的空间位置关系，统一坐标系，从而实现相关尺寸计算并将信息输出。本发明可实现大范围、高精度、快速、非接触的单目视觉平面尺寸测量。

公开(公告)号：CN220381023U

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202321774490.1

申请日：2023-07-07

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 张慧 ,  陈茹雯 ,  阮义胜 ,  孙佳浩

IPC: G01N21/95

Abstract: 本实用新型公开了一种半导体晶圆检测装置，包括底座、检测头三维调节装置、检测台、晶圆夹持工装和十字激光检测头；底座水平布设；检测头三维调节装置包括X向移动机构、Y向移动机构和Z向移动机构；Z向移动机构安装在底座上，X向移动机构与Z向移动机构沿X轴滑动连接，Y向移动机构与X向移动机构沿Y轴滑动连接；检测台安装在底座上；晶圆夹持工装安装在检测台上，能夹持有图晶圆；十字激光检测头安装在检测头三维调节装置上，能对有图晶圆发出十字形的激光。本装置采用十字激光检测头发出的十字形激光对不同位置晶粒中的滑移线进行检测，检测滑移线是否存在，从而判断有图晶圆上的晶粒是否存在缺陷。

公开(公告)号：CN220082584U

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202321419875.6

申请日：2023-06-06

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 阮义胜 ,  邓正平 ,  陈茹雯 ,  孙佳浩 ,  张慧

IPC: F16M11/04 ,  B08B1/00

Abstract: 本实用新型具体是一种机器视觉镜头安装支架，包括安装架体、机器视觉镜头主体和清洁块，所述清洁组件顶部设置有安装板，所述安装板两端对称滑动设置有固定组件，两组所述固定组件相互远离的一侧对称连接有夹板，所述固定组件上开设有限位槽，所述安装板内腔对称连接有横板，所述横板上滑动设置有与限位槽相互配合的限位组件，所述清洁块两端对称开设有与夹板相互配合的固定槽，更换清洁块时，拉动限位组件，使得限位组件脱离固定组件上的限位槽，解除限位组件对固定组件的限位约束，随后两组固定组件在自身弹力的作用下相背而行，进而带动两组夹板相背而行，使得夹板脱离固定槽，以此来解除夹板对清洁块的固定夹持作业，随后更换新的清洁块。