基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法

    公开(公告)号:CN113847882A

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202111051232.6

    申请日:2021-09-08

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/16 G01N21/45

    摘要: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法,包括:设置3个大口径光学平晶,初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A,平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C,平晶Ⅲ的工作面为D,平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜;进行六次测量;利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量,利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性,补偿两种因素在测量中的影响;利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项;利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项;得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响,而且能够保证各自面形在所有频率的信息。

    一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法

    公开(公告)号:CN114754669B

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202210283749.6

    申请日:2022-03-22

    摘要: 本发明公开了一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法。首先根据扩展光源和干涉图对比度关系,光纤束最大等效芯径dmax;其次将激光束耦合到光纤束中,采集不同芯径di下的干涉散斑背景图Ij,计算散斑对比度Csj,换算后得到光纤束中激发的模式数Mj;然后计算旋转毛玻璃动态散斑法中散斑模式数Msj,结合散斑抑制条件以及模式数Mj得到光纤束最小等效芯径dmin;最后根据光纤束约束条件选择最优芯径d,将旋转毛玻璃置于显微镜头和多模光纤束之间,激光束经过显微物镜透过旋转毛玻璃聚焦于(56)对比文件谢尚然;邹琪琳;屠亦军;张秀峰;王利威;张敏;廖延彪.长距离双M-Z干涉型振动传感器实时定位算法研究.光电子.激光.2009,(第08期),全文.

    基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法

    公开(公告)号:CN113847882B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202111051232.6

    申请日:2021-09-08

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/16 G01N21/45

    摘要: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法,包括:设置3个大口径光学平晶,初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A,平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C,平晶Ⅲ的工作面为D,平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜;进行六次测量;利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量,利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性,补偿两种因素在测量中的影响;利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项;利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项;得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响,而且能够保证各自面形在所有频率的信息。

    一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法

    公开(公告)号:CN114754669A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202210283749.6

    申请日:2022-03-22

    摘要: 本发明公开了一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法。首先根据扩展光源和干涉图对比度关系,光纤束最大等效芯径dmax;其次将激光束耦合到光纤束中,采集不同芯径di下的干涉散斑背景图Ij,计算散斑对比度Csj,换算后得到光纤束中激发的模式数Mj;然后计算旋转毛玻璃动态散斑法中散斑模式数Msj,结合散斑抑制条件以及模式数Mj得到光纤束最小等效芯径dmin;最后根据光纤束约束条件选择最优芯径d,将旋转毛玻璃置于显微镜头和多模光纤束之间,激光束经过显微物镜透过旋转毛玻璃聚焦于光纤束端面上,实现相干噪声抑制。本发明实现了干涉仪中相干噪声的抑制,增大旋转毛玻璃定位范围,隔绝毛玻璃振动对测量影响。

    一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法

    公开(公告)号:CN110966957A

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201911159836.5

    申请日:2019-11-22

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/16

    摘要: 本发明公开了一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法。步骤为:有3个球面镜头,分别为A、B、C;球面B作为参考面,球面A作为测试面,进行一次干涉测量;球面B作为参考面,球面A逆时针绕轴旋转90度后作为测试面,进行一次干涉测量;球面C作为参考面,球面A保持第一次测量时的位置作为测试面,进行一次干涉测量;球面C作为参考面,球面B作为测试面,进行一次干涉测量;综合测量结果,利用奇偶函数分解和Fourier级数选频方法,分解得到球面A、B、C的奇偶函数各项并得到球面A、B、C各自的绝对面形分布。本发明测量次数少、简单易行、精确高效,测量结果能够尽可能保证各自面形在所有频率的信息。