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公开(公告)号：CN115597484A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211174623.1
申请日：2022-09-26
Applicant: 南京理工大学(CN)
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种基于多球随机的球面参考镜校正方法，该方法为：首先搭建随机球测量平台；然后从多个随机球中随机选取小球固定在底座位置，开启干涉仪，调整球面参考镜与随机球相对位置，使球面参考镜与随机球发生干涉，测量一次数据；接着取下随机球，重复进行多组随机球测量，得到多组随机球测量结果，对多次测量结果进行加权平均，加权平均后的结果即为球面参考镜的校正结果；最后利用Zernike多项式对球面参考镜校正结果进行像差分析。本发明避免了球面参考镜校正过程中随机球测量区域的重叠，减少了测量结果相干性，并且提高了测量结果精度，测量平台结构简单，易于操作。
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公开(公告)号：CN115355867B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202210916045.8
申请日：2022-08-01
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B21/22
Abstract: 本发明公开了一种基于Zernike拟合的旋转角度计算方法，该方法为：首先测量出两块平晶初始位置及两个不同旋转角度位置的三个波面结果记为W1、W2、W3；其次通过Zernike多项式对三个波面进行系数拟合，分别得到Z1、Z2、Z3；提取出其中的四级彗差项，分别记为Z133、Z134、Z233、Z234、Z333、Z334；最后通过6个系数，列出相对应的方程，解出相对应的旋转角度α1、α2。本发明不需要借助旋转标尺就能实现干涉仪中对旋转角度的计算，简化了测量步骤，减少了旋转误差对绝对检验计算结果的影响。
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公开(公告)号：CN115711575A
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202211380550.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法，该方法为：首先根据被测件种类确定回程误差的阶数，判断敏感因子矩阵数q；改变q次被测件的姿态，并测量每次相位结果；然后根据测量相位结果计算结果中的倾斜量，代入方程组中计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；接着根据校正后的相位计算x、y方向上的面形导致局部倾斜量，并更新倾斜量，重新代入方程组计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；重复上述过程直至迭代收敛，得到敏感因子矩阵以及校正后相位结果。本发明可以校正斐索干涉仪在球面和平面测量中由于非零位测量导致的回程误差，无需对干涉仪内部结构进行建模，简单高效，适用范围广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113847882A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111051232.6
申请日：2021-09-08
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法，包括：设置3个大口径光学平晶，初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A，平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C，平晶Ⅲ的工作面为D，平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜；进行六次测量；利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量，利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性，补偿两种因素在测量中的影响；利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项；利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项；得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响，而且能够保证各自面形在所有频率的信息。
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公开(公告)号：CN114754669A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210283749.6
申请日：2022-03-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02 , G01B9/02015 , G02B6/028 , G02B6/04 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法。首先根据扩展光源和干涉图对比度关系，光纤束最大等效芯径dmax；其次将激光束耦合到光纤束中，采集不同芯径di下的干涉散斑背景图Ij，计算散斑对比度Csj，换算后得到光纤束中激发的模式数Mj；然后计算旋转毛玻璃动态散斑法中散斑模式数Msj，结合散斑抑制条件以及模式数Mj得到光纤束最小等效芯径dmin；最后根据光纤束约束条件选择最优芯径d，将旋转毛玻璃置于显微镜头和多模光纤束之间，激光束经过显微物镜透过旋转毛玻璃聚焦于光纤束端面上，实现相干噪声抑制。本发明实现了干涉仪中相干噪声的抑制，增大旋转毛玻璃定位范围，隔绝毛玻璃振动对测量影响。
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公开(公告)号：CN114754669B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210283749.6
申请日：2022-03-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02 , G01B9/02015 , G02B6/028 , G02B6/04 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法。首先根据扩展光源和干涉图对比度关系，光纤束最大等效芯径dmax；其次将激光束耦合到光纤束中，采集不同芯径di下的干涉散斑背景图Ij，计算散斑对比度Csj，换算后得到光纤束中激发的模式数Mj；然后计算旋转毛玻璃动态散斑法中散斑模式数Msj，结合散斑抑制条件以及模式数Mj得到光纤束最小等效芯径dmin；最后根据光纤束约束条件选择最优芯径d，将旋转毛玻璃置于显微镜头和多模光纤束之间，激光束经过显微物镜透过旋转毛玻璃聚焦于(56)对比文件谢尚然;邹琪琳;屠亦军;张秀峰;王利威;张敏;廖延彪.长距离双M-Z干涉型振动传感器实时定位算法研究.光电子.激光.2009,(第08期),全文.
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公开(公告)号：CN113847882B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202111051232.6
申请日：2021-09-08
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法，包括：设置3个大口径光学平晶，初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A，平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C，平晶Ⅲ的工作面为D，平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜；进行六次测量；利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量，利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性，补偿两种因素在测量中的影响；利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项；利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项；得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响，而且能够保证各自面形在所有频率的信息。
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公开(公告)号：CN115355867A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210916045.8
申请日：2022-08-01
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B21/22
Abstract: 本发明公开了一种基于Zernike拟合的旋转角度计算方法，该方法为：首先测量出两块平晶初始位置及两个不同旋转角度位置的三个波面结果记为W1、W2、W3；其次通过Zernike多项式对三个波面进行系数拟合，分别得到Z1、Z2、Z3；提取出其中的四级彗差项，分别记为Z133、Z134、Z233、Z234、Z333、Z334；最后通过6个系数，列出相对应的方程，解出相对应的旋转角度α1、α2。本发明不需要借助旋转标尺就能实现干涉仪中对旋转角度的计算，简化了测量步骤，减少了旋转误差对绝对检验计算结果的影响。
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