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公开(公告)号：CN114754669B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210283749.6
申请日：2022-03-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02 , G01B9/02015 , G02B6/028 , G02B6/04 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法。首先根据扩展光源和干涉图对比度关系，光纤束最大等效芯径dmax；其次将激光束耦合到光纤束中，采集不同芯径di下的干涉散斑背景图Ij，计算散斑对比度Csj，换算后得到光纤束中激发的模式数Mj；然后计算旋转毛玻璃动态散斑法中散斑模式数Msj，结合散斑抑制条件以及模式数Mj得到光纤束最小等效芯径dmin；最后根据光纤束约束条件选择最优芯径d，将旋转毛玻璃置于显微镜头和多模光纤束之间，激光束经过显微物镜透过旋转毛玻璃聚焦于(56)对比文件谢尚然;邹琪琳;屠亦军;张秀峰;王利威;张敏;廖延彪.长距离双M-Z干涉型振动传感器实时定位算法研究.光电子.激光.2009,(第08期),全文.
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公开(公告)号：CN113847882B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202111051232.6
申请日：2021-09-08
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法，包括：设置3个大口径光学平晶，初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A，平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C，平晶Ⅲ的工作面为D，平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜；进行六次测量；利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量，利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性，补偿两种因素在测量中的影响；利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项；利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项；得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响，而且能够保证各自面形在所有频率的信息。
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公开(公告)号：CN115711575A
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202211380550.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法，该方法为：首先根据被测件种类确定回程误差的阶数，判断敏感因子矩阵数q；改变q次被测件的姿态，并测量每次相位结果；然后根据测量相位结果计算结果中的倾斜量，代入方程组中计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；接着根据校正后的相位计算x、y方向上的面形导致局部倾斜量，并更新倾斜量，重新代入方程组计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；重复上述过程直至迭代收敛，得到敏感因子矩阵以及校正后相位结果。本发明可以校正斐索干涉仪在球面和平面测量中由于非零位测量导致的回程误差，无需对干涉仪内部结构进行建模，简单高效，适用范围广。
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公开(公告)号：CN115127683A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210736139.7
申请日：2022-06-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图参数失配的相位提取方法，该方法为：首先采集参数失配的空间同步移相干涉图，分割为四幅子干涉图；然后使用条纹细化法计算各干涉图的对比度和载频误差，将对比度、载频误差和预设的移相间隔的初值代入线性方程组计算干涉图的相位、背景以及调制度；接着设定干涉图间的相位、背景、调制度正确，根据方程组计算的对比度、载频误差以及移相间隔的偏差值，更新初值。重复两个过程直至收敛判定函数优于阈值，停止迭代，得到最终的对比度、载频误差以及移相间隔，最后代入最小二乘方程组计算相位。本发明降低了动态干涉仪相位提取的约束性，干涉图参数失配相位提取的准确性和可靠性高，简单高效、适用范围广。
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公开(公告)号：CN113847882A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111051232.6
申请日：2021-09-08
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法，包括：设置3个大口径光学平晶，初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A，平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C，平晶Ⅲ的工作面为D，平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜；进行六次测量；利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量，利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性，补偿两种因素在测量中的影响；利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项；利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项；得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响，而且能够保证各自面形在所有频率的信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110672216B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910901037.4
申请日：2019-09-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法。该装置包括分光膜、斜入射反射式点衍射板、粗调光点接收屏、精调成像透镜、精调光斑接收屏、载频干涉图探测器。该对准方法分为以下四个步骤：根据粗调光点接收屏上光点的位置调整装置，使光斑透过点衍射板狭缝；根据精调光斑接收屏上光斑的大小调整系统光轴方向位置；找到光斑中针孔的像，并微调系统位置，将其移动至光斑中心；再次微调系统光轴方向位置，至光斑上出现干涉图样，此时光线已精确聚焦至针孔。本发明降低了目前斜入射反射式点衍射干涉仪对点难度，且准确度高、装置简单。
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公开(公告)号：CN111649911A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010366778.X
申请日：2020-04-30
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于动态随机球测试系统的球面参考镜校正方法。该方法步骤为：搭建动态随机球测试系统；使气泵和线性电源工作，产生的气体继而推动真空发生器产生真空负压，作用到随机球的真空端口；使氮气减压器工作，输出的超纯氮气作用到随机球的超纯气体端口；使干涉仪开始工作，调整被测球面参考镜和旋转的随机球，使得两者保持干涉；随机球开始工作，保证状态完成多次测量，平均结果即为参考球面的校正结果；利用Zernike多项式展开和PSD分析，可对校正的参考球面作详细分析。本发明在校正过程中，无需多次操作参考球面和测试球面，测量所需时间少、精确高效，测量结果能够有效保证面形在各个频段的信息。
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公开(公告)号：CN110672216A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910901037.4
申请日：2019-09-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法。该装置包括分光膜、斜入射反射式点衍射板、粗调光点接收屏、精调成像透镜、精调光斑接收屏、载频干涉图探测器。该对准方法分为以下四个步骤：根据粗调光点接收屏上光点的位置调整装置，使光斑透过点衍射板狭缝；根据精调光斑接收屏上光斑的大小调整系统光轴方向位置；找到光斑中针孔的像，并微调系统位置，将其移动至光斑中心；再次微调系统光轴方向位置，至光斑上出现干涉图样，此时光线已精确聚焦至针孔。本发明降低了目前斜入射反射式点衍射干涉仪对点难度，且准确度高、装置简单。
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公开(公告)号：CN110082071A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910318797.2
申请日：2019-04-19
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法。该装置包括点光源、准直透镜、平面反射镜、分光膜、待测直角棱镜、成像透镜、成像镜头和CCD相机。方法为：首先将待测直角棱镜放入测量光路中，得到由待测直角棱镜前端面自准直返回的光束与由待测直角棱镜内部反射并返回的光束形成的干涉图；然后引入偏移量，得到一系列移相干涉图，计算出波差面数据；接着对波差面数据进行平面拟合，得到拟合平面的系数参数和入射波面与出射波面的夹角；最后将待测直角棱镜展开为相应平行玻璃平板，由拟合平面的系数参数计算出待测直角棱镜角度偏差与棱差数据。本发明能够实现直角棱镜光学平行差的自动化测量，具有装置简单、精度高、稳定性好的优点。
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公开(公告)号：CN115127683B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202210736139.7
申请日：2022-06-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图参数失配的相位提取方法，该方法为：首先采集参数失配的空间同步移相干涉图，分割为四幅子干涉图；然后使用条纹细化法计算各干涉图的对比度和载频误差，将对比度、载频误差和预设的移相间隔的初值代入线性方程组计算干涉图的相位、背景以及调制度；接着设定干涉图间的相位、背景、调制度正确，根据方程组计算的对比度、载频误差以及移相间隔的偏差值，更新初值。重复两个过程直至收敛判定函数优于阈值，停止迭代，得到最终的对比度、载频误差以及移相间隔，最后代入最小二乘方程组计算相位。本发明降低了动态干涉仪相位提取的约束性，干涉图参数失配相位提取的准确性和可靠性高，简单高效、适用范围广。
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