-
公开(公告)号：CN110515275B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201910428675.9
申请日：2019-05-22
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明关于在微光刻投射曝光装置中的组件，其具有光学元件(100、200)、至少一个重量补偿装置以及具有多个线圈(151a、151b、151c、152a、152b、152c、251a、251b、251c、252a、252b、252c)的线圈配置，其中至少一个重量补偿装置包含至少一个磁路，由此磁路所产生的磁场引起力，用于至少部分地补偿作用在光学元件上的重量的力，以及其中线圈配置可由电流来赋能以产生作用于光学元件上的补偿力，此补偿力至少部分地补偿当光学元件移动时由磁路所施加的寄生力且对作用在光学元件上的重量的力的补偿无贡献。
-
公开(公告)号：CN104160338B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380013579.9
申请日：2013-02-19
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： H02K49/04 , G03F7/70258 , G03F7/70766 , G03F7/70825 , G03F7/709 , H02K49/10
摘要： 一种光刻装置(10)，包括抑制光刻装置(10)的结构元件(13)的运动的涡电流制动器(30，70)。涡电流制动器(30，70)包括以弧形布置设置的多个磁体以及分别布置在所述磁体中的相邻磁体之间的多个导电片(35，67)。磁体和导电片之间在要制动的方向上的相对运动在导电片中感应出涡电流。
-
公开(公告)号：CN112204471A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201980034620.8
申请日：2019-04-30
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种特别是在微光刻的光学系统中基于频率确定部件的位置的测量组件，其包括至少一个光学谐振器，所述谐振器包括固定的第一谐振器反射镜、与所述部件相关联的可移动测量目标、和固定的第二谐振器反射镜，所述第二谐振器反射镜由逆向反射镜(130、330、430、530)形成，所述逆向反射镜使来自所述测量目标的测量束反射回其本身。
-
公开(公告)号：CN108519672A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810319528.3
申请日：2013-11-07
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种用于致动光学系统、尤其是投射曝光设备的光学系统中的光学元件的装置，其中，所述光学元件(101)通过具有接合件刚度的至少一个接合件(102)能够关于至少一个倾斜轴线倾斜，所述装置包含用于对所述光学元件(101)施加力的至少一个致动器(104)，其中，所述致动器(104)具有致动器刚度，其至少部分地补偿所述接合件刚度。
-
公开(公告)号：CN110515275A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910428675.9
申请日：2019-05-22
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明关于在微光刻投射曝光装置中的组件，其具有光学元件(100、200)、至少一个重量补偿装置以及具有多个线圈(151a、151b、151c、152a、152b、152c、251a、251b、251c、252a、252b、252c)的线圈配置，其中至少一个重量补偿装置包含至少一个磁路，由此磁路所产生的磁场引起力，用于至少部分地补偿作用在光学元件上的重量的力，以及其中线圈配置可由电流来赋能以产生作用于光学元件上的补偿力，此补偿力至少部分地补偿当光学元件移动时由磁路所施加的寄生力且对作用在光学元件上的重量的力的补偿无贡献。
-
公开(公告)号：CN102292659A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080004937.6
申请日：2010-01-15
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G02B7/00 , F16F7/104 , G02B7/02 , G03F7/70825 , G03F7/709
摘要： 本发明涉及用于投射曝光机的光学元件(1)的减振器件，其包括配置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器(3)，所述振动吸收器(3)各自具有至少一个减振器质量体(30)和至少一个减振元件(32)，并且所述至少两个质量体减振器(3)的减振器质量体(30)借助于至少一个连接元件相互连接。本发明还涉及投射曝光机的光学元件(1)和投射曝光机。
-
公开(公告)号：CN108519672B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201810319528.3
申请日：2013-11-07
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种用于致动光学系统、尤其是投射曝光设备的光学系统中的光学元件的装置，其中，所述光学元件(101)通过具有接合件刚度的至少一个接合件(102)能够关于至少一个倾斜轴线倾斜，所述装置包含用于对所述光学元件(101)施加力的至少一个致动器(104)，其中，所述致动器(104)具有致动器刚度，其至少部分地补偿所述接合件刚度。
-
公开(公告)号：CN104160338A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201380013579.9
申请日：2013-02-19
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： H02K49/04 , G03F7/70258 , G03F7/70766 , G03F7/70825 , G03F7/709 , H02K49/10
摘要： 一种光刻装置(10)，包括抑制光刻装置(10)的结构元件(13)的运动的涡电流制动器(30，70)。涡电流制动器(30，70)包括以弧形布置设置的多个磁体以及分别布置在所述磁体中的相邻磁体之间的多个导电片(35，67)。磁体和导电片之间在要制动的方向上的相对运动在导电片中感应出涡电流。
-
公开(公告)号：CN112204471B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201980034620.8
申请日：2019-04-30
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20 , G01B9/02 , G01B9/02001 , G01B9/02017 , G01B9/02018 , G01B9/02003 , G01B11/14 , G01B11/00
摘要： 本发明涉及一种特别是在微光刻的光学系统中基于频率确定部件的位置的测量组件，其包括至少一个光学谐振器，所述谐振器包括固定的第一谐振器反射镜、与所述部件相关联的可移动测量目标、和固定的第二谐振器反射镜，所述第二谐振器反射镜由逆向反射镜(130、330、430、530)形成，所述逆向反射镜使来自所述测量目标的测量束反射回其本身。
-
公开(公告)号：CN104781715B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201380058502.3
申请日：2013-11-07
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/181 , G02B7/182 , G02B7/1828 , G02B26/0816 , G02B26/0833 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70825
摘要： 本发明涉及一种用于致动光学系统、尤其是投射曝光设备的光学系统中的光学元件的装置，其中，所述光学元件(101)通过具有接合件刚度的至少一个接合件(102)能够关于至少一个倾斜轴线倾斜，所述装置包含用于对所述光学元件(101)施加力的至少一个致动器(104)，其中，所述致动器(104)具有致动器刚度，其至少部分地补偿所述接合件刚度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
12 条记录 (耗时 0.033 秒)
