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公开(公告)号:CN104380202B
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:CN201380016215.6
申请日:2013-02-14
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号: G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B19/0023 , G02B19/0047 , G02B26/0833 , G03F7/00 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/7015 , G03F7/70291
摘要: 一种光学部件(40),包含:反射镜阵列(22),该反射镜阵列具有多个反射镜元件(23),多个反射镜元件各连接到用于位移的至少一个致动器(131);用于致动器到外部的信号传输连接的多个信号线(47);用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置的全局控制/调节装置(134);及用于调节反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136),其中,所述调节装置(136)在各个情况中均完全集成在所述部件(40;40a)中。
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公开(公告)号:CN104380202A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380016215.6
申请日:2013-02-14
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号: G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B19/0023 , G02B19/0047 , G02B26/0833 , G03F7/00 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/7015 , G03F7/70291
摘要: 一种光学部件(40),包含:反射镜阵列(22),该反射镜阵列具有多个反射镜元件(23),多个反射镜元件各连接到用于位移的至少一个致动器(131);用于致动器到外部的信号传输连接的多个信号线(47);用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置的全局控制/调节装置(134);及用于调节反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136),其中,所述调节装置(136)在各个情况中均完全集成在所述部件(40;40a)中。
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