公开(公告)号：CN113140437A

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN202110088298.6

申请日：2021-01-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 林弘青 ,  涂纪诚 ,  张一庭 ,  吕超波 ,  林琮闵

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265 ,  F17D1/02 ,  F17D3/01 ,  F17D5/00 ,  F17D5/02

Abstract: 一种离子布植系统以及用于离子布植的气体运输的方法。离子布植系统包括具有离子源单元的离子布植机和掺杂剂源气体供应系统。此系统包括位于远离离子布植机的气箱容器内部的掺杂剂源气体储存罐，以及用以将掺杂剂源气体从掺杂剂源气体储存罐供应到离子源单元的掺杂剂源气体供应管。掺杂剂源气体供应管包括内管、包围内管的外管、连接至相应的内管和外管的第一端的第一管转接器，以及连接至相应的内管和外管的第二端的第二管转接器。第一管转接器将内管连接到掺杂剂源气体储存罐，而第二管转接器将内管连接到离子源单元。

公开(公告)号：CN113140437B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202110088298.6

申请日：2021-01-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 林弘青 ,  涂纪诚 ,  张一庭 ,  吕超波 ,  林琮闵

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265 ,  F17D1/02 ,  F17D3/01 ,  F17D5/00 ,  F17D5/02

Abstract: 一种离子布植系统以及用于离子布植的气体运输的方法。离子布植系统包括具有离子源单元的离子布植机和掺杂剂源气体供应系统。此系统包括位于远离离子布植机的气箱容器内部的掺杂剂源气体储存罐，以及用以将掺杂剂源气体从掺杂剂源气体储存罐供应到离子源单元的掺杂剂源气体供应管。掺杂剂源气体供应管包括内管、包围内管的外管、连接至相应的内管和外管的第一端的第一管转接器，以及连接至相应的内管和外管的第二端的第二管转接器。第一管转接器将内管连接到掺杂剂源气体储存罐，而第二管转接器将内管连接到离子源单元。

公开(公告)号：CN110957245B

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN201910924585.9

申请日：2019-09-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 林弘青 ,  张纪瑩 ,  涂纪诚 ,  陈卿雲 ,  张一庭 ,  陈丰裕

IPC: H01L21/67

Abstract: 在一些实施例中，提供一种用于监测机台的系统及方法。所述系统包括晶圆盒、设于晶圆盒中的第一感测器、设于晶圆盒中并电性地连接第一感测器的电源供应器、设于晶圆盒中并耦合至第一感测器的无线单元，以及用于将晶圆盒从装载端口传送至另一装载端口的搬运系统。

公开(公告)号：CN110957245A

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201910924585.9

申请日：2019-09-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 林弘青 ,  张纪瑩 ,  涂纪诚 ,  陈卿雲 ,  张一庭 ,  陈丰裕

IPC: H01L21/67

Abstract: 在一些实施例中，提供一种用于监测机台的系统及方法。所述系统包括晶圆盒、设于晶圆盒中的第一感测器、设于晶圆盒中并电性地连接第一感测器的电源供应器、设于晶圆盒中并耦合至第一感测器的无线单元，以及用于将晶圆盒从装载端口传送至另一装载端口的搬运系统。