用于文件数据分析的方法及系统

    公开(公告)号:CN1783069A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510073528.2

    申请日:2005-06-02

    IPC分类号: G06F17/30

    摘要: 本发明涉及一种用于文件数据分析的方法及系统,所述用于文件数据分析的系统,包含词库、解析器、及处理器。该词库是储存多个技术词汇及用以定义该技术词汇之间关系的关系指数。该解析器是分别从第一文件及第二文件中撷取出第一及第二对象阶层,其中该第一及第二对象阶层分别包含多个第一及第二参考对象。该处理器是于该词库中搜寻与该第一及第二参考对象对应的技术词汇,并依据搜寻得到的该技术词汇所对应的该关系指数,决定该第一及第二参考对象之间的关联评比。

    结合工具及结合方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114709149A

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202210232600.5

    申请日:2022-03-09

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/50 B08B5/00

    摘要: 本发明实施例的一种结合工具包括气体供应管线,所述气体供应管线可直接在和一个或多个气体供应罐相关联的阀门与处理腔室之间延伸,使得气体供应管线在无任何中间阀门或其他类型的结构的情况下不间断,否则所述中间阀门或其他类型的结构可能会导致在处理腔室与和所述一个或多个气体供应罐相关联的阀门之间的气体供应管线中的压力累积。气体供应管线中的压力可维持在处理腔室中的压力或接近处理腔室中的压力,使得经由气体供应管线被提供到处理腔室的气体不会导致处理腔室中的压力不平衡,否则所述压力不平衡可能会导致将在处理腔室中结合的半导体衬底之间的提早接触或过早接触。

    用于文件数据分析的方法及系统

    公开(公告)号:CN100419755C

    公开(公告)日:2008-09-17

    申请号:CN200510073528.2

    申请日:2005-06-02

    IPC分类号: G06F17/30

    摘要: 本发明涉及一种用于文件数据分析的方法及系统,所述用于文件数据分析的系统,包含词库、解析器、及处理器。该词库是储存多个技术词汇及用以定义该技术词汇之间关系的关系指数。该解析器是分别从第一文件及第二文件中撷取出第一及第二对象阶层,其中该第一及第二对象阶层分别包含多个第一及第二参考对象。该处理器是于该词库中搜寻与该第一及第二参考对象对应的技术词汇,并依据搜寻得到的该技术词汇所对应的该关系指数,决定该第一及第二参考对象之间的关联评比。