一种基板清洗设备
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103691715B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310752372.5

    申请日:2013-12-30

    IPC分类号: B08B11/04 H01L21/66

    摘要: 本发明公开了一种基板清洗设备,包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器;其中,载台固定于机架;清洗头本体位于载台上方,且可滑动地安装于机架;激光位移传感器安装于清洗头本体、且通过向玻璃基板表面发射激光探测射线来测量激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息;信号处理器与激光位移传感器信号连接、且用于当激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。本发明提供的基板清洗设备能够准确地检测出被测玻璃基板是否有破损,且能够避免漏检的情况出现,提高了破损玻璃基板的检出率。

    一种基板清洗设备
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103691715A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310752372.5

    申请日:2013-12-30

    IPC分类号: B08B11/04 H01L21/66

    CPC分类号: B08B11/04

    摘要: 本发明公开了一种基板清洗设备,包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器;其中,载台固定于机架;清洗头本体位于载台上方,且可滑动地安装于机架;激光位移传感器安装于清洗头本体、且通过向玻璃基板表面发射激光探测射线来测量激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息;信号处理器与激光位移传感器信号连接、且用于当激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。本发明提供的基板清洗设备能够准确地检测出被测玻璃基板是否有破损,且能够避免漏检的情况出现,提高了破损玻璃基板的检出率。