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公开(公告)号：CN102171612A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200980138968.8
申请日：2009-10-01
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/038 , G03F7/38 , C07C271/24 , C07D211/14 , C07D295/20
CPC classification number: C07D295/20 , C07C271/24 , C07D317/50 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0387
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其为高灵敏度，不论聚酰亚胺母体的种类如何均得到溶解性对比度，结果可以保持充分的工艺余量，并且得到形状良好的图案。所述感光性树脂组合物，其中，含有由通式(I)表示的光产碱剂以及聚酰亚胺母体，通式(I)中，各符号如说明书中定义所示。通式(I)
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公开(公告)号：CN101981154B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN200980111428.0
申请日：2009-03-30
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , B33Y70/00 , C08G73/10 , C08G73/22 , C08L79/04 , C08L79/08 , G03F7/038 , G03F7/0387 , G03F7/20 , Y10S430/114 , Y10S430/12
Abstract: 本发明涉及一种碱产生剂，其用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱。本发明为灵敏度优异且不管高分子母体的种类如何均可以利用的碱产生剂，含有本发明的碱产生剂的感光性树脂组合物可以在曝光部和未曝光部得到大的溶解性对比度，从而得到形状良好的图案。化学式(1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102575140A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080042078.X
申请日：2010-09-29
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C09K3/00 , C07D295/18 , G03F7/004 , G03F7/038 , H01L21/027
CPC classification number: C07D295/18 , C07D401/10 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0387 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物及可利用于这样的感光性树脂组合物的碱产生剂，所述感光性树脂组合物的分辨性优异、成本低且通过碱性物质或通过在碱性物质的存在下的加热而生成最终产物的反应得到促进的高分子前体在结构上可应用的选择范围宽。所述碱产生剂的特征在于具有特定的结构且通过照射电磁波和加热来产生碱，所述感光性树脂组合物的特征在于含有：碱产生剂及通过碱性物质或通过在碱性物质存在下的加热而生成最终产物的反应得到促进的高分子前体。
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公开(公告)号：CN102365341A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201080014608.X
申请日：2010-03-26
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C09K3/00 , C07D295/18 , C07D309/12 , C07D317/64 , C08K5/04 , C08L101/00 , C09D7/12 , C09D11/00 , C09D201/00 , C09J11/06 , C09J179/04 , C09J179/08 , C09J201/00 , C09J201/02 , G03F7/004 , G03F7/038
CPC classification number: C07D295/18 , B33Y70/00 , C07D309/12 , C07D317/64 , C08G73/10 , C08G73/22 , C08K5/17 , C08K5/20 , C08L79/04 , C08L79/08 , C09D7/63 , C09D11/03 , C09D11/101 , G03F7/0037 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0387 , G03F7/0757 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种高感度且可适用的范围较广的碱产生剂以及高分子前驱体在结构上可适用的选择范围较广的感光性树脂组合物，所述高分子前驱体是可通过碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。本发明的碱产生剂的特征在于，其以下述化学式(1)表示且通过电磁波照射和加热产生碱；本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有所述碱产生剂和下述高分子前驱体，所述高分子前驱体为可通过所述碱产生剂和碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。化学式(1)式中的记号同说明书中的记载。
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公开(公告)号：CN102365341B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201080014608.X
申请日：2010-03-26
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C07D295/18 , C07D309/12 , C07D317/64 , C08K5/04 , C08L101/00 , C09D7/12 , C09D11/101 , C09D201/00 , C09J11/06 , C09J179/04 , C09J179/08 , C09J201/00 , C09J201/02 , G03F7/004 , G03F7/038
CPC classification number: C07D295/18 , B33Y70/00 , C07D309/12 , C07D317/64 , C08G73/10 , C08G73/22 , C08K5/17 , C08K5/20 , C08L79/04 , C08L79/08 , C09D7/63 , C09D11/03 , C09D11/101 , G03F7/0037 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0387 , G03F7/0757 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种高感度且可适用的范围较广的碱产生剂以及高分子前驱体在结构上可适用的选择范围较广的感光性树脂组合物，所述高分子前驱体是可通过碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。本发明的碱产生剂的特征在于，其以下述化学式(1)表示且通过电磁波照射和加热产生碱；本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有所述碱产生剂和下述高分子前驱体，所述高分子前驱体为可通过所述碱产生剂和碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。化学式(1)式中的记号同说明书中的记载。
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公开(公告)号：CN102171612B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200980138968.8
申请日：2009-10-01
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/038 , G03F7/38 , C07C271/24 , C07D211/14 , C07D295/20
CPC classification number: C07D295/20 , C07C271/24 , C07D317/50 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0387
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其为高灵敏度，不论聚酰亚胺母体的种类如何均得到溶解性对比度，结果可以保持充分的工艺余量，并且得到形状良好的图案。所述感光性树脂组合物，其中，含有由通式(I)表示的光产碱剂以及聚酰亚胺母体，通式(I)中，各符号如说明书中定义所示。通式(I)
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公开(公告)号：CN101981154A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980111428.0
申请日：2009-03-30
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , B33Y70/00 , C08G73/10 , C08G73/22 , C08L79/04 , C08L79/08 , G03F7/038 , G03F7/0387 , G03F7/20 , Y10S430/114 , Y10S430/12
Abstract: 本发明涉及一种碱产生剂，其用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱。本发明为灵敏度优异且不管高分子母体的种类如何均可以利用的碱产生剂，含有本发明的碱产生剂的感光性树脂组合物可以在曝光部和未曝光部得到大的溶解性对比度，从而得到形状良好的图案。
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