专利检索 ap:("大日本网目版制造株式会社") AND inv:"中井一博" 第 1 页

1.

发明授权
缺陷检查装置、图形描绘装置及图形描绘系统有权

公开(公告)号：CN101275917B

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN200810086302.X

申请日：2008-03-25

申请人： 大日本网目版制造株式会社

发明人： 山田亮 , 古川至 , 北村清志 , 中井一博

IPC分类号： G01N21/88 , G01N33/00 , G06T3/00 , G01R31/28 , H01L21/66 , H01L21/00 , H01L21/027

摘要： 本发明提供一种能够以简单的结构在执行描绘之前检测用于图形描绘的行程长度数据的缺陷的技术。分别取得输入CAD数据(D1)和通过对该输入CAD数据(D1)进行RIP处理来取得的行程长度数据(D2)。然后，对输入CAD数据(D1)和行程长度数据(D2)中的至少一种数据执行规定的转换处理，以使两种数据变成能够相互比较的数据格式，并比较两种数据，进而检测出有差异的区域而作为行程长度数据(D2)的缺陷区域。

2.

发明公开
缺陷检查装置、图形描绘装置及图形描绘系统有权

公开(公告)号：CN101275917A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810086302.X

申请日：2008-03-25

申请人： 大日本网目版制造株式会社

发明人： 山田亮 , 古川至 , 北村清志 , 中井一博

IPC分类号： G01N21/88 , G01N33/00 , G06T3/00 , G01R31/28 , H01L21/66 , H01L21/00 , H01L21/027

摘要： 本发明提供一种能够以简单的结构在执行描绘之前检测用于图形描绘的行程长度数据的缺陷的技术。分别取得输入CAD数据(D1)和通过对该输入CAD数据(D1)进行RIP处理来取得的行程长度数据(D2)。然后，对输入CAD数据(D1)和行程长度数据(D2)中的至少一种数据执行规定的转换处理，以使两种数据变成能够相互比较的数据格式，并比较两种数据，进而检测出有差异的区域而作为行程长度数据(D2)的缺陷区域。

3.

发明授权
图形写装置、图形写方法和衬底失效

公开(公告)号：CN1241069C

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：CN03131357.4

申请日：2003-05-15

申请人： 大日本网目版制造株式会社

发明人： 中井一博

IPC分类号： G03F7/22 , G03F9/00 , G02B26/10 , H04N1/113 , H04N1/23

CPC分类号： G03F7/70508 , G03F7/704

摘要： 在用于写排列在衬底上的LSI芯片的多个图形块的图形写装置中，提供用于光栅化LSI数据931的光栅化部件(312)、用于在来自摄像机(15a)的图像基础上获得衬底9的膨胀/收缩率的膨胀/收缩率计算部件(312)、用于根据膨胀/收缩率校正光栅数据(932)的数据校正部件(314)以及用于在校正数据基础上产生写数据的数据产生部件(315)。从由数据产生部件(315)产生的写数据，在衬底上写图形块阵列，其中在相邻图形块之间的非图形区的宽度改变而每个图形块的宽度保持不变。

4.

发明公开
图形写装置、图形写方法和衬底失效

公开(公告)号：CN1467570A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN03131357.4

申请日：2003-05-15

申请人： 大日本网目版制造株式会社

发明人： 中井一博

IPC分类号： G03F7/22 , G03F9/00 , G02B26/10 , H04N1/113 , H04N1/23

CPC分类号： G03F7/70508 , G03F7/704

摘要： 在用于写排列在衬底上的LSI芯片的多个图形块的图形写装置中，提供用于光栅化LSI数据931的光栅化部件(312)、用于在来自摄像机(15a)的图像基础上获得衬底9的膨胀/收缩率的膨胀/收缩率计算部件(312)、用于根据膨胀/收缩率校正光栅数据(932)的数据校正部件(314)以及用于在校正数据基础上产生写数据的数据产生部件(315)。从由数据产生部件(315)产生的写数据，在衬底上写图形块阵列，其中在相邻图形块之间的非图形区的宽度改变而每个图形块的宽度保持不变。