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公开(公告)号：CN106987809A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710348599.1
申请日：2017-05-17
申请人： 大连交通大学
摘要： 本发明公开了一种有机真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统和连接组件；加热系统中电热丝通电对金属导热体进行加热，达到有机物蒸发温度蒸发产生气相分子，通过控制系统旋转挡板的旋转闭合实现对镀膜过程的开始与结束，冷却系统始终处于工作状态，以免加热温度过高及实现金属导热体腔内坩埚的均匀受热，测温系统的电偶丝直接测量金属导热体温度进而反馈有机物的加热温度，连接组件的合理连接保证整个设备正常工作。
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公开(公告)号：CN104483512A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410836854.3
申请日：2014-12-29
申请人： 大连交通大学
IPC分类号： G01Q60/16
摘要： 本发明公开了一种扫描隧道显微镜针尖腐蚀仪，包括机械组件、工作电路和控制电源。控制电源包括控制电路和操控面板。控制电路包括调压稳压模块、电压测量模块、电流测量模块、阈值设定模块、采样比较模块和电压输出模块，调压稳压模块所用采样电阻R2位于高电位处，采样比较模块采用LM319型比较器。由于本发明所设计控制电路将以往针尖腐蚀仪控制电路中的采样电阻从整个负载电压采集系统中移走，改在高电位处，通过这样的方式可以精确测量实时电流，同时保证负载电阻两端的恒压输出，而电流随着负载电阻的增大而逐渐减小，这样单参量的变化是容易控制和分析的，增强了腐蚀过程的稳定性，从而提高了针尖制作的成功率。
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公开(公告)号：CN104319217A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410558790.5
申请日：2014-10-20
申请人： 大连交通大学
摘要： 本发明公开了一种低能量电子枪，其包括：发射电子的电子发射装置；加速引导上述电子，用于控制电子的数量和速度的栅极装置；对上述电子形成的电子束进行形状约束的聚焦装置；将上述装置容纳于其腔体内的电子枪壳；以及将上述电子发射装置、栅极装置以及聚焦装置固定于上述电子枪壳腔体内，起固定支撑作用的支撑装置；所述聚焦装置由三个相互配合的环形电极构成；其中一个环形电极为正电位电极，其前端通过绝缘球与其余两个环形电极绝缘隔开，其后端同样通过绝缘球与栅极装置绝缘隔开；其余两个环形电极相互配合构成一电极结构，且该电极结构处于零电位。本发明提供的电子枪具有低能量、电子数量和能量等级可调、结构紧凑和使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN103474318A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310474465.6
申请日：2013-10-10
申请人： 大连交通大学
IPC分类号： H01J37/305
摘要： 本发明公开了一种溅射离子枪，具有：气流方向调节装置、氩离子产生装置和聚焦透镜；氩离子产生装置的内部具有加载电压可调的电子加速栅网和与该电子加速栅网参考点位相关联的灯丝；电子加速栅网为一侧壁为金属网的圆管；电子加速栅网的前端为栅网阳极，后端为栅网阴极；通过调节加载在电子加速栅网上的电压控制氩离子沿该栅网轴向的运动速度，调节离子产生效率。本发明可以在进行表面刻蚀或深度分析时单独使用，提升离子枪表面处理效果的同时使得表面处理过程可调控。在进行样品表面的清洁处理或表面重构时可以采用离子溅射和真空退火反复循环处理。整套离子枪的用材完全适合超高真空环境的使用要求，可耐200℃以上的高温烘烤。
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公开(公告)号：CN108445248B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201810469666.X
申请日：2018-05-16
申请人： 大连交通大学
摘要： 本发明属于超高真空设备领域，具体涉及一种低温二维真空样品台。一种低温二维真空样品台，其两个回转驱动电机的动力分别由第一无磁旋转钢丝和第二无磁旋转钢丝传至样品台旋转机构内，第一无磁旋转钢丝将扭矩传至样品台旋转机构内，实现样品台的面内旋转运动；第二无磁旋转钢丝将扭矩传至样品台旋转机构内，实现样品台的倾角摆动；冷却套管下端与样品台旋转机构接触，冷却套管上端设有冷源入口，以保持样品台旋转机构低温；样品台旋转机构外包覆低温屏蔽罩，防止温度扩散。本发明结构简单，便于生产，且成本低廉，满足不同的使用要求；本发明在保持超高真空环境的同时，可以在超低温环境下工作。
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公开(公告)号：CN103929870B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410195467.6
申请日：2014-05-09
申请人： 大连交通大学
摘要： 行。本发明公开了一种X射线源，包括X射线产生和发射组件、水冷温控组件和工作电路；所述的X射线产生和发射组件包括铜棒、陶瓷管、主管、靶头、阳极靶A和阳极靶B；所述的阳极靶A和阳极靶B分别位于靶头的两个楔形面上，所述的阳极靶A和阳极靶B上分别蒸镀有Mg层和Al层。所述的水冷温控组件包括水冷外筒、水冷内筒和安装法兰，安装法兰内部循环冷却水对主管进行冷却；冷却水由水冷内筒流入，从水冷外筒流出，通过双层水冷方式对靶头进行冷却。本发明的阳极靶是将靶材蒸镀到靶头上，以确保阳极靶直接和冷却水接触。阳极靶的温度和冷却水的流量可以实
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公开(公告)号：CN106093473A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610597536.5
申请日：2016-07-27
申请人： 大连交通大学
IPC分类号： G01Q60/16
CPC分类号： G01Q60/16
摘要： 本发明公开了一种Pt‑Ir针尖腐蚀装置及其工作方法，包括机械组件、工作电路和自动电路控制系统；所述的自动电路控制系统包括交流信号发生模块、交流电压信号采集及放大模块、交流电压信号有效值提取及显示电路、交流电流信号采集模块、交流电流信号绝对值处理电路、交直流转换及显示电路、阈值设定模块、采样信号比较电路模块、信号处理电源模块和功率开关单元。本发明在自动电路控制系统加载了交流电流信号绝对值处理电路，将交流电流信号转化为可以直接观测的直流电压信号，采样信号比较电路模块将其与预设值进行比较，确定功率开关单元的动作。按照本发明的方法制作Pt‑Ir针尖的过程中，从未在烧杯底部发现过断裂的Pt‑Ir金属丝。
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公开(公告)号：CN103928278A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410195904.4
申请日：2014-05-09
申请人： 大连交通大学
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/18 , H01J37/147 , H01J37/06
摘要： 本发明公开了一种高能量电子枪，包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本发明采用了差分抽真空维持机构，同时配合阳极结构的特点，可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小，所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小，使得差分抽真空可行，从而提高了阴极灯丝的使用寿命，进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本发明通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小，进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦，从而调整电子束束斑的大小。本发明通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小，从而调整电子束束斑的位置。
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公开(公告)号：CN107217236B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201710350948.3
申请日：2017-05-17
申请人： 大连交通大学
IPC分类号： C23C14/26
摘要： 本发明公开了一种低温真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；该装置中电极通电对加热系统的灯丝加热，当其温度达到坩埚内物质的升华温度时，源物质开始蒸发，蒸发出的气体分子在真空腔体内发射到待镀膜的基体上，可实现对碱金属和有机化合物的蒸发；测温系统的热电偶通过电偶丝传导检测实时蒸发温度，冷却系统的进水管通入冷却水，通过冷却罩内部的水循环对坩埚降温，达到低温蒸发的效果；坩埚口上面的旋转挡板可通过手动杆调节控制蒸发出的物质是否对基体镀膜。
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公开(公告)号：CN108490478A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810293828.9
申请日：2018-03-30
申请人： 大连交通大学
IPC分类号： G01T1/29
摘要： 本发明提供一种束流测量快丝扫描装置，包括：驱动机构、支撑转接机构、传动机构和摆针测量装置；所述驱动机构包括电机和磁耦合旋转导入器；所述支撑转接机构包括：转接法兰、电机固定架、支撑架和支撑板；所述传动机构包括转动轴和联轴器，所述摆针测量装置包括摆针、摇臂和倾角轴。本装置能够在保证密封的前提下，将电机提供的动力经由轴承传递至法兰的另一端，并最终将轴承的转动转化为摆动，使摆针快速往复摆动，性能可靠，扫描速度快。
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