相位差补偿元件、液晶装置和投射型显示设备

    公开(公告)号:CN100547442C

    公开(公告)日:2009-10-07

    申请号:CN200680025185.5

    申请日:2006-07-07

    Inventor: 藤井隆满

    Abstract: 一种相位差补偿元件包括至少一个双折射层压体,该双折射层压体包含透光基底材料和a个在倾斜入射真空蒸镀方向上有变化并被层压在透光基底材料表面上的无机倾斜入射真空淀积膜,其中a≥2。所述双折射层压体满足由公式(i)和公式(ii)所表示的条件:Re(1)<Re(a) ...(i);Re(b-1)≤Re(b) ...(ii)。其中b为满足条件2≤b≤a的任意整数,其中Re(i)分别表示在形成所述“a”个无机倾斜入射真空淀积膜的诸阶段中在第i个膜形成阶段形成的无机倾斜入射真空淀积膜的延迟值d·Δn,其中1≤i≤a,d表示膜厚,且Δn表示双折射指数。

    相位差补偿元件、液晶装置和投射型显示设备

    公开(公告)号:CN101218524A

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200680025185.5

    申请日:2006-07-07

    Inventor: 藤井隆满

    Abstract: 一种相位差补偿元件包括至少一个双折射层压体,该双折射层压体包含透光基底材料和a个在倾斜入射真空蒸镀方向上有变化并被层压在透光基底材料表面上的无机倾斜入射真空淀积膜,其中a≥2。所述双折射层压体满足由公式(i)和公式(ii)所表示的条件:Re(1)<Re(a) (i);Re(b-1)≤Re(b) (ii);其中b为满足条件2≤b≤a的任意整数其中Re(i)分别表示在形成所述“a”个无机倾斜入射真空淀积膜的诸阶段中在第i个膜形成阶段形成的无机倾斜入射真空淀积膜的延迟值d·Δn,其中1≤i≤a,d表示膜厚,且Δn表示双折射指数。

    相位差补偿器、光调制系统、液晶显示器和液晶投影仪

    公开(公告)号:CN101424765A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200810169061.5

    申请日:2005-12-14

    Abstract: 本发明涉及相位差补偿器、光调制系统、液晶显示器和液晶投影仪,尤其是一种在正交尼科耳配置中的偏振元件对之间使用的相位差补偿器,包括:透明衬底,透明衬底和垂直于偏振元件对的光轴相垂直;第一相位差补偿层,由透明衬底支撑,第一相位差补偿层的光轴与透明衬底相垂直;以及第二相位差补偿层,包括三层或更多层堆叠膜,其中每层堆叠膜都具有倾斜于透明衬底法线的光轴,正交投影到透明衬底上的、堆叠膜中两个堆叠膜的光轴方向相互之间隔开大约180°。

    溅射方法及装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101376965A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200810214955.1

    申请日:2008-08-29

    Abstract: 本发明提供一种溅射方法及溅射装置,其以简单的构成、简单的控制可实现防止了反溅射的膜的高品质化、组成不一致的控制及成膜再现性的提高,从而能够成膜无膜质的变化的高品质的压电膜、绝缘膜或电介质膜等薄膜。具有在真空容器内保持靶材的溅射电极、及和溅射电极对向且离开地配置且保持基板的基板支架,还包括用于调节基板支架的阻抗的可调节的阻抗电路,通过调节阻抗电路的阻抗,来调节基板支架的阻抗,从而调节基板的电位,由此来解决上述课题。

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