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    肟酯光敏引发剂
    1.
    发明公开
    肟酯光敏引发剂 失效

    公开(公告)号：CN105198793A

    公开(公告)日：2015-12-30

    申请号：CN201510582755.1

    申请日：2013-05-06

    申请人： 巴斯夫欧洲公司

    发明人： 西前祐一 ,  仓久敏 ,  国本和彦 ,  山上隆平 ,  田中庆太

    IPC分类号： C07D209/88 ,  C07D209/86 ,  G03F7/031 ,  G03F7/00

    摘要： 式I、II、III、IV或V的肟酯化合物为有效的光敏引发剂，其中Z为例如(式A)；Z1为例如NO2、未经取代或经取代的C7-C20芳酰基或未经取代或经取代的C4-C20杂芳酰基；条件为至少一个Z1不同于NO2；Z2为例如未经取代或经取代的C7-C20芳酰基；R1、R2、R3、R4、R5和R6为例如氢、卤素、或未经取代或经取代的C1-C20烷基、未经取代或经取代的C6-C20芳基、或未经取代或经取代的C4-C20杂芳基；R9、R10、R11、R12和R13为例如氢、卤素、OR16、未经取代或经取代的C1-C20烷基；条件为R9与R13不为氢或氟；R14为例如未经取代或经取代的C6-C20芳基或C3-C20杂芳基；Q为例如C6-C20亚芳基或C3-C20亚杂芳基；Q1为-C1-C20亚烷基-CO-；Q2为亚萘甲酰基；Q3为例如亚苯基；L为例如O-亚烷基-O-；R15为例如氢或C1-C20烷基；R20为例如氢、或未经取代或经取代的C1-C20烷基。

    肟酯光敏引发剂
    4.
    发明授权
    肟酯光敏引发剂 失效

    公开(公告)号：CN107652222B

    公开(公告)日：2021-09-10

    申请号：CN201710845961.6

    申请日：2013-05-06

    申请人： 巴斯夫欧洲公司

    发明人： 西前祐一 ,  仓久敏 ,  国本和彦 ,  山上隆平 ,  田中庆太

    IPC分类号： C07D209/86 ,  C08F283/10 ,  C08F220/06 ,  C08F2/50 ,  C09D151/08 ,  C09D7/63 ,  G02B5/20 ,  G03F7/30

    摘要： 式I、II、III、IV或V的肟酯化合物为有效的光敏引发剂，其中Z为‑(式A)；Z1为‑NO2、未经取代或经取代的C7‑C20芳酰基或未经取代或经取代的C4‑C20杂芳酰基；条件为至少一个Z1不同于NO2；Z2为‑未经取代或经取代的C7‑C20芳酰基；R1、R2、R3、R4、R5和R6为‑氢、卤素、或未经取代或经取代的C1‑C20烷基、未经取代或经取代的C6‑C20芳基、或未经取代或经取代的C4‑C20杂芳基；R9、R10、R11、R12和R13为‑氢、卤素、OR16、未经取代或经取代的C1‑C20烷基；条件为R9与R13不为氢或氟；R14为‑未经取代或经取代的C6‑C20芳基或C3‑C20杂芳基；Q为‑C6‑C20亚芳基或C3‑C20亚杂芳基；Q1为‑C1‑C20亚烷基‑CO‑；Q2为亚萘甲酰基；Q3为‑亚苯基；L为‑O‑亚烷基‑O‑；R15为‑氢或C1‑C20烷基；R20为‑氢、或未经取代或经取代的C1‑C20烷基。

    潜酸及其用途
    5.
    发明授权
    潜酸及其用途 有权

    公开(公告)号：CN107207456B

    公开(公告)日：2021-05-04

    申请号：CN201680007677.5

    申请日：2016-01-29

    申请人： 巴斯夫欧洲公司

    发明人： 田中庆太 ,  由己裕征 ,  国本和彦 ,  朝仓敏景 ,  仓久敏

    IPC分类号： C07D311/16 ,  C07D307/52

    摘要： 本发明涉及式(I)和(IA)的化合物，其中X为‑O(CO)‑；R1为C1‑C12卤代烷基或C6‑C10卤代芳基；R2位于香豆素基环的7位且为OR8；R2a、R2b和R2c彼此独立地为氢；R3为C1‑C8卤代烷基或C1‑C8卤代烷基；R4为氢；且R8为C1‑C6烷基；其适合作为制备光致抗蚀剂组合物(例如用于例如制备间隔件、隔离层、层间介电膜、绝缘层、平坦化层、保护层、外涂层、电致发光显示器和液晶显示器(LCD)的储存单元)中的光敏性酸供体。