公开(公告)号：CN101537617A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200810171488.9

申请日：2008-08-29

申请人： 应用材料公司

发明人： 维杰依·撒卡利 ,  赛卡尔·克里斯娜萨米 ,  莫德凯·赖斯卡 ,  唐纳德·佛丹纳尔 ,  里奈特·史姆什 ,  马文·L·弗里曼 ,  杰弗里·C·哈德更斯

IPC分类号： B25J9/16 ,  H01L21/68 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/681 ,  B25J9/1692 ,  G01B11/03 ,  G01B21/042 ,  G05B2219/37278 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39056 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： 本发明公开一种利用校准装置的机械手校准的方法和设备。在一个实施例中，用于执行机械手校准的方法包括横跨目标(例如，晶片卡盘)地移动校准装置。下面，该方法包括利用定位于校准装置上的传感器测量传感器的光点和目标的周边之间的距离。下面，该方法包括确定校准装置相对于目标的中心的位移。然后，该方法包括确定校准装置相对于目标的坐标系统的旋转角。下面，该方法包括根据校准装置关于目标的位移和旋转角来校准机械手的机械手位置。

公开(公告)号：CN101508111A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200810168640.8

申请日：2008-08-29

申请人： 应用材料公司

发明人： 赛卡尔·克里斯娜萨米 ,  维杰依·撒卡利 ,  莫德凯·赖斯卡 ,  唐纳德·佛丹纳尔 ,  里奈特·史姆什

IPC分类号： B25J9/16 ,  G05B19/401

CPC分类号： B25J19/023 ,  B25J9/107 ,  B25J9/1692 ,  G05B2219/39011 ,  G05B2219/39016

摘要： 本发明公开一种使用照相机用于机械手校准的方法和系统。在一个实施例中，用于执行机械手校准的方法包括人工校准关于目标对准的机械手叶片的中心。该方法进一步包括记录关于照相机对准的机械手叶片的中心的第一位置值。该方法进一步包括自动确定关于照相机对准的机械手叶片的中心的第二位置值。该方法进一步包括根据第二位置值和第一位置值之间的偏移量超过第一位置值的容许偏移量来自动重新校准机械手叶片。