公开(公告)号：CN101537617A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200810171488.9

申请日：2008-08-29

申请人： 应用材料公司

发明人： 维杰依·撒卡利 ,  赛卡尔·克里斯娜萨米 ,  莫德凯·赖斯卡 ,  唐纳德·佛丹纳尔 ,  里奈特·史姆什 ,  马文·L·弗里曼 ,  杰弗里·C·哈德更斯

IPC分类号： B25J9/16 ,  H01L21/68 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/681 ,  B25J9/1692 ,  G01B11/03 ,  G01B21/042 ,  G05B2219/37278 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39056 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： 本发明公开一种利用校准装置的机械手校准的方法和设备。在一个实施例中，用于执行机械手校准的方法包括横跨目标(例如，晶片卡盘)地移动校准装置。下面，该方法包括利用定位于校准装置上的传感器测量传感器的光点和目标的周边之间的距离。下面，该方法包括确定校准装置相对于目标的中心的位移。然后，该方法包括确定校准装置相对于目标的坐标系统的旋转角。下面，该方法包括根据校准装置关于目标的位移和旋转角来校准机械手的机械手位置。

公开(公告)号：CN107787266A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201680031611.X

申请日：2016-05-27

申请人： 剑桥医疗机器人技术有限公司

发明人： 卢克·大卫·罗纳尔德·黑尔

IPC分类号： B25J9/16

CPC分类号： B25J9/1692 ,  A61B34/30 ,  A61B34/32 ,  B25J9/1679 ,  B25J9/1682 ,  G05B2219/39021 ,  G05B2219/39024 ,  G05B2219/39026 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39051 ,  G05B2219/39135 ,  G05B2219/39399 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/15 ,  Y10S901/46

摘要： 一种用于表征机器人环境的方法，该机器人具有底座、灵活的手臂、手臂带有的基面、多个驱动装置以及多个位置传感器，手臂从底座延伸出并具有多个用于改变手臂的配置的连接点，驱动装置用于驱使连接点移动，位置传感器用于感应每个连接点的位置，该方法包括：在第一机器人的环境，使手臂的基面与第二机器人的第一基面接触，其中第二机器人具有底座、灵活的手臂、以及多个驱动装置，第二机器人的手臂从底座延伸出并具有多个用于改变手臂的配置的连接点，第二机器人的驱动装置用于驱使连接点移动；根据位置传感器的输出计算机器人自己的参照系中所界定的参考位置与第一基面的距离；以及至少根据所计算出的距离，控制驱动装置，以更改第一手臂的配置。

公开(公告)号：CN107643064A

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201710577214.9

申请日：2017-07-14

申请人： 发那科株式会社

发明人： 畑中心

IPC分类号： G01B21/04 ,  G01B21/00

CPC分类号： B25J9/1692 ,  G05B2219/39045 ,  G05B2219/39047

摘要： 本发明提供一种机器人的原点位置校准装置，能够简单地实施六轴以上机器人的原点位置校准。该机器人的原点位置校准装置包括：轴位置记录部(14)，在机器人的多个姿势中，在使配置于机器人的凸缘坐标系的指定坐标的第二对位点与配置于机器人的基座坐标系的指定坐标的第一对位点一致时，记录各姿势中的机器人各轴的位置数据；以及位置偏移计算部(15)，根据轴位置记录部(14)中存储的多组位置数据，计算机器人各轴的原点位置从真正的原点位置偏移的偏移量。