-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101736316B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200910261086.2
申请日：2006-04-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·诺瓦克 , 均·卡洛斯·若彻-阿勒圭瑞 , 安德则耶·卡祖巴 , 斯科特·A·亨德里克森 , 达斯廷·W·霍 , 萨恩吉夫·巴卢哈 , 汤姆·周 , 约瑟芬尼·常 , 海澈姆·穆萨德
CPC classification number: B08B7/0035 , C23C16/4405
Abstract: 本发明用于处理室的高效UV清洁，其提供一种紫外(UV)固化室，其能够对布置在衬底上的介质材料进行固化并对其进行原位清洁。串列处理室设有两个单独并相邻的处理区域，这些处理区域由盖子所覆盖的主体限定，盖子分别位于各个处理区域上方并具有对准的窗口。每个由耦合到盖子的壳体所覆盖的处理区域有一个或多个UV灯泡发射UV光，UV光被经过窗口导向位于处理区域内的衬底上。UV灯泡可以是发光二极管阵列或采用例如微波或射频源的灯泡。可以在固化处理期间以脉冲方式产生UV光。使用远程产生的氧基/臭氧和/或原位实现了室的清洁。使用灯阵列、衬底与灯头的相对运动以及灯反射器形状和/或位置的实时改变可以增强衬底照明的均匀性。
-
公开(公告)号：CN101736316A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910261086.2
申请日：2006-04-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·诺瓦克 , 均·卡洛斯·若彻-阿勒圭瑞 , 安德则耶·卡祖巴 , 斯科特·A·亨德里克森 , 达斯廷·W·霍 , 萨恩吉夫·巴卢哈 , 汤姆·周 , 约瑟芬尼·常 , 海澈姆·穆萨德
CPC classification number: B08B7/0035 , C23C16/4405
Abstract: 本发明用于处理室的高效UV清洁，其提供一种紫外(UV)固化室，其能够对布置在衬底上的介质材料进行固化并对其进行原位清洁。串列处理室设有两个单独并相邻的处理区域，这些处理区域由盖子所覆盖的主体限定，盖子分别位于各个处理区域上方并具有对准的窗口。每个由耦合到盖子的壳体所覆盖的处理区域有一个或多个UV灯泡发射UV光，UV光被经过窗口导向位于处理区域内的衬底上。UV灯泡可以是发光二极管阵列或采用例如微波或射频源的灯泡。可以在固化处理期间以脉冲方式产生UV光。使用远程产生的氧基/臭氧和/或原位实现了室的清洁。使用灯阵列、衬底与灯头的相对运动以及灯反射器形状和/或位置的实时改变可以增强衬底照明的均匀性。
-
公开(公告)号：CN101171367A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200680014799.3
申请日：2006-04-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·诺瓦克 , 均·卡洛斯·若彻-阿勒圭瑞 , 安德则耶·卡祖巴 , 斯科特·A·亨德里克森 , 达斯廷·W·霍 , 萨恩吉夫·巴卢哈 , 汤姆·周 , 约瑟芬尼·常 , 海澈姆·穆萨德
CPC classification number: B05D3/067 , B05D3/0209 , B05D3/0493 , H01L21/31058
Abstract: 一种紫外(UV)固化室，能够对布置在衬底上的介质材料进行固化并对其进行原位清洁。串列处理室设有两个单独并相邻的处理区域，这些处理区域由盖子所覆盖的主体限定，盖子分别位于各个处理区域上方并具有对准的窗口。每个由耦合到盖子的壳体所覆盖的处理区域有一个或多个UV灯泡发射UV光，UV光被经过窗口导向位于处理区域内的衬底上。UV灯泡可以是发光二极管阵列或采用例如微波或射频源的灯泡。可以在固化处理期间以脉冲方式产生UV光。使用远程产生的氧基/臭氧和/或原位实现了室的清洁。使用灯阵列、衬底与灯头的相对运动以及灯反射器形状和/或位置的实时改变可以增强衬底照明的均匀性。
-
公开(公告)号：CN102136411B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201010534873.2
申请日：2007-03-19
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯 , 托马斯·诺瓦克 , 戴尔·R·杜·博伊斯 , 萨尼夫·巴鲁贾 , 斯科特·A·亨德里克森 , 达斯廷·W·胡 , 安德兹·卡祖巴 , 汤姆·K·乔 , 希姆·M·萨德 , 恩德卡·O·米科蒂
IPC: H01L21/00 , H01L21/3105 , C23C16/56
CPC classification number: B05D3/067 , B29C71/04 , B29C2035/0827 , F26B3/28 , H01L21/67115
Abstract: 本发明的实施方式主要涉及一种用于固化沉积于衬底上的介电材料的紫外固化腔室以及利用紫外辐射固化介电材料的方法。根据本发明实施方式的一种衬底处理设备包括限定衬底处理区的主体；在所述衬底处理区内支撑衬底的衬底支架；与所述衬底支架间隔设置的紫外辐射灯，所述灯设计用于向位于所述衬底支架上的衬底传播紫外辐射；以及运转耦合的电机使所述紫外辐射灯或衬底支架的至少其中之一相对彼此旋转至少180度。所述衬底处理设备还可包括一个或多个反射器，其用于在衬底上产生紫外辐射的泛光图案，所述图案具有高亮度区域和低亮度区域，当旋转时，所述区域结合而产生基本均匀的辐射图案。在本发明中还公开了其他实施方式。
-
公开(公告)号：CN101171367B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200680014799.3
申请日：2006-04-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·诺瓦克 , 均·卡洛斯·若彻-阿勒圭瑞 , 安德则耶·卡祖巴 , 斯科特·A·亨德里克森 , 达斯廷·W·霍 , 萨恩吉夫·巴卢哈 , 汤姆·周 , 约瑟芬尼·常 , 海澈姆·穆萨德
CPC classification number: B05D3/067 , B05D3/0209 , B05D3/0493 , H01L21/31058
Abstract: 一种紫外(UV)固化室，能够对布置在衬底上的介质材料进行固化并对其进行原位清洁。串列处理室设有两个单独并相邻的处理区域，这些处理区域由盖子所覆盖的主体限定，盖子分别位于各个处理区域上方并具有对准的窗口。每个由耦合到盖子的壳体所覆盖的处理区域有一个或多个UV灯泡发射UV光，UV光被经过窗口导向位于处理区域内的衬底上。UV灯泡可以是发光二极管阵列或采用例如微波或射频源的灯泡。可以在固化处理期间以脉冲方式产生UV光。使用远程产生的氧基/臭氧和/或原位实现了室的清洁。使用灯阵列、衬底与灯头的相对运动以及灯反射器形状和/或位置的实时改变可以增强衬底照明的均匀性。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.078 seconds)
