具有双边测量能力的掠入射干涉仪

    公开(公告)号:CN106415191A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201480057206.6

    申请日:2014-08-14

    IPC分类号: G01B9/02 G01B11/06

    摘要: 掠入射干涉仪包括隔开的第一衍射光学元件和第二衍射光学元件,在其之间设置大体上平面的物体。第一衍射光学元件形成剪切的第一衍射阶光束,剪切的第一衍射阶光束以掠入射角从物体的相反的第一表面和第二表面反射,而零衍射阶光束未反射。第二衍射光学元件将未反射的零衍射阶光束和剪切的反射光束结合以形成准直的结合光束。1X双远心中继系统将结合光束中继到折叠光学系统,所述折叠光学系统在位于像平面处的漫射屏上形成第一干涉图像和第二干涉图像。第一干涉图像和第二干涉图像的数字图像被获取并被处理以表征物体的厚度变化。

    具有双边测量能力的掠入射干涉仪

    公开(公告)号:CN106415191B

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201480057206.6

    申请日:2014-08-14

    IPC分类号: G01B9/02 G01B11/06

    摘要: 掠入射干涉仪包括隔开的第一衍射光学元件和第二衍射光学元件,在其之间设置大体上平面的物体。第一衍射光学元件形成剪切的第一衍射阶光束,剪切的第一衍射阶光束以掠入射角从物体的相反的第一表面和第二表面反射,而零衍射阶光束未反射。第二衍射光学元件将未反射的零衍射阶光束和剪切的反射光束结合以形成准直的结合光束。1X双远心中继系统将结合光束中继到折叠光学系统,所述折叠光学系统在位于像平面处的漫射屏上形成第一干涉图像和第二干涉图像。第一干涉图像和第二干涉图像的数字图像被获取并被处理以表征物体的厚度变化。

    宽视场头戴式显示器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108139588A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680059029.4

    申请日:2016-10-05

    发明人: J·M·科布

    IPC分类号: G02B27/01 G02B5/02

    摘要: 一种用于向观看者显示的光学设备具有凹球面镜,所述凹球面镜具有在观看者瞳孔处的曲率中心并且具有第二曲率半径。图像生成设备将图像形成到球形漫射表面上,其中,所述球形漫射表面具有第一曲率半径,所述第一曲率半径基本上是第二曲率半径长度的一半。分束器沿着凹球面镜的主轴定位,并且将弯曲的漫射表面光学设置在凹球面镜的焦面处。

    具有色彩组合元件的光多路复用器

    公开(公告)号:CN105980913A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201480075365.9

    申请日:2014-12-10

    IPC分类号: G02B27/10 G02B27/14

    摘要: 在此披露了一种光多路复用系统,该系统包括色彩组合元件以及两个或更多个第一色彩通道、第二色彩通道和第三色彩通道。每个色彩通道包括光源,该光源朝向该色彩组合元件对应地引导具有相应第一波长带、第二波长带或第三波长带的光。该色彩组合元件包括第一和第二。该第一窗口和第二窗口是由固体透明材料制成并且共同地包括三个涂覆表面。这些表面可以是非邻接的。第一涂覆表面接收具有该第一波长带、第二波长带和第三波长带的光。该第一涂覆表面反射该具有该第一波长带的光并且透射该具有该第二波长带和第三波长带的光。第二涂覆表面接收由该第一涂覆表面透射的具有该第二波长带和第三波长带的光。该第二涂覆表面反射该具有第二波长带的光并且透射该具有该第三波长带的光。该第三涂覆表面接收由该第二涂覆表面透射的该具有该第三波长带的光并且将其反射。该所反射的第一波长带、第二波长带和第三波长带作为同轴光束离开该色彩组合元件的该第一表面。

    光分离器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101317117A

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN200680044635.5

    申请日:2006-10-30

    发明人: J·M·科布

    IPC分类号: G02B27/14 H01L31/00

    摘要: 光分离器将多色光分离成较长波长的谱带和较短波长的谱带。所述光分离器被限定在两个相对的侧表面之间,所述相对的侧表面反射入射光,并且所述光分离器还具有用来接受所述多色光的输入侧和用来提供已分离的谱带的输出侧。第一光波导通道从输入侧到输出侧变窄,并位于第一二向色表面和第一外表面之间,所述第一二向色表面用于反射较长的波长并透射较短的波长,所述第一外表面反射入射光。第二光波导通道从输入侧到输出侧变窄,并位于第二二向色表面和第二外表面之间,所述第二二向色表面用于反射较短的波长并透射较长的波长,所述第二外表面反射入射光。光分离器的一部分是第一和第二光波导通道共有的。

    具有校正特征的光均质化元件

    公开(公告)号:CN112352203A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201980043771.X

    申请日:2019-06-14

    IPC分类号: G03F7/20 G02B27/09

    摘要: 描述了光均质化元件。光均质化元件包括具有校正特征的透镜阵列,该校正特征被设计成改善由光源产生的光场的均匀度。校正特征包括放置在透镜阵列中的所选小透镜的所选位置处的掩模。校正特征阻挡或减少穿过该所选位置处的透镜阵列的光的透射,以校正由光源产生的光场中的空间或角度不均匀性。包括耦合至光源的经校正透镜阵列的照明系统产生高度均匀的光场。应用包括微光刻。