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公开(公告)号：CN1102288A
公开(公告)日：1995-05-03
申请号：CN94190054.1
申请日：1994-01-10
Applicant: 大不列颠及北爱尔兰联合王国国防大臣
Inventor： M·F·路易斯
CPC classification number: G01D5/48 , G01B9/02023 , G01B9/02097 , G01B2290/30 , G01J9/04
Abstract: 用于以纳米精度测量物体的位移的设备，它包括：用于初级电信号的rf源(50)；传感器(24)，用于产生中间信号；相移装置(56)，它与中间信号作用，以使物体的位移使相移装置(56)将中间信号的路径长度改变一个与该位移直接有关的量；相位传递装置(60)，使中间信号的相位被传递到次级信号；以及，相位检测器(62)，用于测量次级信号的相位在物体位移时相对于初级信号的改变。
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公开(公告)号：CN108061515A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711089578.9
申请日：2017-11-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 川崎和彦
CPC classification number: G01B9/02079 , G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B9/02087 , G01B9/02027 , G01B11/2441
Abstract: 目的是提供一种用于形状测量的相位偏移干涉仪。相位偏移干涉仪由低廉组件构成，并且在较短时间内实现高精度的形状测量。解决方式：相位偏移干涉仪被配置为通过在使干涉条纹的相位偏移的情况下获取干涉条纹的多个图像来测量测量对象的形状。利用偏光使干涉条纹相对于彼此有90°的相位差。在根据传统相位偏移法使参考面或参考光路机械移位以使相位偏移的情况下，利用两个照相机分别拍摄干涉条纹的图像。根据照相机所获取到的各图像来独立计算干涉条纹的相位，并且计算两个相位计算结果的平均值。因而，即使由于移位台的移位误差而针对各照相机发生相位分析误差，也可以通过计算这两个结果的平均值来抵消分析误差，结果实现了高精度的测量。
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公开(公告)号：CN105143813B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201480021342.X
申请日：2014-03-11
Applicant: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/02018 , G01B9/02035 , G01B9/02058 , G01B9/02061 , G01B9/02097 , G01B11/026 , G01B2290/30
Abstract: 本发明涉及一种用于在两个物体之间干扰式测量距离的装置，两个物体相互间沿着至少一移动方向活动地设置。设有至少一光源以及至少一分裂元件，它将由光源发射的射束在分裂位置上分裂成至少两个分射束，它们以不同的角度继续传播。此外所述装置包括至少一偏转元件，它引起入射到其上的分射束偏转到汇合位置方向，在汇合位置分裂的分射束出现干扰的叠加，并且所述分射束在分裂位置与汇合位置之间的光程这样构成，使分射束在分裂位置与汇合位置之间经过的光学路程长度在两个物体之间的距离变化的情况下是一致的。此外设有至少一检测装置用于由干扰的分射束的叠加副中检测与距离有关的信号。
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公开(公告)号：CN1285879C
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN03152522.9
申请日：2003-08-01
Applicant: 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
CPC classification number: G01D5/268 , G01B2290/30 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01D5/26 , G01D5/266 , G01D5/34723 , G01D5/38
Abstract: 本发明给出了一种位置检测装置，该装置用于确定两个物体的相对位置。所述位置检测装置包括一个光源和一个用于产生与位移有关的输出信号的信号发生机构。所述光源由单模激光光源构成并通过反馈机构这样相互作用，使得在单模激光光源中产生多模激励并实现单模激光光源的多模工作方式。
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公开(公告)号：CN107271057A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710040480.8
申请日：2017-01-19
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G01J9/02
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B9/02087 , G01B2290/30 , G01J1/0407 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0422 , G01J1/0437 , G01J5/024 , G01J5/0803 , G01J5/0806 , G01J5/0809 , H01L31/00 , G01J9/02 , G01J2009/0211
Abstract: 本申请提供一种光检测装置以及光检测系统。本公开的一形态所涉及的光检测装置具备：光检测器，包含沿着主面配置的多个第1检测器以及多个第2检测器；光耦合层，配置在所述光检测器上或者上方；以及遮光膜，配置在所述光耦合层上。所述光耦合层包含：第1低折射率层；第1高折射率层，配置在所述第1低折射率层上，包含第1光栅；以及第2低折射率层，配置在所述第1高折射率层上。所述遮光膜包含：透光区域、以及与所述透光区域相邻的遮光区域。所述透光区域与所述多个第1检测器中包含的两个以上的第1检测器对置，所述遮光区域与所述多个第2检测器中包含的两个以上的第2检测器对置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102313509A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110152803.5
申请日：2011-06-08
Applicant: 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 迈克尔·斯特普塔特 , 格哈德·福格特 , 弗洛里安·加茨扎雷克
CPC classification number: G01B9/02081 , G01B9/02028 , G01B2290/15 , G01B2290/30 , G01B2290/70 , G01S7/4812 , G01S7/499 , G01S17/08
Abstract: 一种光学距离测量装置，由光源和干涉仪单元组成，单元具有测量-逆向反射器、位置固定地设置的基准-逆向反射器、分光器元件、光束聚合单元和检测单元。由光源发出的光束能围绕基准-逆向反射器的中心偏转。通过分光器元件将由光源入射的光束分离成至少一个测量光束和基准光束。测量光束在测量-逆向反射器的方向上传播且基准光束相对于测量光束共线地在基准-逆向反射器的方向上传播。测量-逆向反射器对测量光束和基准-逆向反射器对基准光束在光束聚合单元的方向上回反射，测量光束在测量-逆向反射器上反射之前和之后相对于基准-逆向反射器对称延伸。聚合单元使测量光束和基准光束干涉。通过检测单元能检测取决于距离的干涉信号。
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公开(公告)号：CN101128717B
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200680005923.X
申请日：2006-02-09
Applicant: 莱卡地球系统公开股份有限公司
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02004 , G01B9/0207 , G01B2290/30 , G01B2290/60
Abstract: 本发明涉及用于干涉仪绝对距离测量的相位噪声补偿。在向至少一个待测目标发射调频电磁射线并随后在外差混频下接收由目标散射回的射线的测距方法中，使射线平行经过干涉测量基准长度。此外，在接收时产生由目标散射回的射线的数字化第一干涉图和经过基准长度的射线的数字化第二干涉图。从第二干涉图的相位曲线数据中合成出虚拟干涉图或者虚拟干涉图的相位曲线，在这里，通过比较第一干涉图的相位曲线数据与虚拟干涉图的相位曲线数据来确定距离。
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公开(公告)号：CN101128717A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200680005923.X
申请日：2006-02-09
Applicant: 莱卡地球系统公开股份有限公司
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02004 , G01B9/0207 , G01B2290/30 , G01B2290/60
Abstract: 本发明涉及用于干涉仪绝对距离测量的相位噪声补偿。在向至少一个待测目标发射调频电磁射线并随后在外差混频下接收由目标散射回的射线的测距方法中，使射线平行经过干涉测量基准长度。此外，在接收时产生由目标散射回的射线的数字化第一干涉图和经过基准长度的射线的数字化第二干涉图。从第二干涉图的相位曲线数据中合成出虚拟干涉图或者虚拟干涉图的相位曲线，在这里，通过比较第一干涉图的相位曲线数据与虚拟干涉图的相位曲线数据来确定距离。
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公开(公告)号：CN1118063A
公开(公告)日：1996-03-06
申请号：CN95103469.3
申请日：1992-05-30
Applicant: 兰克·泰勒·霍布森有限公司
CPC classification number: G01B11/303 , G01B5/004 , G01B9/02081 , G01B2290/30 , G01B2290/70
Abstract: 用于测量表面或外形或纹理的装置包括一个光栅干涉仪，该干涉仪包括装在一个枢轴支承臂上的一个弯曲光栅，在支承臂的另一端装有一个探头以和一个表面相接触，探头是由一个电磁线圈绕在一个衔铁上或由一对这样的偏置装置施加偏置力而与表面接触的。一个信号处理线路包括一个条纹计数器和一个内插器；内插器包括一个数字计数器。
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公开(公告)号：CN1479074A
公开(公告)日：2004-03-03
申请号：CN03152522.9
申请日：2003-08-01
Applicant: 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
CPC classification number: G01D5/268 , G01B2290/30 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01D5/26 , G01D5/266 , G01D5/34723 , G01D5/38
Abstract: 本发明给出了一种位置检测装置，该装置用于确定两个物体的相对位置。所述位置检测装置包括一个光源和一个用于产生与位移有关的输出信号的信号发生机构。所述光源由单模激光光源构成并通过反馈机构这样相互作用，使得在单模激光光源中产生多模激励并实现单模激光光源的多模工作方式。
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