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公开(公告)号:CN102549749A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201080036733.0
申请日:2010-06-21
申请人: 弗劳恩霍弗应用技术研究院 , 乌利斯股份公司
IPC分类号: H01L27/146
CPC分类号: H01L27/14618 , G01J5/045 , G01J5/0875 , H01L27/14649 , H01L27/14683 , H01L2224/16 , H01L2924/01019 , H01L2924/01057 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/10157 , H01L2924/10158 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
摘要: 红外辐射微装置、所述装置的盖子和制备所述装置的方法,所述装置包括基底、盖子和红外辐射检测、发射或反射红外微单元,所述红外微单元置于由所述基底和所述盖子限定的空腔中,所述盖子包括抗反射表面纹理,以提高红外辐射透过率,其中在添加过程中在所述盖子的基底侧上和/或所述基底的盖子侧上形成的距离框架置于所述基底和所述盖子之间。
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公开(公告)号:CN102549749B
公开(公告)日:2017-06-20
申请号:CN201080036733.0
申请日:2010-06-21
申请人: 乌利斯股份公司
IPC分类号: H01L27/146
CPC分类号: H01L27/14618 , G01J5/045 , G01J5/0875 , H01L27/14649 , H01L27/14683 , H01L2224/16 , H01L2924/01019 , H01L2924/01057 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/10157 , H01L2924/10158 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
摘要: 红外辐射微装置、所述装置的盖子和制备所述装置的方法,所述装置包括基底、盖子和红外辐射检测、发射或反射红外微单元,所述红外微单元置于由所述基底和所述盖子限定的空腔中,所述盖子包括抗反射表面纹理,以提高红外辐射透过率,其中在添加过程中在所述盖子的基底侧上和/或所述基底的盖子侧上形成的距离框架置于所述基底和所述盖子之间。
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