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公开(公告)号：CN104183469B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201410171492.0
申请日：2014-04-25
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01L21/265 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置，精度良好地将已扫描的高能量离子束平行化。本发明的高能量离子注入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换；及射束传输线单元，将已偏转的高能量离子束传输到晶片。射束传输线单元具有射束整形器、高能量用射束扫描器、高能量用射束平行化器及高能量用最终能量过滤器。并且，高能量用射束平行化器为通过电场重复高能量射束的加速和减速并且将扫描束平行化的电场式射束平行化器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104658843A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410675978.8
申请日：2014-11-21
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/21 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/08 , H01J2237/24535 , H01J2237/304 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701 , H01J37/09 , H01J37/21
Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置、射束电流调整装置及射束电流调整方法，其课题在于例如在高能量离子注入装置中调整注入射束电流。本发明的用于离子注入装置的射束电流调整装置(300)具备配置于离子束的会聚点(P)或其附近的可变孔隙(302)。可变孔隙(302)构成为，调整会聚点(P)的与离子束的会聚方向垂直的方向的射束宽度，以控制注入射束电流。可变孔隙(302)可以配置于紧接质量分析狭缝(22b)的后方。射束电流调整装置(300)也可以设置于具有高能量多段直线加速单元(14)的高能量离子注入装置(100)。
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公开(公告)号：CN104835710A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201510069271.7
申请日：2015-02-10
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/12 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/121 , H01J2237/16 , H01J37/317 , H01J37/08
Abstract: 本发明提供高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法，适于高能量离子注入装置。射束平行化器(300)具备多个透镜部(310、312)，沿着基准轨道排列，以在射束平行化器的出口生成相对于基准轨道被平行化的射束。多个透镜部分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且通过施加于弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成的角度。空间部(322、324)设置于多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间。空间部朝向被平行化的射束的与基准轨道垂直的剖面的短边方向。包括基准轨道在内的内侧区域通过空间部与多个透镜部的外侧区域连接。
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公开(公告)号：CN104835710B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201510069271.7
申请日：2015-02-10
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/12 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/121 , H01J2237/16
Abstract: 本发明提供高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法，适于高能量离子注入装置。射束平行化器(300)具备多个透镜部(310、312)，沿着基准轨道排列，以在射束平行化器的出口生成相对于基准轨道被平行化的射束。多个透镜部分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且通过施加于弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成的角度。空间部(322、324)设置于多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间。空间部朝向被平行化的射束的与基准轨道垂直的剖面的短边方向。包括基准轨道在内的内侧区域通过空间部与多个透镜部的外侧区域连接。
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公开(公告)号：CN104658843B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201410675978.8
申请日：2014-11-21
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/21 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/08 , H01J2237/24535 , H01J2237/304 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置、射束电流调整装置及射束电流调整方法，其课题在于例如在高能量离子注入装置中调整注入射束电流。本发明的用于离子注入装置的射束电流调整装置(300)具备配置于离子束的会聚点(P)或其附近的可变孔隙(302)。可变孔隙(302)构成为，调整会聚点(P)的与离子束的会聚方向垂直的方向的射束宽度，以控制注入射束电流。可变孔隙(302)可以配置于紧接质量分析狭缝(22b)的后方。射束电流调整装置(300)也可以设置于具有高能量多段直线加速单元(14)的高能量离子注入装置(100)。
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公开(公告)号：CN104183469A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410171492.0
申请日：2014-04-25
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01L21/265 , H01L21/67
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/3171 , H01J2237/04737 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01L21/26506
Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置，精度良好地将已扫描的高能量离子束平行化。本发明的高能量离子注入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换；及射束传输线单元，将已偏转的高能量离子束传输到晶片。射束传输线单元具有射束整形器、高能量用射束扫描器、高能量用射束平行化器及高能量用最终能量过滤器。并且，高能量用射束平行化器为通过电场重复高能量射束的加速和减速并且将扫描束平行化的电场式射束平行化器。
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