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公开(公告)号：CN102471869B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080028939.9
申请日：2010-05-06
Applicant: 日本磁性技术株式会社
CPC classification number: H01J37/3255 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32357 , H01J37/32467 , H01J37/32477
Abstract: 本发明的目的在于提供一种阳极壁多分割型等离子发生装置及使用该阳极壁多分割型等离子发生装置的等离子处理装置，该阳极壁多分割型等离子发生装置能够防止由扩散等离子在阳极内壁上附着、堆积而形成了的堆积物剥落而导致阴极与阳极间短路。在阴极(2)与阳极(3)之间发生了的等离子(P)从阴极(2)朝前方放出、扩散时，扩散物质(41)在电极筒体内壁上再结晶化而附着、堆积，作为碳薄片(40)剥落。由纵横的槽(37、38)将电极筒体内壁多分割成矩阵状。借助于多个突部(35)的堆积物分离作用，即使扩散等离子在阳极(3)上附着、堆积，堆积物也微细化，不产生大型乃至长形的堆积物。从小片的突部(39)剥落作为微细片的碳薄片(40)，不会发生堆积物剥落而跨在阴极(2)与阳极(3)上桥接的情形，能够防止两极间的短路现象的发生。
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公开(公告)号：CN102471872A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080028940.1
申请日：2010-06-30
Applicant: 日本磁性技术株式会社
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/325 , H01J37/32357 , H01J37/32477
Abstract: 本发明的目的在于防止形成在等离子处理装置中的小滴捕集用的环状肋上的、由等离子流产生的堆积物落下到等离子发生部而引起短路。将小滴捕集用的环状肋分割成多个肋片，从而实现由等离子流的物质的凝集形成在上述环状肋上的堆积物的、在形成最初阶段的细化。借助于该堆积物的细化，当该堆积物作为碎片落下到等离子发生部时，该碎片进入到设在阴极与上述等离子发生部的壁面之间的槽部，上述阴极与上述壁面的电短路得到防止。
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公开(公告)号：CN102471869A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080028939.9
申请日：2010-05-06
Applicant: 日本磁性技术株式会社
CPC classification number: H01J37/3255 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32357 , H01J37/32467 , H01J37/32477
Abstract: 本发明的目的在于提供一种阳极壁多分割型等离子发生装置及使用该阳极壁多分割型等离子发生装置的等离子处理装置，该阳极壁多分割型等离子发生装置能够防止由扩散等离子在阳极内壁上附着、堆积而形成了的堆积物剥落而导致阴极与阳极间短路。在阴极(2)与阳极(3)之间发生了的等离子(P)从阴极(2)朝前方放出、扩散时，扩散物质(41)在电极筒体内壁上再结晶化而附着、堆积，作为碳薄片(40)剥落。由纵横的槽(37、38)将电极筒体内壁多分割成矩阵状。借助于多个突部(35)的堆积物分离作用，即使扩散等离子在阳极(3)上附着、堆积，堆积物也微细化，不产生大型乃至长形的堆积物。从小片的突部(39)剥落作为微细片的碳薄片(40)，不会发生堆积物剥落而跨在阴极(2)与阳极(3)上桥接的情形，能够防止两极间的短路现象的发生。
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公开(公告)号：CN102471872B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201080028940.1
申请日：2010-06-30
Applicant: 日本磁性技术株式会社
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/325 , H01J37/32357 , H01J37/32477
Abstract: 本发明的目的在于防止形成在等离子处理装置中的小滴捕集用的环状肋上的、由等离子流产生的堆积物落下到等离子发生部而引起短路。将小滴捕集用的环状肋分割成多个肋片，从而实现由等离子流的物质的凝集形成在上述环状肋上的堆积物的、在形成最初阶段的细化。借助于该堆积物的细化，当该堆积物作为碎片落下到等离子发生部时，该碎片进入到设在阴极与上述等离子发生部的壁面之间的槽部，上述阴极与上述壁面的电短路得到防止。
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