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公开(公告)号：CN102471872B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201080028940.1
申请日：2010-06-30
Applicant: 日本磁性技术株式会社
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/325 , H01J37/32357 , H01J37/32477
Abstract: 本发明的目的在于防止形成在等离子处理装置中的小滴捕集用的环状肋上的、由等离子流产生的堆积物落下到等离子发生部而引起短路。将小滴捕集用的环状肋分割成多个肋片，从而实现由等离子流的物质的凝集形成在上述环状肋上的堆积物的、在形成最初阶段的细化。借助于该堆积物的细化，当该堆积物作为碎片落下到等离子发生部时，该碎片进入到设在阴极与上述等离子发生部的壁面之间的槽部，上述阴极与上述壁面的电短路得到防止。
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公开(公告)号：CN102209799B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201080003171.X
申请日：2010-02-10
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
CPC classification number: H01J37/32422 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32055 , H01J37/32357 , H01J37/32376 , H01J37/32669 , H01J37/32871
Abstract: 在包括等离子体发生部、等离子体输送管和等离子体处理部的等离子体处理装置中，在等离子体输送管的始端侧与终端侧之间插装绝缘体以及绝缘体，构成使等离子体输送管与等离子体发生部和等离子体处理部电气地独立的绝缘体插装型等离子体处理装置。将等离子体输送管由插装于其间的中间绝缘体分割成多个小输送管(B01、B23)，使各小输送管电气地独立。使等离子体输送管或者多个小输送管成为电气浮动状态、或者连接输送管用偏置电源(EB01、EB23)，以使得能够将等离子体输送管或者小输送管的电位设定为GND、可变正电位或者可变负电位。此外，使小输送管弯曲状地连续地设置而通过几何学的构造去除微滴。
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公开(公告)号：CN101636520A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200880008675.3
申请日：2008-03-27
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
CPC classification number: H01J37/32633 , H01J37/147 , H01J37/3178 , H01J37/32055 , H01J2237/022 , H01J2237/05 , H01J2237/3142 , H05H1/48
Abstract: 本发明提供一种等离子体生成装置，其在等离子管中，可以不减退通过真空电弧放电产生的等离子体的有效量地有效去除混入等离子体的微滴，而且可以简单并廉价地构成微滴去除部，可谋求用高纯度等离子体提高成膜等表面处理的精度。等离子管阴极(407)的外围被外围部件(420)包围，在外围部件(420)的内侧设有由多个对微滴进行捕集的捕集部件(411)按多层状构成的微滴去除装置(406)。外围部件(420)、捕集部件(411)以及等离子体行进路(402)与电弧电源(409)无连接关系，被保持在电中性的浮游状态。
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公开(公告)号：CN101970710B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN200980109110.9
申请日：2009-03-25
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
CPC classification number: H01J37/32366 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32357 , H05H1/50
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够更有效地除去混入到等离子中的微滴，能够谋求由高纯度等离子进行的成膜等的表面处理精度的提高的等离子生成装置及使用了它的等离子处理装置。在本发明中，设置在等离子行进路上的微滴除去部，由与等离子发生部(A)连接的等离子直行管(P0)；与等离子直行管(P0)呈弯曲状地连接的第一等离子行进管(P1)；与第一等离子行进管(P1)的终端相对于其管轴以规定弯曲角倾斜配置地连接的第二等离子行进管(P2)；与第二等离子行进管(P2)的终端呈弯曲状地连接并从等离子出口排出等离子的第三等离子行进管(P3)构成。
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公开(公告)号：CN101970711A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980109117.0
申请日：2009-03-04
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
IPC: C23C14/32
CPC classification number: C23C14/3464 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3435
Abstract: 本发明的目的在于提供能够独立地调整2个靶的位置的靶交换式等离子发生装置。在本发明的靶交换式等离子发生装置中，设在由真空电弧放电发生等离子的等离子发生装置的靶交换机构(6)包含由主马达(M)进行半旋转驱动的主保持架(32)，设置在它们的直径方向的相向位置的收容部(32a、32b)，能够自由旋转地收容在收容部(32a、32b)的副保持架(16、18)，使它们自转的2个副马达(M1、M2)，使副保持架(16、18)在其自转轴方向升降的滑块(S1、S2)，及嵌合在副保持架(16、18)的靶(T1、T2)；使主保持架(32)进行半旋转，交换靶(T1、T2)的位置，在主保持架(32)不动时独立地将靶(T1、T2)升降自转驱动到放电位置和研磨位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101970710A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980109110.9
申请日：2009-03-25
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
CPC classification number: H01J37/32366 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32357 , H05H1/50
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够更有效地除去混入到等离子中的微滴，能够谋求由高纯度等离子进行的成膜等的表面处理精度的提高的等离子生成装置及使用了它的等离子处理装置。在本发明中，设置在等离子行进路上的微滴除去部，由与等离子发生部(A)连接的等离子直行管(P0)；与等离子直行管(P0)呈弯曲状地连接的第一等离子行进管(P1)；与第一等离子行进管(P1)的终端相对于其管轴以规定弯曲角倾斜配置地连接的第二等离子行进管(P2)；与第二等离子行进管(P2)的终端呈弯曲状地连接并从等离子出口排出等离子的第三等离子行进管(P3)构成。
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公开(公告)号：CN101518161A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035976.0
申请日：2007-09-27
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
CPC classification number: H01J37/32357 , C23C14/325 , H01J37/32055
Abstract: 本发明的目的是提供一种有效率地除去混入到等离子体中的微滴，而且能够简单并且廉价地构成微滴除去部，可望由高纯度等离子体提高成膜等的表面处理精度的等离子体生成装置。在等离子体行进路(5)中配置用来除去在产生等离子体时从阴极(4)副生的微滴的微滴除去部。该微滴除去部由形成等离子体行进路(5)的扩径管(3)、与扩径管(3)的等离子体导入侧始端连接的导入侧缩径管(34)、与扩径管(3)的等离子体排出侧终端连接的排出侧缩径管(39)和形成在扩径管(3)的始端及终端的阶梯部(40)构成。
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公开(公告)号：CN102471869B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080028939.9
申请日：2010-05-06
Applicant: 日本磁性技术株式会社
CPC classification number: H01J37/3255 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32357 , H01J37/32467 , H01J37/32477
Abstract: 本发明的目的在于提供一种阳极壁多分割型等离子发生装置及使用该阳极壁多分割型等离子发生装置的等离子处理装置，该阳极壁多分割型等离子发生装置能够防止由扩散等离子在阳极内壁上附着、堆积而形成了的堆积物剥落而导致阴极与阳极间短路。在阴极(2)与阳极(3)之间发生了的等离子(P)从阴极(2)朝前方放出、扩散时，扩散物质(41)在电极筒体内壁上再结晶化而附着、堆积，作为碳薄片(40)剥落。由纵横的槽(37、38)将电极筒体内壁多分割成矩阵状。借助于多个突部(35)的堆积物分离作用，即使扩散等离子在阳极(3)上附着、堆积，堆积物也微细化，不产生大型乃至长形的堆积物。从小片的突部(39)剥落作为微细片的碳薄片(40)，不会发生堆积物剥落而跨在阴极(2)与阳极(3)上桥接的情形，能够防止两极间的短路现象的发生。
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公开(公告)号：CN101636520B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200880008675.3
申请日：2008-03-27
Applicant: 日本磁性技术株式会社
Inventor： 椎名祐一
CPC classification number: H01J37/32633 , H01J37/147 , H01J37/3178 , H01J37/32055 , H01J2237/022 , H01J2237/05 , H01J2237/3142 , H05H1/48
Abstract: 本发明提供一种等离子体生成装置，其在等离子管中，可以不减退通过真空电弧放电产生的等离子体的有效量地有效去除混入等离子体的微滴，而且可以简单并廉价地构成微滴去除部，可谋求用高纯度等离子体提高成膜等表面处理的精度。等离子管阴极(407)的外围被外围部件(420)包围，在外围部件(420)的内侧设有由多个对微滴进行捕集的捕集部件(411)按多层状构成的微滴去除装置(406)。外围部件(420)、捕集部件(411)以及等离子体行进路(402)与电弧电源(409)无连接关系，被保持在电中性的浮游状态。
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公开(公告)号：CN100542373C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200580008341.2
申请日：2005-02-17
Applicant: 日本磁性技术株式会社 , 泷川浩史
CPC classification number: C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/32614 , H05H1/50
Abstract: 能将阴极电弧等离子体的起动、维持、停止等系列操作长时间反复断续进行的等离子体发生装置。本发明的成膜用等离子体发生装置配备有供给电弧等离子体构成粒子的阴极4和电弧等离子体的起动与保持用的触发器兼阳极(6)，阴极(4)的阴极面(4a)为平坦的或具有细微凹凸，与阴极面(4a)接触的触发极兼阳极(6)的阳极面(6c)则有平坦的表面，且配装成在等离子体起动时，阳极面(6c)与整个阴极面(4a)接触，此阴极面(4)的微细凸部前端(4b)与阳极面(6c)的接触点上作为等离子体的发射点，在此凸部用等离子体发射的消耗时则以能与此阳极面(6c)接触的另一凸部前端作为新的等离子体的发射点，在持续反复继续进行上述系列操作时长期间地生成稳定的等离子体。
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