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公开(公告)号：CN112701194A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011595645.6
申请日：2020-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/0216 , H01L31/072
摘要： 本发明公开了一种异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极；其中，所述第一导电膜层与第二导电膜层工艺采用不同的氧氩比。本发明制备工艺在原有工艺的基础上，对正面和背面的导电膜层采用不同的镀膜工艺，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时可将电池正面膜层的载流子迁移率提升，从而提升电池片的短路电流，将电池背面膜层的方块电阻降低，从而获得高的填充因子，从而带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。
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公开(公告)号：CN112652679A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011462397.8
申请日：2020-12-11
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/673 , C23C16/458 , C23C16/54
摘要： 本发明公开了一种板式TCO镀膜载板结构，包括基座和多个载板；基座具有多个载台；多个载板分别固定在多个载台上部。本发明通过将大尺寸载板分成若干个小尺寸载板，并分别安装固定在分割为多个载台的基座上，能够降低TCO镀膜过程中载板形变风险，增加抗性，同时减少TCO镀膜载板喷砂维护运输成本。
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公开(公告)号：CN115948719A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211706326.7
申请日：2022-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种控制磁控溅射设备镀膜的方法，属于磁控溅射镀膜技术领域。包括：将全新的靶材安装在磁控溅射设备的靶位上，确保靶材表面和接缝洁净、无破损；建立磁控溅射设备的真空环境，并开启加热；向磁控溅射设备中通入Ar和O2；开启磁控溅射设备的射频电源，并开启射频电源的脉冲调制模式，设定脉冲频率为5KHz，脉冲占空比为85％，并将磁控溅射设备的设定功率调整为磁控溅射设备常规功率的117％；开启磁控溅射设备并调整其传输速度后，开始进行硅片镀膜。本发明将靶材的使用寿命周期大幅提升，有效提高了产能，节约了人力物力。
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公开(公告)号：CN113611640A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110593840.3
申请日：2021-05-28
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司 , 晋能清洁能源科技股份公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L31/18 , H01L31/20 , C23C14/50 , C23C16/458
摘要： 本发明公开了一种镀膜载体，包括载体本体和盛放硅片的多个放置部，放置部沿载板本体纵向和横向均匀分布；放置部包括第一框体和第二框体，第一框体设于第二框体外侧；第二框体内侧壁上相对设置多个支撑点；并公开增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法：(1)将晶体硅片进行制绒、清洗；(2)在晶体硅片的正面制备双本征非晶硅层，然后制备双掺杂非晶硅层；(3)将制备后的双掺杂非晶硅层的硅片放置于镀膜载体的放置部上，然后分别在双掺杂非晶硅层上制备得到导电薄膜层和掩膜区域；(4)在导电薄膜层上通过丝网印刷的方式形成金属电极。采用本发明中的镀膜载体，应用到后续的镀膜方法中能够增大TCO镀膜面积。
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公开(公告)号：CN112701194B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202011595645.6
申请日：2020-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/0216 , H01L31/072
摘要： 本发明公开了一种异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极；其中，所述第一导电膜层与第二导电膜层工艺采用不同的氧氩比。本发明制备工艺在原有工艺的基础上，对正面和背面的导电膜层采用不同的镀膜工艺，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时可将电池正面膜层的载流子迁移率提升，从而提升电池片的短路电流，将电池背面膜层的方块电阻降低，从而获得高的填充因子，从而带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。
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公开(公告)号：CN112713200A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011587193.7
申请日：2020-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/072 , H01L31/20
摘要： 本发明公开了一种优化型异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极；其中，所述第二导电膜层的厚度比所述第一导电膜层的厚度厚10±3nm。本发明提供了一种优化型异质结太阳能电池及其制备方法，本发明制备工艺在原有工艺的基础上，对正面和背面的导电膜层采用不同的薄膜厚度，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时将电池背面膜层的方块电阻继续降低，从而获得高的填充因子，带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。
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公开(公告)号：CN112701181A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011586919.5
申请日：2020-12-29
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/072 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种低电阻率异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极。本发明制备工艺在原有工艺的基础上，在制备透明导电薄膜层时，通入适当的H原子，使H原子与薄膜内的部分O原子结合，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时可将电池膜层的载流子浓度提升，从而降低电阻率，优化电池片的填充因子，从而带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。
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公开(公告)号：CN118943250A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410992092.X
申请日：2024-07-23
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/0747 , C30B33/10 , C23C16/24
摘要： 本发明涉及一种可降低接触电阻的异质结电池的制备方法及异质结电池，属于太阳能电池制造技术领域。包括：对单晶硅片进行制绒，形成金字塔绒面结构，作为晶硅衬底；在晶硅衬底正面依次沉积正面本征非晶硅层和N型掺杂层；在晶硅衬底背面依次沉积背面本征非晶硅层和P型掺杂层；P型掺杂层的沉积方法包括进行微晶预处理、沉积微晶种子层、沉积微晶层和沉积非晶硅封盖层；分别在N型掺杂层的正面和P型掺杂层的背面沉积正面透明导电薄膜层和背面透明导电薄膜层；分别在正面透明导电薄膜层和背面透明导电薄膜层上制备负极金属电极和正极金属电极。本发明可大幅降低异质结电池的接触电阻。
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公开(公告)号：CN117276387A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311518414.9
申请日：2023-11-14
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/0747 , H01L31/05 , H01L31/0224 , H01L31/0216 , H01L31/054 , H01L31/20
摘要： 本发明涉及一种异质结电池、制备方法及光伏组件，属于太阳能电池制造技术领域。异质结电池包括单晶硅片基底；单晶硅片基底的受光面上依次有第一非晶/微晶薄膜层、第一TCO薄膜导电层、第一金属化栅线、第一金属化主栅保护层和第一致密性薄膜层，第一金属化栅线包含第一金属化主栅和第一金属化细栅；单晶硅片基底的背光面上依次有第二非晶/微晶薄膜层、第二TCO薄膜导电层、第二金属化栅线、第二金属化主栅保护层和第二致密性薄膜层，第二金属化栅线包含第二金属化主栅和第二金属化细栅。本发明通过金属化主栅保护层和致密性薄膜层的引入，在增加电池效率的同时，提升了产品的可靠性和耐候性，实现了实验室提效技术到电池、组件技术的量产转移。
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公开(公告)号：CN115332397A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210959805.3
申请日：2022-08-11
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司 , 晋能清洁能源科技股份公司
摘要： 本发明涉及一种异质结太阳能电池的制绒清洗工艺方法，属于太阳能电池制备技术领域。包括：采用氢氧化钾和双氧水组成的预清洗液对N型硅片进行预清洗，以去除N型硅片表面切割残留的有机物以及金属杂质污染物；水洗后，采用氢氧化钾和制绒添加剂组成的制绒液对硅片进行制绒处理；水洗后，采用臭氧水和盐酸组成的混合水溶液对硅片进行清洗处理；水洗后，采用臭氧水和氢氟酸组成的混合水溶液对硅片进行清洗处理；水洗后，采用双氧水和盐酸组成的混合水溶液对硅片进行清洗处理；水洗后，采用氢氟酸水溶液对硅片进行清洗；对硅片进行热水洗，并通入干净空气加热烘干。本发明具有工艺步骤少、成本低、出绒均匀性好、更环保等优点。
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