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公开(公告)号：CN115579425A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211365671.9
申请日：2022-10-31
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司 , 晋能清洁能源科技股份公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02 , H01L31/0216 , C23C16/40 , C23C16/52
摘要： 本发明涉及一种单晶PERC电池片的制备方法及单晶PERC电池片，属于太阳能电池制造技术领域。制备方法包括背钝化工艺，背钝化工艺包括：在热氧化后的单晶硅片背面沉积Al2O3层，其中，沉积所述Al2O3层时控制TMA/H2O的比例为2.3‑3，控制Al2O3层的厚度为2.8‑5nm；在Al2O3层背面通过PECVD背镀工艺沉积SixNy层，其中，PECVD背镀工艺中控制氨气通入量为5000‑6500sccm，PECVD设备的射频功率为9000‑12500kW。本发明在保证单晶PERC电池片转化效率准确的基础上，可以降低单晶PERC电池片的爆膜比例，以及降低由于边缘缺陷导致的不良比例。
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公开(公告)号：CN112652678B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202011450544.X
申请日：2020-12-09
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
摘要： 本发明公开了一种多晶变温沉积扩散的方法，在过量氧气的条件下，以液态三氯氧磷作为扩散磷源，采用背靠背扩散方式进行变温沉积扩散。本发明的多晶变温沉积扩散的方法，通过在工艺过程通入过量氧气，减少对硅有腐蚀作用的五氯化磷的产生，利用改善后扩散的变温沉积工艺，在保证不损失转换效率，不增加能耗前提下，沉积过程做完后，可直接做推进步，缩短升温时间，从而提高产能，降低度电成本。
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公开(公告)号：CN112760614A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011450538.4
申请日：2020-12-09
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： C23C16/34 , C23C16/505 , C23C16/02 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种多晶PECVD镀膜均匀性优化的方法，属于太阳能电池技术领域。包括以下步骤：预沉积：采用PECVD镀膜设备，在一定的压力和功率下，通入NH3气体，经沉积得镀膜A；沉积第一层SiNx层：在一定的压力和功率下，分别向镀膜A通入SiH4和NH3气体，经沉积得镀膜B；沉积第二层SiNx层：在一定的压力和功率下，分别向镀膜B通入SiH4和NH3气体，经沉积得多晶PECVD镀膜。本发明在常规PECVD设备的基础上，沉积SiNx减反射膜，通过控制两层膜的厚度与折射率，提高对光吸收，利用SiNx物理稳定性，减少光学损失，提高电池效率，优化电池片成品颜色，且本发明不增加生产成本，易于实现。
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公开(公告)号：CN112652678A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011450544.X
申请日：2020-12-09
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
摘要： 本发明公开了一种多晶变温沉积扩散的方法，在过量氧气的条件下，以液态三氯氧磷作为扩散磷源，采用背靠背扩散方式进行变温沉积扩散。本发明的多晶变温沉积扩散的方法，通过在工艺过程通入过量氧气，减少对硅有腐蚀作用的五氯化磷的产生，利用改善后扩散的变温沉积工艺，在保证不损失转换效率，不增加能耗前提下，沉积过程做完后，可直接做推进步，缩短升温时间，从而提高产能，降低度电成本。
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公开(公告)号：CN110867498A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201910771774.7
申请日：2019-08-21
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司
IPC分类号： H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种切片电池制备方法。它包括以下步骤：A、对原硅片预切割：预切割时，使用激光将原硅片进行切割，切割深度≤原硅片厚度的90%；B、将原硅片进行制备形成双面结构电池；C、对制备的双面结构电池沿着预切割切痕进行裂片分离。其优点在于：避免了传统上在激光划片和机械裂片过程中，会对电池片造成一定的损伤的问题发生，并避免了电池片内部生成的载流子在切割面处形成短路的问题，在裂片后电池片在切割线附近基本无损伤及漏电情况，另外，由于没有直接采用激光划片和机械裂片，也就不会存在对切割划片区域钝化层造成热损伤的问题，该工艺方法突破了现有的局限，最终保证了裂片前后的电池效率以及各项电性能指标。
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公开(公告)号：CN112071928B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202010954256.1
申请日：2020-09-11
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种PERC电池片的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗、制绒；(2)扩散和激光推进；(3)刻蚀抛光和去磷硅玻璃；(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al2O3原子沉积；(5)将背钝化后的单晶硅片进行正面镀膜；(6)将正面镀膜后的单晶硅片进行背面镀膜；(7)将背面镀膜后的单晶硅片进行激光开槽；(8)丝网印刷、烧结，制得PERC电池片。本发明PERC电池片的制备方法简单，可以减少硅片晶格缺陷，提升少子寿命，使得硅片背表面的钝化效果更好，进而提升电池片转换效率。
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公开(公告)号：CN112071928A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010954256.1
申请日：2020-09-11
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种PERC电池片的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗、制绒；(2)扩散和激光推进；(3)刻蚀抛光和去磷硅玻璃；(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al2O3原子沉积；(5)将背钝化后的单晶硅片进行正面镀膜；(6)将正面镀膜后的单晶硅片进行背面镀膜；(7)将背面镀膜后的单晶硅片进行激光开槽；(8)丝网印刷、烧结，制得PERC电池片。本发明PERC电池片的制备方法简单，可以减少硅片晶格缺陷，提升少子寿命，使得硅片背表面的钝化效果更好，进而提升电池片转换效率。
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公开(公告)号：CN117255597A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311452700.X
申请日：2023-11-02
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种提高叠层钙钛矿光伏电池电性能的制备方法，属于光伏电池制备技术领域。包括S1，对硅片进行LED处理以破坏硅片中的硅‑氢结构；S2，对进行所述LED处理后的所述硅片进行暗退火处理以释放氢原子；S3，对进行所述暗退火处理的所述硅片进行紫外辐照处理；S4，对进行所述紫外辐照处理处理的所述硅片进行热处理以分解所述硅片中的钙钛矿。通过设置通过硅片进行暗退火处理和LED处理，以及进行紫外辐照处理和热处理，可使得硅片的钝化效果变好，导致开路电压提升以及串联电阻降低，从而使得填充因子提升电阻率下降，导电性能增强，提高了叠层钙钛矿光伏电池的开路电压和填充因子，提高叠层钙钛矿光伏电池的转换效率。
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公开(公告)号：CN112760614B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202011450538.4
申请日：2020-12-09
申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
IPC分类号： C23C16/34 , C23C16/505 , C23C16/02 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种多晶PECVD镀膜均匀性优化的方法，属于太阳能电池技术领域。包括以下步骤：预沉积：采用PECVD镀膜设备，在一定的压力和功率下，通入NH3气体，经沉积得镀膜A；沉积第一层SiNx层：在一定的压力和功率下，分别向镀膜A通入SiH4和NH3气体，经沉积得镀膜B；沉积第二层SiNx层：在一定的压力和功率下，分别向镀膜B通入SiH4和NH3气体，经沉积得多晶PECVD镀膜。本发明在常规PECVD设备的基础上，沉积SiNx减反射膜，通过控制两层膜的厚度与折射率，提高对光吸收，利用SiNx物理稳定性，减少光学损失，提高电池效率，优化电池片成品颜色，且本发明不增加生产成本，易于实现。
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公开(公告)号：CN221613901U
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202322651445.3
申请日：2023-09-28
申请人： 晋能光伏技术有限责任公司 , 晋能清洁能源科技股份公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/068
摘要： 本实用新型涉及一种PERC电池的背电极，属于光伏电池制造技术领域。所述PERC电池包括电池本体、多个背电极和背电场，多个所述背电极印刷在所述电池本体的背面；所述背电场包括多根主栅和多根细栅，多根所述主栅与多根所述细栅垂直连接；每个所述背电极的两侧连接多个连接脚；同一竖直方向印刷的多个所述背电极的外周印刷一根主栅，且每根所述主栅均覆盖印刷在多个所述背电极的连接脚上。通过在背电极的两侧连接多个连接脚，并且将背电场的主栅印刷在带有连接脚的背电极外周，主栅覆盖多个连接脚，可扩大背电极与背电场的接触面积，提高背电极与背电场的接触率，从而提高电池的工作转换效率。
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