一种球面靶材模压微调装置

    公开(公告)号:CN206296376U

    公开(公告)日:2017-07-04

    申请号:CN201621169448.7

    申请日:2016-11-02

    IPC分类号: B21D37/12 B21D37/00

    摘要: 本实用新型公开了属于金属材料加工和微电子材料制造领域的一种球面靶材的模压微调装置。该装置由上压块、下压块、固定工装和横梁组成,上压块背面装有螺纹杆,螺纹杆通过横梁上的螺孔与横梁相连,所述上压块与下压块均为弧面且弧度相同。使用该模压微调装置减少了模具修改次数和模具被车除量,生产成本大为降低;避免了靶材多次重复模压,操作简单,生产效率大幅提高。