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公开(公告)号：CN107904563A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201711116637.7
申请日：2017-11-13
申请人： 有研亿金新材料有限公司
CPC分类号： C23C14/3407 , C22F1/183
摘要： 本发明公开了一种大晶粒低硬度溅射钛环制备方法，属于磁控溅射靶材制造技术领域。步骤包括提供高纯钛锭、第一次热处理、热墩、冷轧、第二次热处理、切割、卷圆、第三次热处理。通过对钛锭进行热处理配合变形获得大晶粒低硬度溅射钛环。所述溅射钛环端口呈正“S”形，所述大晶粒的晶粒度大于200μm，所述低硬度的硬度值低于维氏硬度70。与传统的溅射钛环相比，本发明制备的钛环晶粒尺寸大，溅射环变形抗力小，方便安装和拆卸，减少了安装和拆卸过程中对溅射环表面的损伤，既提高了产品质量又降低了操作难度。
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公开(公告)号：CN207642214U
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201721572065.9
申请日：2017-11-22
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种靶材背板快速成型装置，所述装置包括外圆环和冲压头，将加热坯料置于成型装置外圆环内，采用锻锤将冲压头压入坯料表面，使坯料充满成型装置，实现靶材背板快速成型。本实用新型适用于铝合金、铜及铜合金背板加工，采用快速成型装置，不仅能简化工序，提高加工效率，提升成品率，还能极大的降低成本。
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公开(公告)号：CN207646278U
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201721664317.0
申请日：2017-12-04
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种三向加热热处理炉的高效退火支架，其包括固定装置和隔热附件；固定装置包括：长条主干、短棒、焊接连接点和固定装置底座；隔热附件包括：外部保护板、通风孔和隔热填充物；本实用新型提供具有阻挡下底板辐射的影响，也不影响循环风的走向，达到对温度敏感度高的高纯金属靶材对热处理温度均匀性更高的使用要求，实现退火靶坯组织均匀且细小的目的。同时该退火支架能够同时退火N个靶坯，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN208342609U
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201820869501.7
申请日：2018-06-05
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于磁控溅射靶材制造领域的一种磁控溅射钽环喷砂装置，该喷砂装置包括：固定螺钉、喷砂挡块、垫片、密封圈、端头遮挡螺帽和旋转台。通过喷砂挡块上的预置孔对预喷砂位置与尺寸进行控制。将磁控溅射钽环与固定套组安装后放置在旋转台上，对喷砂挡块上的预置孔依次进行喷砂，每次喷砂一个安装轴后转动旋转台，最终使整个磁控溅射钽环的安装轴位置得到均匀喷砂处理。本实用新型提供的钽环喷砂装置，可以有效保证喷砂区域形状与质量，使安装轴位置表面均匀喷砂。通过连续喷砂操作，提高喷砂的效率。
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公开(公告)号：CN207487542U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721391468.3
申请日：2017-10-25
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种磁控溅射环的尺寸检验工装，该检验工装包括：检验圆环体、绝缘陶瓷垫块、绝缘陶瓷筒、绝缘陶瓷垫片、边缘固定销钉和中心固定销钉。该检验工装内径与相应溅射环装机设备的遮挡罩几何尺寸相同。通过溅射环与检验工装的装配、溅射环的开口宽度、溅射环与检验工装的绝缘电阻值来进行溅射环的尺寸检验。磁控溅射环材质为Ti、Ta、Cu等。由于溅射环为开口的弹性环，常规的三坐标、游标卡尺、或影像测量仪等测量方法难以测量准确，而本实用新型涉及的溅射环的尺寸检验工装，尺寸检验结果可靠，从而避免了溅射环产品在客户端安装失效等问题。
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公开(公告)号：CN207479835U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721506139.9
申请日：2017-11-13
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23K15/06
摘要： 本实用新型公开了一种易变形的筒状焊件电子束焊接的固定装置，属于机械加工技术领域。所述装置包括顶锥、旋转控制盘、横梁、底座、定位螺钉和夹持装置。所述顶锥设置在所述旋转控制盘上，通过转动旋转控制盘可以使顶锥前后移动，以便安装和拆卸焊件同时可以调节顶锥与焊件接触的松紧程度。所述定位螺钉在底座的对称轴上，用以锁定整个固定装置不在基底上移动。所述底座设计4个夹持装置，保证固定装置整体移动出入电子束焊接腔室过程中，通过腔室内外轨道连接处发生颠簸晃动时，安装在工装上的焊件相对顶锥位置不会发生相对移动，进而导致焊件位置偏移，焊接轨迹偏差。本实用新型犹如给焊件系上安全带，整体的颠簸晃动不改变相对位置，降低焊接偏差。本实用新型安装方便灵活，松紧可控，简化了工装结构，提高焊接质量。
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公开(公告)号：CN206622765U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201621443668.4
申请日：2016-12-27
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23K33/00
摘要： 本实用新型涉及一种靶材焊接结构，包括靶坯和背板，在靶坯或背板的焊接面的边缘周圈设有凸台，形成定位部，背板或靶坯能够刚好嵌入所述定位部之间，能够实现靶坯与背板的便捷、快速定位。进一步地，在靶坯或背板的焊接面上，沿所述定位部内侧的周圈设有凸台，形成边缘支撑部，且所述边缘支撑部低于所述定位部。边缘支撑部内侧的凹槽为焊料容纳区，能够在不垫丝的情况下保证焊料厚度。再进一步地，在靶坯或背板的焊接面的中部，还可以设有中心支撑部加强支撑。边缘支撑部和中心支撑部能够加强支撑，特别适用于材料较软的靶材。
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公开(公告)号：CN206296376U
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201621169448.7
申请日：2016-11-02
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于金属材料加工和微电子材料制造领域的一种球面靶材的模压微调装置。该装置由上压块、下压块、固定工装和横梁组成，上压块背面装有螺纹杆，螺纹杆通过横梁上的螺孔与横梁相连，所述上压块与下压块均为弧面且弧度相同。使用该模压微调装置减少了模具修改次数和模具被车除量，生产成本大为降低；避免了靶材多次重复模压，操作简单，生产效率大幅提高。
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