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公开(公告)号：CN113981386B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202111160175.5
申请日：2021-09-30
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，通过采用Sc粉与第二相化合物Al3Sc粉进行配料混合，Sc的熔点(1541℃)Al3Sc的熔点(1320℃)均较高，能够提高粉末烧结温度至1000‑1300℃，提高了AlSc靶材的致密度；并且由于直接加入了第二相化合物Al3Sc粉，能够使得第二相更加均匀弥散的分布。
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公开(公告)号：CN114850795A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210513870.3
申请日：2022-05-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23P15/00 , B23P23/04 , B23K20/02 , B23K20/24 , B23K20/26 , B23K37/00 , C23C14/34 , C23C14/35 , B08B3/12 , B21J5/00 , B21J5/08
摘要： 一种铝钪合金靶材成型焊接一体化制备的方法，是指将Sc含量≤20at％的AlSc合金铸锭与背板装入Al合金包套内进行压延，形成大尺寸AlSc合金靶坯及背板焊接组件后在300～600℃的温度下进行热处理，形成再结晶退火态组织并促进AlSc合金靶坯与背板间的扩散，最终获得平均晶粒尺寸小于100μm，焊接强度大于70MPa，焊合率大于99％，无裂纹的AlSc合金靶材扩散焊接组件；本发明方法，可实现工艺流程短、产品不开裂且焊合率高的技术效果。
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公开(公告)号：CN115029674B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202210514946.4
申请日：2022-05-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 一种低偏析铝钪合金靶材是采用Al包覆Sc的核壳结构，其Sc含量为20～50at％，成分波动在±0.2％之内，氧含量小于200ppm，相对密度不小于99.5％的AlSc合金靶材；其制备方法，包括：加入粘结剂的Sc粉与Al粉混粉，热处理烧结粉末，获得核壳结构AlSc合金粉末，热压烧结及获得低偏析铝钪合金靶材；本发明形成的合金粉后，不存在后期传输过程由于两种粉末性质不同造成的二次偏析现象，经过后期热压烧结后可获得低偏析的AlSc合金靶材。
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公开(公告)号：CN113981386A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111160175.5
申请日：2021-09-30
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，通过采用Sc粉与第二相化合物Al3Sc粉进行配料混合，Sc的熔点(1541℃)Al3Sc的熔点(1320℃)均较高，能够提高粉末烧结温度至1000‑1300℃，提高了AlSc靶材的致密度；并且由于直接加入了第二相化合物Al3Sc粉，能够使得第二相更加均匀弥散的分布。
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公开(公告)号：CN117655444A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311680862.9
申请日：2023-12-08
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明提出一种低氧高致密的低熔点靶材焊接方法，其包括：第一步，在背板上加工出焊接凹槽并进行毛化处理；第二步，将处理后的背板放入耐高温真空袋内，然后将低熔点靶材原料放入背板凹槽中后抽真空，最后充入惰性保护气体并密封获得焊接组件；第三步，将密封后焊接组件放置于钎焊台上加热至靶材原料成熔融状态；第四步，降温冷却至靶材原料成半凝固态，然后将耐高温真空袋内惰性气体抽出至真空状态；第五步，冷却至常温后取出，进行机械加工获得成品靶材。该方法避免了低熔点靶材原料直接熔化焊接造成的氧化叠皮缺陷，及氧化导致的焊合率下降，可大幅提高生产效率及成型、焊接质量，焊合率可达到99％以上。
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公开(公告)号：CN117888066A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311833702.3
申请日：2023-12-28
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本申请公开了一种一次成型3D焊接面靶材制备方法，属于磁控溅射靶材制造技术领域。一种一次成型3D焊接面靶材制备方法，包括以下步骤：步骤1，测绘残靶轮廓；步骤2，基于残靶轮廓设计3D焊接面：将靶材无需溅射的位置预留2‑3mm的安全厚度后用背板替代，在沟道坡度较缓位置取梯形平面，并保证溅射沟道最深处及沟道所有点与背板焊接面距离大于2mm，根据梯形平面及深度计算出背板凸起替代原材料粉末的体积大于20％；步骤3，按照3D焊接面的图纸对背板材料进行机械加工；步骤4，将步骤3获得的背板组件装入包套中，混合均匀的靶材原材料粉末平铺至背板槽内，封焊除气，热等静压扩散焊接；步骤5，通过机械加工去除包套，最终获得靶材焊接组件。
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公开(公告)号：CN115029674A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210514946.4
申请日：2022-05-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 一种低偏析铝钪合金靶材是采用Al包覆Sc的核壳结构，其Sc含量为20～50at％，成分波动在±0.2％之内，氧含量小于200ppm，相对密度不小于99.5％的AlSc合金靶材；其制备方法，包括：加入粘结剂的Sc粉与Al粉混粉，热处理烧结粉末，获得核壳结构AlSc合金粉末，热压烧结及获得低偏析铝钪合金靶材；本发明形成的合金粉后，不存在后期传输过程由于两种粉末性质不同造成的二次偏析现象，经过后期热压烧结后可获得低偏析的AlSc合金靶材。
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公开(公告)号：CN221046978U
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202322564655.9
申请日：2023-09-21
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种靶材调平装置，包括调平上模具和调平下模具，调平上模具包括底板和设置于底板下表面的凸台；调平下模具上设置有靶材放置槽，靶材放置槽中还设置有调平凹槽，调平凹槽的位置与凸台相对应且尺寸大于凸台的尺寸；靶材放置槽和调平凹槽下方的调平下模具中均设置有加热组件。调平时，压调平上模具，凸台向下压迫位于调平凹槽上的靶材，使靶材平面度压过量，从而能够抵消一部分压平后的回弹变形，进而得到平面度更好的靶材。此外，调平下模具中均设置有多个加热通道，加热通道内设置有加热装置，可以对靶材适当加热，可以减少一部分残余应力，使靶材调平更容易，同时减少调平后的变形回弹情况。
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