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公开(公告)号：CN114341404B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080062180.X
申请日：2020-09-02
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特 , 罗伯特·拉什 , 尼马尔·尚卡尔·西格玛尼 , 加布里埃尔·格拉哈姆
摘要： 一种处理衬底的单元包括至少一个室壁、膜框架和膜。至少一个室壁布置成在衬底的保持器下方形成腔体。膜框架设置在至少一个室壁上并横跨腔体。膜由膜框架支撑并将第一电解质与第二电解质隔开。膜包括从腔体的中心以相对于参考平面的角度径向向外延伸的表面，并且其中该角度大于或等于0°且小于或等于3°。
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公开(公告)号：CN118805005A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380025020.1
申请日：2023-02-28
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 杰瑞德·赫尔 , 雅各布·L·海斯特 , 查德·M·霍萨克 , 加布里埃尔·格拉哈姆 , 马克·夸利奥 , 罗伯特·拉什 , 詹姆斯·福特纳 , 詹森·戈登·加尔吉奈蒂斯 , 凯文·伯奇
摘要： 本文公开有关将电沉积工具中的阳极结构与阴极之间的镀覆间隙特征化的示例。一示例提供用于将电沉积工具的镀覆间隙的间距特征化的治具。该治具包含衬底保持器接口，该衬底保持器接口被配置成接触电沉积工具的衬底保持器的密封件。该治具还包括突出部，该突出部包含配置成在镀覆间隙特征化工艺期间接触电沉积工具的阳极结构的接触表面。含有衬底保持器接口的平面与突出部的接触表面之间的距离的厚度尺寸对应于预选的镀覆间隙的间距。
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公开(公告)号：CN114341404A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080062180.X
申请日：2020-09-02
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特 , 罗伯特·拉什 , 尼马尔·尚卡尔·西格玛尼 , 加布里埃尔·格拉哈姆
摘要： 一种处理衬底的单元包括至少一个室壁、膜框架和膜。至少一个室壁布置成在衬底的保持器下方形成腔体。膜框架设置在至少一个室壁上并横跨腔体。膜由膜框架支撑并将第一电解质与第二电解质隔开。膜包括从腔体的中心以相对于参考平面的角度径向向外延伸的表面，并且其中该角度大于或等于0°且小于或等于3°。
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