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公开(公告)号：CN103329297B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180037811.3
申请日：2011-11-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/314 , B41J2/14 , G01C19/5621
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C30B29/32 , C30B29/68 , G01C19/5621 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/113 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/314
Abstract: 本发明的目的在于提供一种非铅压电体薄膜及其制造方法，所述非铅压电体薄膜含有非铅强介电材料并且具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能。本发明的压电体薄膜具有层叠结构，层叠结构具有电极膜和具有斜方晶结构的（1-x）（Na，Bi）TiO3-xBaTiO3膜（x表示0.03以上0.15以下的值）。
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公开(公告)号：CN102473838B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201180002431.6
申请日：2011-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319 , B41J2/14 , C23C14/08
CPC classification number: B41J2/14032 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 一种压电体薄膜，其具备具有(001)取向的电极膜、具有(001)取向的(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜(0.29≤x≤0.4)和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层，其中，电极膜、(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜、和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层以该顺序叠层。由此，含有无铅强介电材料的压电体薄膜就具有很高的强介电特性和压电性能。
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公开(公告)号：CN103890987A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201380003348.X
申请日：2013-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , C23C14/34 , C30B29/32 , G01C19/5628 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/113 , H02N2/18
CPC classification number: H01L41/1878 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C30B23/02 , C30B29/32 , G01C19/56 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H02N2/18 , Y10T428/12493
Abstract: 本发明的目的在于提供具有高结晶取向性和高强介电特性的NBT-BT非铅压电体膜。本发明的压电体膜具备仅具有（001）取向的(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3―αBiQO3层。(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3―αBiQO3层形成在NaxM1-x层之上，M表示Pt、Ir或PtIr，Q表示Fe、Co、Zn0.5Ti0.5或Mg0.5Ti0.5，x表示0.002以上0.02以下的值，而且，α表示0.20以上0.50以下的值。
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公开(公告)号：CN103329297A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201180037811.3
申请日：2011-11-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/314 , B41J2/14 , G01C19/5621
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C30B29/32 , C30B29/68 , G01C19/5621 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/113 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/314
Abstract: 本发明的目的在于提供一种非铅压电体薄膜及其制造方法，所述非铅压电体薄膜含有非铅强介电材料并且具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能。本发明的压电体薄膜具有层叠结构，层叠结构具有电极膜和具有斜方晶结构的（1-x）（Na，Bi）TiO3-xBaTiO3膜（x表示0.03以上0.15以下的值）。
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公开(公告)号：CN103222080A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180037747.9
申请日：2011-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/316 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , B41J2/14 , B41J2/16 , H02N2/18
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/316 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明的目的在于提供及时施加40kV/cm以上的施加电场，也能够进行正确的量的墨水的排出、正确的角速度的测定和基于正压电效应的发电的喷墨头、角速度传感器和压电发电元件。本发明所使用的压电体膜具备压电体层和夹着该压电体层的第一电极和第二电极，第一电极具备(001)取向，压电体层含有具备(001)取向的(1-z)(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－zBaTiO3，x是0.30以上0.46以下，y是0.51以上0.62以下，z是0.07以上0.09以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102859736A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180019166.2
申请日：2011-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/113 , B41J2/14 , C01G23/00 , C01G29/00 , C23C14/02 , C23C14/08 , G01C19/5607
CPC classification number: C01G23/006 , B41J2/14274 , C01G29/006 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C01P2002/72 , C01P2006/32 , C01P2006/40 , C23C14/0021 , C23C14/025 , C23C14/088 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/1871
Abstract: 本发明的目的在于提供含有非铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT相同的高压电性能的压电体膜及其制造方法。本发明的压电体膜具备具有(111)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3层（0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62）。
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公开(公告)号：CN102473838A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201180002431.6
申请日：2011-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/08 , H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: B41J2/14032 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 一种压电体薄膜，其具备具有(001)取向的电极膜、具有(001)取向的(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜(0.29≤x≤0.4)和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层，其中，电极膜、(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜、和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层以该顺序叠层。由此，含有无铅强介电材料的压电体薄膜就具有很高的强介电特性和压电性能。
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公开(公告)号：CN102272963A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201080003893.5
申请日：2010-09-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22
CPC classification number: B41J2/14233 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/316 , H01L41/319 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供一种含有无铅强介电材料，且具有低介电损耗、高机电耦合系数以及与钛酸锆酸铅(PZT)相同的高压电常数的无铅压电体薄膜。本发明的压电体薄膜具有由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO3构成的(Bi、Na、Ba)TiO3膜。(Bi、Na、Ba)TiO3膜具有(001)取向，还含有Ag。在(Bi、Na、Ba)TiO3膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。
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公开(公告)号：CN102084510A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980125800.3
申请日：2009-12-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01J5/12 , G01J1/02 , G01J1/0209 , G01J1/16 , G01J1/42 , G01J5/02 , G01J5/022 , G01J5/024 , G01J5/04 , G01J5/046
Abstract: 本发明提供辐射检测器和辐射检测方法。该辐射检测器是具有高检测灵敏度的辐射检测器。本发明的辐射检测器，包括：Al2O3基板；叠层在Al2O3基板上、CoO2面相对于Al2O3基板表面倾斜地排列的CaxCoO2薄膜(0.15＜x＜0.55)；配置在CaxCoO2薄膜上的第一电极；和位于上述CaxCoO2薄膜上的第二电极，该第二电极在上述CoO2面倾斜排列的方向上，配置在与第一电极相对的位置上，其中，上述Al2O3基板的表面为n面或S面。
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公开(公告)号：CN100428516C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200480001044.0
申请日：2004-05-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L35/22 , H01L35/34 , C04B35/495 , C04B35/50
CPC classification number: C04B35/495 , C01G31/00 , C01G31/006 , C01P2006/40 , C04B35/6262 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3239 , C04B2235/3272 , C04B2235/3281 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3291 , C04B2235/3294 , C04B2235/72 , C04B2235/76 , C04B2235/768 , C04B2235/96 , H01L35/22
Abstract: 在现有的热电转换材料中热电转换性能尚不充分，使在氧化气氛且大气中显现稳定性能已成为课题。本发明的热电转换材料，由以氧化钒为主要成分、通式为AxVOx+1.5+d的复合氧化物构成，式中A是从碱金属元素、碱土金属元素、稀土元素中选择的至少一种元素，x为0.2以上2以下，d是氧的不定比率，范围为—1～1。
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