MEMS开关及其制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101983412A

    公开(公告)日:2011-03-02

    申请号:CN200980112188.6

    申请日:2009-03-30

    摘要: 一种MEMS开关包括带有具有固定触点的信号线的衬底、带有可移动触点的可移动板、支撑可移动板的弹性支撑构件、被配置为使可移动触点与固定触点接触的压电激励器以及静电激励器。特征部分为,可移动板具有长度和宽度,在其长度方向的中心处设置有可移动触点,形成在长度方向的两端的可移动电极保持部中设置有静电可移动电极板。在可移动板的宽度方向的两端的外面部分处,支撑构件由设置在各电极保持部的外面部分中的四个弹性条带形成。各条带沿可移动板的长度方向布置,条带的一端连接到可移动板上,另一端保持在衬底上。在可移动板的宽度方向的外面部分,压电元件布置在各条带的上表面上,并构成为使得压电激励器所产生的应力作用于各条带和所述可移动板之间的连接位置。