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公开(公告)号：CN101676692B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910172195.7
申请日：2009-09-21
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 高桥知隆
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 提供一种光电式编码器，在测量相对位移的光电式编码器中，标尺(10)具有由形成在增量轨(12)的至少一个位置上的反射缝构成的基准标记(14)，检测部(20)具有光照射部(24)、以该光照射部为中心被配置在其周围的输出相位不同的四个增量信号的主受光部(30a、30b、30ab、30bb)以及以上述光照射部为点对称的中心被配置在与测长方向垂直的方向上的一对基准信号受光部(32z、32zb)，信号处理部(40)具有三相信号生成部(48)、两厢正弦波信号生成部(50)、方向辨别部(56)、内部周期计数器(58)以及基准信号处理部(60)。由此，能够以超小型结构检测基准。
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公开(公告)号：CN101430190B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200810172680.X
申请日：2008-11-06
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 高桥知隆
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02083 , G01B9/02081 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行2路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光和具有与第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；三相信号生成部，用于根据基于第一至第四干涉光的第一至第四干涉信号来生成相位差为90°的三相信号；以及两相信号生成部，用于对相位差为90°的三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。
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公开(公告)号：CN112180389A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010633181.7
申请日：2020-07-02
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种测量装置300，包括：激光装置110；分支部件120，将由激光装置110输出的调频激光束分支为参考光和测量光；差拍信号生成部件150，通过混合反射光和参考光来生成差拍信号；转换部件160，以第一采样率将差拍信号转换为数字信号，并对其进行频率分析；提取部件170，从调频激光束中提取与共振腔频率相对应的信号分量；数字滤波器310，以第二采样率对提取的信号分量进行数字滤波；以及计算部件180，计算参考光和测量光之间的传播距离的差。
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公开(公告)号：CN114076950A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110900392.7
申请日：2021-08-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01S17/08
Abstract: 一种测量装置100，包括:激光装置110，其输出调频激光束；分支部件120，其将调频激光束分离为参考光和测量光；差拍信号生成部件150，其通过混合参考光和将测量光照射到待测对象10上而反射的反射光来生成差拍信号；频率分析部件160，其对差拍信号进行频率分析；存储部件190，其存储参考频率信号，该参考频率信号是通过转换在没有待测对象10的状态下由差拍信号生成部件150输出的参考信号而获得的频率信号；以及计算部件170，其计算参考光和测量光的传播距离之间的差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113686246A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110538600.3
申请日：2021-05-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 测量装置(100)包括激光器装置(111)、将激光束分成参考光和测量光的分支部(120)、将测量光会聚到待测量对象(10)上的会聚部(140)、调节会聚部(140)会聚测量光的焦点位置的控制部(160)，以及距离计算部(117)，该距离计算部基于参考光和测量光之间的光程差来计算距待测量对象(10)的距离，其中，会聚部(140)包括第一透镜(141)和对应性计算部(145)，该对应性计算部基于第一透镜(141)的位置和距待测量对象(10)的距离来计算会聚部(140)的焦点位置和第一透镜(141)的位置之间的对应性。
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公开(公告)号：CN101430190A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810172680.X
申请日：2008-11-06
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 高桥知隆
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02083 , G01B9/02081 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行2路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光和具有与第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；三相信号生成部，用于根据基于第一至第四干涉光的第一至第四干涉信号来生成相位差为90°的三相信号；以及两相信号生成部，用于对相位差为90°的三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。
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公开(公告)号：CN102620762B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210020249.X
申请日：2012-01-29
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 高桥知隆
CPC classification number: G01D5/24457 , G01D5/38
Abstract: 一种光编码器包括：标尺，具有在测量轴方向上以预定间距形成的衍射光栅；探头，能够相对于所述标尺而相对移动，所述探头包括用光照射所述标尺的光源单元、以及接收以不同相位由所述标尺的衍射光栅反射或通过所述标尺的衍射光栅透射的光的多个接收单元；以及信号处理设备，对从所述探头的接收单元输出的光接收信号执行信号处理，以产生正交差分信号。所述信号处理设备计算对应于所述正交差分信号的李萨如半径的姿态监控信号，以便检测所述探头相对于所述标尺的失准。
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公开(公告)号：CN102620762A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210020249.X
申请日：2012-01-29
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 高桥知隆
CPC classification number: G01D5/24457 , G01D5/38
Abstract: 一种光编码器包括：标尺，具有在测量轴方向上以预定间距形成的衍射光栅；探头，能够相对于所述标尺而相对移动，所述探头包括用光照射所述标尺的光源单元、以及接收以不同相位由所述标尺的衍射光栅反射或通过所述标尺的衍射光栅透射的光的多个接收单元；以及信号处理设备，对从所述探头的接收单元输出的光接收信号执行信号处理，以产生正交差分信号。所述信号处理设备计算对应于所述正交差分信号的李萨如半径的姿态监控信号，以便检测所述探头相对于所述标尺的失准。
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公开(公告)号：CN101676692A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200910172195.7
申请日：2009-09-21
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 高桥知隆
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 提供一种光电式编码器，在测量相对位移的光电式编码器中，标尺(10)具有由形成在增量轨(12)的至少一个位置上的反射缝构成的基准标记(14)，检测部(20)具有光照射部(24)、以该光照射部为中心被配置在其周围的输出相位不同的四个增量信号的主受光部(30a、30b、30ab、30bb)以及以上述光照射部为点对称的中心被配置在与测长方向垂直的方向上的一对基准信号受光部(32z、32zb)，信号处理部(40)具有三相信号生成部(48)、两厢正弦波信号生成部(50)、方向辨别部(56)、内部周期计数器(58)以及基准信号处理部(60)。由此，能够以超小型结构检测基准。
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