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公开(公告)号：CN110914959A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201880045775.7
申请日：2018-07-20
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： H01L21/31 , C23C16/448 , H05B3/00
摘要： 本发明提供一种为了使用加热器适当地进行原料的供给的流体控制装置(100)，其具备：在内部设置有流路或流体容纳部的流体加热部(1)；以及对流体加热部进行加热的加热器(10)，加热器具有发热体(10a)和金属制的传热部件(10b)，传热部件(10b)与发热体热连接，并以包围流体加热部的方式配置，传热部件的与流体加热部对向的面包含为了提高散热性而被表面处理了的面(S1)。
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公开(公告)号：CN101652318A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200780052631.6
申请日：2007-04-17
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： C01B5/00
CPC分类号： C01B5/00 , Y10T137/0396
摘要： 在通过并列运转多座水分生成用反应炉而对应于高纯度水供给量的增大的要求的情况下，本发明能够借助极其简单的孔部件的利用而进行(H 2 )和(O 2 )的混合气体的分流供给，从而能够使混合气体(原料气体)分流装置简单化和大幅降低设备费。即，本发明的水分生成用反应炉的并列运转方法为，在并列地连接的多个水分生成用反应炉的各混合气体入口侧配设具有既定的口径的小孔的孔部件，通过上述各孔部件向各水分生成用反应炉供给来自混合器的氢和氧的混合气体(G)，并且使在各水分生成用反应炉中生成的水分合流而向高纯度水的使用装置供给。
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公开(公告)号：CN1950292A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580015020.5
申请日：2005-07-04
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： C01B5/00
CPC分类号： B01J12/007 , B01J2219/00078 , B01J2219/00087 , B01J2219/00096 , B01J2219/00135 , C01B5/00 , F28D2021/0029 , F28F3/02 , H01L21/67017
摘要： 在水分发生反应炉中，通过提高反应炉主体的散热特性，也可以被限制的体积容量的水分发生反应炉安全地令水分发生量倍增。具体而言，在通过令供给到反应炉主体内的氢和氧与白金涂料催化剂层接触而令其反应性活性，由此在非燃烧状态下令氢和氧反应的水分发生反应炉中，令冷却器由出口侧冷却器形成，所述出口侧冷却器包括向出口侧炉主体部件的外表面固定的中央处贯穿设置有插入孔的散热体基板、和在该散热体基板的上述加热器插入孔以外的部分上垂直状地并行而竖立设置的多个散热体，并且令用于加热上述反应炉主体的加热器的局部插通出口侧冷却器的加热器插入孔而向出口侧炉主体部件的外表面固定。
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公开(公告)号：CN1127004C
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN99800002.7
申请日：1999-01-11
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 一种供如半导体制造设备中气体供给系统用的流体供给设备，它使得有可能在开始供给流体或流体转换时高精度控制流体流速而不产生流体的瞬时过冲现象。本发明的流体供给设备包括：压力流量控制器，用来调节流体的流率；流体转换阀，用来打开和关闭压力流量控制器次级侧的流体通道；以及流体供给控制单元，用来控制压力流量控制器和流体转换阀的操作；压力流量控制器包括：注流孔5；设置在注流孔5上游侧的控制阀1；设置在控制阀1和注流孔5之间的压力检测器3；以及计算控制单元6，它把流率信号Qc和流率指定信号Qs之间的差值作为控制信号Qy输入到控制阀1的驱动器2，流率信号Qc是利用流率Qc＝KP1(K＝常数)、根据由压力检测器3检测到的压力P1计算的；其中，通过借助打开和关闭控制阀1来调节注流孔上游侧的压力P1而控制注流孔5下游侧的流率。
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公开(公告)号：CN110998802B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201880052011.0
申请日：2018-07-31
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027
摘要： 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳；以及阻尼部(10)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2)，用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动，阻尼部(10)具有螺旋管(20)，该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置，并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。
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公开(公告)号：CN110998803B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201880052631.4
申请日：2018-07-31
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/67 , B01J4/00 , B05B12/00 , B05C11/10 , B05D3/00
摘要： 提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
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公开(公告)号：CN110998803A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880052631.4
申请日：2018-07-31
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/67 , B01J4/00 , B05B12/00 , B05C11/10 , B05D3/00
摘要： 提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
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公开(公告)号：CN100385162C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200580002923.X
申请日：2005-01-13
IPC分类号： F16K51/00
CPC分类号： F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
摘要： 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
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公开(公告)号：CN110998801B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201880051985.7
申请日：2018-07-31
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027
摘要： 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体；以及加热部件(20)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路，用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
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公开(公告)号：CN110998801A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051985.7
申请日：2018-07-31
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027
摘要： 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体；以及加热部件(20)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路，用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
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