氮化硅粉末
    4.
    发明公开
    氮化硅粉末 审中-实审

    公开(公告)号:CN118401467A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202280082352.9

    申请日:2022-12-16

    Abstract: 本发明提供一种氮化硅粉末,其特征在于,β化率为80%以上,晶体应变为1.0×10‑3以上。根据本发明,可以提供一种即使在1800℃左右的低温下烧结性也高的氮化硅粉末。

    电路基板用层叠体
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116075492B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202180056387.0

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明的电路基板用层叠体是金属氮化物烧结基板与铜板的层叠体,其特征在于,具有从面的中心到周缘的最短长度为50mm以上的大小,在沿层叠方向切断所述层叠体而成的切断面测定的、在所述金属氮化物烧结基板与铜板的接合界面附近确认的直径为1μm以上的孔隙的总长度LB相对于该接合界面的测定长度LI的比例即孔隙率X为0.50%以下。根据本发明,能够提供散热性优异、图案化时使用的蚀刻液不易残留于接合界面、作为产品的可靠性优异的层叠体。

    电路基板用层叠体
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116075492A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202180056387.0

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明的电路基板用层叠体是金属氮化物烧结基板与铜板的层叠体,其特征在于,具有从面的中心到周缘的最短长度为50mm以上的大小,在沿层叠方向切断所述层叠体而成的切断面测定的、在所述金属氮化物烧结基板与铜板的接合界面附近确认的直径为1μm以上的孔隙的总长度LB相对于该接合界面的测定长度LI的比例即孔隙率X为0.50%以下。根据本发明,能够提供散热性优异、图案化时使用的蚀刻液不易残留于接合界面、作为产品的可靠性优异的层叠体。

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