公开(公告)号：CN102285225A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201110159386.7

申请日：2011-06-14

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 徳安良纪 ,  山本英明 ,  渡濑直树 ,  松井淳一 ,  中村秀男

IPC: B41J2/01

Abstract: 提供一种做到了能够以高精度向宽度、高度方向进行均匀的涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。各涂敷头(15)排列在X轴方向，每4个构成1个组。在相同的组中，使涂敷头(15)在Y轴方向的位置不同，在组之间，在Y轴方向各有1个相同位置的涂敷头。不同的组的Y轴方向位置相同的各一个涂敷头(15)搭载在相同的Z轴保持片(20bc)上。各涂敷头(15)具备微动Z轴驱动单元(20a)，能够独立地向Z轴方向移动。另外，针对每个Z轴保持片(20bc)设有独立Z轴驱动单元(20b1)，由此Z轴保持片(20bc)能够独立地向Z轴方向移动。另外，设有共用Z轴驱动单元(30)，由此全部的Z轴保持片(20bc)、从而全部的涂敷头(15)能够同时向Z轴方向移动。

公开(公告)号：CN100432800C

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200410033366.5

申请日：2004-04-02

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 石田茂 ,  川隅幸宏 ,  松井淳一 ,  山间伸也

IPC: G02F1/1339 ,  B05C5/00

Abstract: 提供一种液晶面板的制造方法及其制造装置、以及浆料涂敷装置。在采用现有的液晶滴下方式的LCD面板的制造方法中，存在在基板表面上形成的滤色片等的厚度的精度与设计值不同，使设定量的液晶滴下后，如果进行基板的贴合组装，则发生液晶的过量或不足的问题。为此，在本发明中，设有在液晶的单元组装工序中输入LCD面板的设计、生产信息的单元，以及根据输入的信息，变更密封剂图形的涂敷条件的单元，通过控制密封剂涂敷断面积，能修正液晶填充容积。

公开(公告)号：CN102166556A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201110006453.1

申请日：2011-01-13

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 水鸟量介 ,  松井淳一 ,  宫本芳次 ,  渡边勝义 ,  中村秀男

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B05D1/26 ,  B05B15/10

CPC classification number: B41J29/38 ,  B41J11/0015 ,  B41J11/008 ,  B41J11/0085

Abstract: 本发明提供一种喷墨涂敷装置以及方法。对膜表面的应涂敷的目标位置直接进行测量并校正，从喷墨涂敷头的喷嘴孔向正确的位置射出液滴，从而膜的涂敷质量提高。从卷出侧膜辊(2)卷出的膜(1)，被以使其涂敷对象区域在涂敷部(17)中位于吸附平台(10)上的方式搬送。与喷墨涂敷头邻接地设置摄像照相机，该涂敷头和该摄像照相机的设置位置成为一体而形成涂敷头组件部，涂敷头组件在吸附平台的上方通过能三维地移动的XYZ轴方向驱动单元而移动，在由涂敷头进行的涂敷动作中利用摄像照相机对接下来应涂敷的位置预先进行摄像，通过图像处理单元对由摄像照相机进行摄像而得到的摄像结果进行处理，从而校正与最初设定的涂敷位置的偏移量，使涂敷头移动到接下来要涂敷的位置。

公开(公告)号：CN102166556B

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201110006453.1

申请日：2011-01-13

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 水鸟量介 ,  松井淳一 ,  宫本芳次 ,  渡边勝义 ,  中村秀男

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B05D1/26 ,  B05B15/10

CPC classification number: B41J29/38 ,  B41J11/0015 ,  B41J11/008 ,  B41J11/0085

Abstract: 本发明提供一种喷墨涂敷装置以及方法。对膜表面的应涂敷的目标位置直接进行测量并校正，从喷墨涂敷头的喷嘴孔向正确的位置射出液滴，从而膜的涂敷质量提高。从卷出侧膜辊(2)卷出的膜(1)，被以使其涂敷对象区域在涂敷部(17)中位于吸附平台(10)上的方式搬送。与喷墨涂敷头邻接地设置摄像照相机，该涂敷头和该摄像照相机的设置位置成为一体而形成涂敷头组件部，涂敷头组件在吸附平台的上方通过能三维地移动的XYZ轴方向驱动单元而移动，在由涂敷头进行的涂敷动作中利用摄像照相机对接下来应涂敷的位置预先进行摄像，通过图像处理单元对由摄像照相机进行摄像而得到的摄像结果进行处理，从而校正与最初设定的涂敷位置的偏移量，使涂敷头移动到接下来要涂敷的位置。

公开(公告)号：CN102826762A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201210182134.0

申请日：2012-06-05

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 德安良纪 ,  山本英明 ,  渡濑直树 ,  松井淳一 ,  中村秀男

IPC: C03C17/22

Abstract: 本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中，是具备吸附保持涂敷对象物（100）的吸附工作台（9）、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台（9）上的涂敷对象物（100）的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头（4）、使涂敷头（4）在涂敷对象物（100）的上方位置移动的龙门架（3）的薄膜形成装置（1），其中，龙门架（3）还具备将涂敷对象物（100）的表面加热的热源装置（31）。