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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101407131B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200810166449.X
申请日：2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头，将材料涂布在基板上的多个位置的装置中，测量从头安装时的目标位置开始的偏差，通过有效且高精度的修正，成品率高地制造制品基板。本发明中，通过在多个设置于装置上的喷墨头中，以中央的头为基准，使用喷嘴照相机，测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置，来预先对所有的头进行位置校正。进而，将材料图案涂布到调整用基板，通过观测涂布点的位置，来测量从目标位置的偏差(间距D)，从其差量计算移动量，进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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公开(公告)号：CN102826762A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210182134.0
申请日：2012-06-05
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/22
Abstract: 本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中，是具备吸附保持涂敷对象物（100）的吸附工作台（9）、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台（9）上的涂敷对象物（100）的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头（4）、使涂敷头（4）在涂敷对象物（100）的上方位置移动的龙门架（3）的薄膜形成装置（1），其中，龙门架（3）还具备将涂敷对象物（100）的表面加热的热源装置（31）。
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公开(公告)号：CN101554691B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200910130232.8
申请日：2009-03-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B23K35/40
Abstract: 本发明提供一种助焊剂形成装置和助焊剂形成方法。在形成在衬底上的电极上涂敷粘性高的助焊剂时，需要降低粘度来涂敷。为此，设置贮存并向喷射头供给助焊剂的贮存罐，在喷射头和连接二者的管线部中设置加热机构来升高温度而使助焊剂的粘度降低，以喷出到衬底上，还设置有使衬底在工作台上急剧冷却的冷却机构，以使得喷出到衬底上的助焊剂不会流出。
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公开(公告)号：CN101554691A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200910130232.8
申请日：2009-03-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B23K35/40
Abstract: 本发明提供一种助焊剂形成装置和助焊剂形成方法。在形成在衬底上的电极上涂敷粘性高的助焊剂时，需要降低粘度来涂敷。为此，设置贮存并向喷射头供给助焊剂的贮存罐，在喷射头和连接二者的管线部中设置加热机构来升高温度而使助焊剂的粘度降低，以喷出到衬底上，还设置有使衬底在工作台上急剧冷却的冷却机构，以使得喷出到衬底上的助焊剂不会流出。
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公开(公告)号：CN101407131A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810166449.X
申请日：2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头，将材料涂布在基板上的多个位置的装置中，测量从头安装时的目标位置开始的偏差，通过有效且高精度的修正，成品率高地制造制品基板。本发明中，通过在多个设置于装置上的喷墨头中，以中央的头为基准，使用喷嘴照相机，测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置，来预先对所有的头进行位置校正。进而，将材料图案涂布到调整用基板，通过观测涂布点的位置，来测量从目标位置的偏差(间距D)，从其差量计算移动量，进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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