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公开(公告)号：CN103100779A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210452191.6
申请日：2012-11-13
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: H01L2224/742
Abstract: 最近，形成在半导体芯片的电极部上的焊料突起有微小化的趋势，因此使用焊球印刷时，焊球也被微小化。因此，要求能高精度地印刷焊球。用于印刷焊球的充填头在设于转轴上的八边形固定部件的各面上固定刮刀保持架，在该刮刀保持架上安装由多个线材构成的狭缝刮刀，通过一边以规定的推压力压在掩模面上一边使转轴旋转、同时使充填头移动，高效率地将焊球充填到掩模开口部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103077896A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210365702.0
申请日：2012-09-27
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种焊球印刷装置，本发明希望将焊球适量地向掩模面上供给，尽量防止产生浪费的焊球。本发明中，所述焊球印刷装置具备掩模和焊球充填头，所述掩模向在被载置于印刷工作台上的基板上形成的电极上印刷焊球，所述焊球充填头具备在掩模面上上下移动的上下驱动机构，其特征在于，上述焊球充填头由焊球充填部和焊球供给部构成，设有使上述焊球充填部和焊球供给部同时上下移动的上下驱动机构和使上述焊球供给部上下移动的供给部驱动机构，上述焊球供给部由抗静电管件将储存焊球的注射器和焊球充填部之间连结，通过使上述供给部驱动机构动作，使上述抗静电管件伸展或挠曲，进行焊球的供给停止。
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公开(公告)号：CN101407131B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200810166449.X
申请日：2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头，将材料涂布在基板上的多个位置的装置中，测量从头安装时的目标位置开始的偏差，通过有效且高精度的修正，成品率高地制造制品基板。本发明中，通过在多个设置于装置上的喷墨头中，以中央的头为基准，使用喷嘴照相机，测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置，来预先对所有的头进行位置校正。进而，将材料图案涂布到调整用基板，通过观测涂布点的位置，来测量从目标位置的偏差(间距D)，从其差量计算移动量，进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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公开(公告)号：CN102166556A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110006453.1
申请日：2011-01-13
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: B41J29/38 , B41J11/0015 , B41J11/008 , B41J11/0085
Abstract: 本发明提供一种喷墨涂敷装置以及方法。对膜表面的应涂敷的目标位置直接进行测量并校正，从喷墨涂敷头的喷嘴孔向正确的位置射出液滴，从而膜的涂敷质量提高。从卷出侧膜辊(2)卷出的膜(1)，被以使其涂敷对象区域在涂敷部(17)中位于吸附平台(10)上的方式搬送。与喷墨涂敷头邻接地设置摄像照相机，该涂敷头和该摄像照相机的设置位置成为一体而形成涂敷头组件部，涂敷头组件在吸附平台的上方通过能三维地移动的XYZ轴方向驱动单元而移动，在由涂敷头进行的涂敷动作中利用摄像照相机对接下来应涂敷的位置预先进行摄像，通过图像处理单元对由摄像照相机进行摄像而得到的摄像结果进行处理，从而校正与最初设定的涂敷位置的偏移量，使涂敷头移动到接下来要涂敷的位置。
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公开(公告)号：CN102166556B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201110006453.1
申请日：2011-01-13
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: B41J29/38 , B41J11/0015 , B41J11/008 , B41J11/0085
Abstract: 本发明提供一种喷墨涂敷装置以及方法。对膜表面的应涂敷的目标位置直接进行测量并校正，从喷墨涂敷头的喷嘴孔向正确的位置射出液滴，从而膜的涂敷质量提高。从卷出侧膜辊(2)卷出的膜(1)，被以使其涂敷对象区域在涂敷部(17)中位于吸附平台(10)上的方式搬送。与喷墨涂敷头邻接地设置摄像照相机，该涂敷头和该摄像照相机的设置位置成为一体而形成涂敷头组件部，涂敷头组件在吸附平台的上方通过能三维地移动的XYZ轴方向驱动单元而移动，在由涂敷头进行的涂敷动作中利用摄像照相机对接下来应涂敷的位置预先进行摄像，通过图像处理单元对由摄像照相机进行摄像而得到的摄像结果进行处理，从而校正与最初设定的涂敷位置的偏移量，使涂敷头移动到接下来要涂敷的位置。
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公开(公告)号：CN101407131A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810166449.X
申请日：2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头，将材料涂布在基板上的多个位置的装置中，测量从头安装时的目标位置开始的偏差，通过有效且高精度的修正，成品率高地制造制品基板。本发明中，通过在多个设置于装置上的喷墨头中，以中央的头为基准，使用喷嘴照相机，测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置，来预先对所有的头进行位置校正。进而，将材料图案涂布到调整用基板，通过观测涂布点的位置，来测量从目标位置的偏差(间距D)，从其差量计算移动量，进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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