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公开(公告)号:CN102285225A
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN201110159386.7
申请日:2011-06-14
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/01
Abstract: 提供一种做到了能够以高精度向宽度、高度方向进行均匀的涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。各涂敷头(15)排列在X轴方向,每4个构成1个组。在相同的组中,使涂敷头(15)在Y轴方向的位置不同,在组之间,在Y轴方向各有1个相同位置的涂敷头。不同的组的Y轴方向位置相同的各一个涂敷头(15)搭载在相同的Z轴保持片(20bc)上。各涂敷头(15)具备微动Z轴驱动单元(20a),能够独立地向Z轴方向移动。另外,针对每个Z轴保持片(20bc)设有独立Z轴驱动单元(20b1),由此Z轴保持片(20bc)能够独立地向Z轴方向移动。另外,设有共用Z轴驱动单元(30),由此全部的Z轴保持片(20bc)、从而全部的涂敷头(15)能够同时向Z轴方向移动。
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公开(公告)号:CN102826762A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201210182134.0
申请日:2012-06-05
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/22
Abstract: 本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中,是具备吸附保持涂敷对象物(100)的吸附工作台(9)、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台(9)上的涂敷对象物(100)的表面排出涂敷材,一面进行薄膜形成的多个涂敷头(4)、使涂敷头(4)在涂敷对象物(100)的上方位置移动的龙门架(3)的薄膜形成装置(1),其中,龙门架(3)还具备将涂敷对象物(100)的表面加热的热源装置(31)。
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公开(公告)号:CN101554691B
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN200910130232.8
申请日:2009-03-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B23K35/40
Abstract: 本发明提供一种助焊剂形成装置和助焊剂形成方法。在形成在衬底上的电极上涂敷粘性高的助焊剂时,需要降低粘度来涂敷。为此,设置贮存并向喷射头供给助焊剂的贮存罐,在喷射头和连接二者的管线部中设置加热机构来升高温度而使助焊剂的粘度降低,以喷出到衬底上,还设置有使衬底在工作台上急剧冷却的冷却机构,以使得喷出到衬底上的助焊剂不会流出。
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公开(公告)号:CN101554691A
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200910130232.8
申请日:2009-03-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B23K35/40
Abstract: 本发明提供一种助焊剂形成装置和助焊剂形成方法。在形成在衬底上的电极上涂敷粘性高的助焊剂时,需要降低粘度来涂敷。为此,设置贮存并向喷射头供给助焊剂的贮存罐,在喷射头和连接二者的管线部中设置加热机构来升高温度而使助焊剂的粘度降低,以喷出到衬底上,还设置有使衬底在工作台上急剧冷却的冷却机构,以使得喷出到衬底上的助焊剂不会流出。
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公开(公告)号:CN101407131A
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN200810166449.X
申请日:2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是,在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头,将材料涂布在基板上的多个位置的装置中,测量从头安装时的目标位置开始的偏差,通过有效且高精度的修正,成品率高地制造制品基板。本发明中,通过在多个设置于装置上的喷墨头中,以中央的头为基准,使用喷嘴照相机,测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置,来预先对所有的头进行位置校正。进而,将材料图案涂布到调整用基板,通过观测涂布点的位置,来测量从目标位置的偏差(间距D),从其差量计算移动量,进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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公开(公告)号:CN101407131B
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN200810166449.X
申请日:2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是,在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头,将材料涂布在基板上的多个位置的装置中,测量从头安装时的目标位置开始的偏差,通过有效且高精度的修正,成品率高地制造制品基板。本发明中,通过在多个设置于装置上的喷墨头中,以中央的头为基准,使用喷嘴照相机,测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置,来预先对所有的头进行位置校正。进而,将材料图案涂布到调整用基板,通过观测涂布点的位置,来测量从目标位置的偏差(间距D),从其差量计算移动量,进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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公开(公告)号:CN102205707A
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN201110063887.5
申请日:2011-03-17
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明提供一种喷墨涂敷装置和喷墨涂敷方法,防止真空吸引单元从涂敷头的喷嘴吸引出的UV硬化型涂敷材料由于UV光而硬化,防止由于真空吸引单元中的堵塞而产生吸引不良。将输送来的膜(1)吸附固定在吸附台(10)上而从涂敷头(15)涂敷UV硬化型涂敷材料(35),该涂敷的UV硬化型涂敷材料被照射来自与涂敷头一体的UV光源(20)的UV光(36)而硬化。在该吸附台的外侧,配置了真空吸引部(21),使涂敷头移动到该真空吸引部,从而通过该真空吸引部吸引涂敷头内的气泡等。在不进行所述涂敷头的吸引时,UV挡板(22)通过气缸(23)移动,而塞住该真空吸引部的吸引口。由此,真空吸引部内相对UV光被遮光。
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公开(公告)号:CN301589875S
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN201030175377.3
申请日:2010-05-17
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 1.本外观设计产品名称为:喷墨涂敷机。2.本外观设计产品用途为:本外观设计产品是在液晶显示装置的制造过程中在密封材料上形成电极或绝缘膜等的喷墨涂敷机,将需要涂敷的密封材料经搬入口设置在内部的桌子上,将涂敷过的密封材料经搬出口排出。3.本外观设计产品设计要点在于:如表示各部名称参考图、表示透明部右视参考图以及表示透明部后视参考图中斜线所示,本外观设计部分由能够从外部确认内部的状态的透明材料形成,以及如主视图所示由两个监视器以及操作部形成的图案。4.最能表示外观设计要点图片是立体图。5.表示各部名称参考图、表示透明部右视参考图以及表示透明部后视参考图中斜线表示透明;表示操作部参考图2中的斜线表示透光性材料。
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